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本实用新型公开了一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置,包括连接杆和第一箱体,连接杆的数量为两个,所述两个连接杆的交接处活动连接有转轴,且两个连接杆之间固定连接有第一弹簧,所述连接杆的左侧固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的左侧固定连接有固定杆...该专利属于南京尹特利微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京尹特利微电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种基于光刻机能量控制通讯故障用检修装置,包括连接杆和第一箱体,连接杆的数量为两个,所述两个连接杆的交接处活动连接有转轴,且两个连接杆之间固定连接有第一弹簧,所述连接杆的左侧固定连接有伸缩杆,所述伸缩杆的左侧固定连接有固定杆...