【技术实现步骤摘要】
一种集成传感器芯片
[0001]本技术涉及压力传感
，具体涉及一种集成传感器芯片。
技术介绍
[0002]轮胎压力监测系统(Tire Pressure Monitoring System，TPMS)，是一种采用无线传输技术，利用固定于汽车轮胎内的压力传感器在行车或静止的状态下采集汽车轮胎压力、温度等数据，并将数据传送到驾驶室内的主机中，以数字化的形式实时显示汽车轮胎压力和温度等相关数据，并在轮胎胎压出现异常时以蜂鸣或语音等形式提醒驾驶者的汽车主动安全系统。该系统确保轮胎的压力和温度维持在标准范围内，进而减少爆胎、毁胎的概率，大大降低车辆事故率，同时减少油耗和车辆部件的损坏。2017年10月14日，国家标准化管理委员会正式批准了强制性国家标准GB26149
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2017《乘用车轮胎气压监测系统的性能要求和试验方法》。自2019年1月1日起，中国市场所有新认证乘用车必须安装TPMS；自2020年1月1日起，所有在产乘用车开始实施强制安装要求。
[0003]在胎压监测系统中，最重要的是传感器芯片，其主...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成传感器芯片，包括力学信号测试单元，所述力学信号测试单元包括压力传感结构；其特征在于，还包括：压电能量收集单元，所述压电能量收集单元包括压电结构，通过所述压电结构将振动能量转化为电能；所述力学信号测试单元和所述压电能量收集单元集成在同一芯片上且所述压电结构与所述压力传感结构之间形成供电电路，以形成所述集成传感器芯片。2.根据权利要求1所述的集成传感器芯片，其特征在于，所述集成传感器芯片沿集成传感器芯片的厚度方向包括依次层设的半导体衬底层以及顶层器件层；所述半导体衬底层包括第一衬底区；所述顶层器件层包括：与所述第一衬底区对应设置的第一顶层器件区；所述第一衬底区和所述第一顶层器件区用于集成形成所述压电能量收集单元；所述压电结构位于第一顶层器件区背向所述第一衬底区的一侧。3.根据权利要求2所述的集成传感器芯片，其特征在于，所述第一顶层器件区包括第一质量块连接区和第一悬臂梁区，所述第一悬臂梁区与所述第一质量块连接区邻接；所述第一衬底区中具有贯穿第一衬底区的第一背腔，所述第一背腔与所述第一悬臂梁区对应设置；所述第一衬底区位于所述第一背腔的侧部的部分区域形成第一质量块，第一质量块的侧壁和底壁均悬空，所述第一质量块的顶壁上层设于所述第一质量块连接区；所述压电结构位于所述第一悬臂梁区背向第一背腔的一侧。4.根据权利要求3所述的集成传感器芯片，其特征在于，所述第一顶层器件区中具有贯穿所述第一顶层器件区的第一图形槽，所述第一图形槽包围的部分第一顶层器件区用于形成所述第一质量块连接区和所述第一悬臂梁区；所述第一衬底区中具有贯穿所述第一衬底区的第二图形槽，所述第二图形槽位于所述第一图形槽的底部且与所述第一图形槽贯通；所述第一质量块位于所述第一背腔和所述第二图形槽之间。5.根据权利要求3所述的集成传感器芯片，其特征在于，所述力学信号测试单元包括第一加速度计单元，所述第一加速度计单元包括：第一加速度检测结构层，所述第一加速度检测结构层位于所述第一悬臂梁区背向所述第一背腔的一侧表面上，或者所述第一加速度检测结构层嵌设于第一悬臂梁区内部且第一加速度检测结构层的表面露出第一悬臂梁区的表面。6.根据权利要求5所述的集成传感器芯片，其特征在于，对于同一个第一悬臂梁区，所述第一悬臂梁区中具有第一加速度检测结构层，所述第一悬臂梁区背向所述第一背腔的一侧还具有所述压电结构；或者，所述第一悬臂梁区的数量为若干个，若干个第一悬臂梁区相互间隔，部分数量的所述第一悬臂梁区中具有第一加速度检测电路层，部分数量的第一悬臂梁区背向所述第一背腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂泳忠，吴桂珊，李舜华，
申请(专利权)人：西人马联合测控泉州科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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