一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，包括连接杆和第一箱体，连接杆的数量为两个，所述两个连接杆的交接处活动连接有转轴，且两个连接杆之间固定连接有第一弹簧，所述连接杆的左侧固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的左侧固定连接有固定杆，所述固定杆的正面固定连接有检测器。本实用新型专利技术通过连接杆和转轴配合，起到了便于调节两个检测器之间距离的效果，通过设置吸盘，起到了使第一箱体稳定支撑蓄电池和开关，便于使蓄电池和开关配合的效果，通过开启开关使蓄电池供电给显示器，之后通过检测器和显示器配合，使检测器将通讯设备的电压，温度进行检测的结果在显示器显示的效果。显示器显示的效果。显示器显示的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置


[0001]本技术涉及光刻机能量控制
，具体为一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置。

技术介绍

[0002]光刻机是一种高精度超大规模集成电路的制造设备，其照明系统内部有一个用于测量曝光光束的能量的传感器，该能量传感器的工作原理是利用光电传感器把光信号转换成电信号，测量出电信号的强度，进而计算出能量传感器测量的光束能量大小，能量传感器在曝光过程中动态地监控曝光光束能量，光刻机的剂量控制基于能量传感器的测量值做反馈控制以实现设定剂量的曝光，光刻机能量传感器作为曝光剂量控制的关键元件之一，其精度通常需达到千分之几甚至万分之几，因此它用于实际工作环境之前需进行高精度性能测量，而其通讯设备的稳定运行是这一切的前提，需要经常对其通讯设备进行检修，而现有用于检测其通讯故障的检修装置大多过于沉重复杂，因此我们提出一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，来解决此类问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，具备便于携带的优点，解决了为保障其通讯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，包括连接杆(1)和第一箱体(8)，其特征在于：所述连接杆(1)的数量为两个，两个所述连接杆(1)的交接处活动连接有转轴(2)，且两个连接杆(1)之间固定连接有第一弹簧(3)，所述连接杆(1)的左侧固定连接有伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)的左侧固定连接有固定杆(5)，所述固定杆(5)的正面固定连接有检测器(6)，所述连接杆(1)表面的后端套设有绝缘套(7)，所述第一箱体(8)内腔的上端固定连接有蓄电池(9)，所述蓄电池(9)的正面设置有开关(10)，所述蓄电池(9)的左侧固定连接有显示器(11)，且显示器(11)的输入端与检测器(6)的输出端电性连接，所述第一箱体(8)底部的四周均固定连接有吸盘(12)。2.根据权利要求1所述的一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，其特征在于：所述第一箱体(8)内腔的下端活动连接有抽屉(13)，且抽屉(13)的左侧开设有凹槽(14)。3.根据权利要求2所述的一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，其特征在于：所述第一箱体(8)左侧的上端固定连接有第一固定套(15)，且第一固定套(15)的内腔活动连接有第一限位块(16)。4.根据权利要求2所述的一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置，其特征在于：所述抽屉(...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋芳芳，蒋晖晖，
申请(专利权)人：南京尹特利微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：