一种用于晶圆上料的载具装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆上料的载具装置，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆上料的载具装置


[0001]本技术属于半导体装置领域，具体属于一种一种用于晶圆上料的载具装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路产业的迅猛发展，工艺设备的终端客户对设备处理多种规格小尺寸晶圆的能力提出了更高更严格的要求。目前行业内晶圆载具的上料方式主要有两种，一种是自动化上料，主要是通过OHT、AGV、MGV等自动化设备将晶圆载具放置在上料装置上来实现，另外一种是非自动化上料，是通过人工搬取晶圆载具实现其上下料。
[0003]行业内常使用规格为2、3、4、6、8、12英寸的晶圆，目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，但随着其他规格晶圆在涂胶、显影、清洗、去胶等领域的不断应用，相应配套的传输以及工艺设备需求不断增加，尤其对同时处理多种规格晶圆的能力提出了更高更严格的要求。8和12英寸的晶圆载具无论是自动上下料还是人工上下料均已标准化且技术成熟，其他规格的晶圆也被称为小尺寸晶圆，主要以人工上下料为主且上料固定接口没有统一标准，再加上小尺寸晶圆的载具材质主要为PP、PE、PC等塑料材质注塑而成，载具底座部分尺寸公差较大，给上料时载具的固定带来了很大的难点，此外，4英寸和6英寸晶圆校准标识既有Notch的又有Flat的，这对上料装置的晶圆突出检测也提出了很高的要求。
[0004]目前行业内小尺寸晶圆的上料装置大部分最多可装载2种规格晶圆的载具，能够同时兼容3种及以上规格晶圆载具的上料装置存在技术还不够成熟，调节操作不方便等缺陷。此外，这些小尺寸晶圆的上料装置还存在一个共同的功能缺陷，就是不具备晶圆突出检测功能，针对多种规格晶圆且晶圆校准标识既有Notch又有Flat的情况，更是束手无策。

技术实现思路

[0005]为了解决上述问题，本技术提供了一种用于晶圆上料的载具装置，主要用于解决多规格晶圆需求，确保上料装置能够兼容不同种类的晶圆进行上料。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种用于晶圆上料的载具装置，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、发射端传感器、2M
‑
1个接收端传感器和M个后基准块；
[0007]所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，用于固定晶圆载具的前方位置，所述载具前挡板包含M个卡槽；
[0008]所述发射端传感器包括基准发射端传感器和侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧；所述载具安装板的上方固定接收端传感器，所述接收端传感器与发射端传感器在连线方向上一一对应；
[0009]所述M个后基准块位于所述载具安装板的正后方，分别用于固定对应晶圆载具的后方位置，且M个后基准块距离载具前挡板的距离均不相同。
[0010]进一步的，所述载具前挡板包括左侧前挡板和右侧前挡板，且左侧前挡板和右侧
前挡板中均包含M个与不同尺寸的晶圆载具一一对应的卡槽。
[0011]进一步的，所述发射端传感器固定在发射端传感器调整块上，且所述发射端传感器调整块的位置能够移动。
[0012]进一步的，还包括M个左侧固定块和M个右侧固定块，所述M个左侧固定块分别用于固定M个晶圆载具的左侧；所述M个右侧固定块分别用于固定M个晶圆载具的右侧。
[0013]进一步的，还包括M个在位检测传感器，所述M个在位检测传感器按照前后顺序固定在载具安装板上，并与M个晶圆载具的末端位置一一对应。
[0014]本技术具有如下有益效果：本技术可同时兼容3种及以上规格晶圆载具的上料装载，同时可实现对多种规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下晶圆突出检测功能；本技术兼容性强，调节方便，适用行业范围广泛，即可应用于IC行业，也可应用于LED等其他泛半导体行。
附图说明
[0015]附图1为本技术晶圆载具上料装置的结构示意图；
[0016]附图2为本技术晶圆载具上料站的结构示意图；
[0017]附图3为本技术晶圆载具上料站的俯视图；
[0018]附图4为本技术装载3英寸晶圆载具时的轴侧视图；
[0019]附图5为本技术装载4英寸晶圆载具时的轴侧视图；
[0020]附图6为本技术装载6英寸晶圆载具时的轴侧视图；
[0021]附图7为本技术晶圆载具上料装置的俯视图；
[0022]附图8为本技术晶圆载具上料装置的轴侧视图一；
[0023]附图9为本技术晶圆载具上料装置的轴侧视图二；
[0024]图中：1调整板；2底座板；3底部圆形支柱；4安装基板；5晶圆载具上料站；6顶部圆形支柱；7左突出检测板；8右突出检测板；9传感器调整块；10接收端传感器；11载具安装板；12载具左前挡块；13载具右前挡块；14 6英寸晶圆载具右固定块；15 6英寸晶圆载具左固定块；16 4英寸晶圆载具右固定块；17 4英寸晶圆载具左固定块；18 3英寸晶圆载具右固定块；19 3英寸晶圆载具左固定块；20 3英寸晶圆载具后基准块；21 4英寸晶圆载具后基准块；22 6英寸晶圆载具后基准块；23～27发射端传感器调整块；28～32发射端传感器；33～35在位检测传感器；36 3英寸晶圆载具；37 3英寸晶圆；38 4英寸晶圆载具；39 4英寸晶圆，40 6英寸晶圆载具，41 6英寸晶圆。
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本技术的具体实施方式做进一步的详细说明。
[0026]本技术中晶圆载具可以为2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸的晶圆载具中的一种或多种；具体的每个尺寸的晶圆载具的尺寸设计以其所装载的晶圆尺寸为基准进行相应的扩大设计。
[0027]本技术提供的一种用于晶圆上料的载具装置，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M
‑
1个发射端传
感器、接收端传感器和M个后基准块。载具前挡板位于载具安装板的正前方，用于固定晶圆载具的前方位置，载具前挡板包含M个卡槽；M个后基准块位于载具安装板的正后方，分别用于固定对应晶圆载具的后方位置，且M个后基准块距离载具前挡板的距离均不相同。本技术中前挡板和后基准块是用于固定M个晶圆载具的前后位置，根据具体的每个晶圆载具的大小，调节对应后基准块的位置，在此过程中，前挡板的位置永远是固定不变的。也就说，M个晶圆载具共用一个前挡板，因此前挡板中需要包含固定M个晶圆载具的卡槽；为了能够更好地对不同尺寸的晶圆载具进行前方固定，载具前挡板包括左侧前挡板和右侧前挡板，且左侧前挡板和右侧前挡板中均包含M个与不同尺寸的晶圆载具一一对应的卡槽。而每一个后基准块只要固定一个晶圆载具，因此后基准块中卡槽或者固定装置可以仅设置一个。具体的后基准块的位置根据其要固定的晶圆载具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆上料的载具装置，能够兼容M种尺寸的晶圆载具；M为大于2的整数；其特征在于，包括载具安装板，以及位于载具安装板上的载具前挡板、发射端传感器、2M
‑
1个接收端传感器和M个后基准块；所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方，用于固定晶圆载具的前方位置，所述载具前挡板包含M个卡槽；所述发射端传感器包括基准发射端传感器和侧边发射端传感器，所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央，所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧；所述载具安装板的上方固定接收端传感器，所述接收端传感器与发射端传感器在连线方向上一一对应；所述M个后基准块位于所述载具安装板的正后方，分别用于固定对应晶圆载具的后方位置，且M个后基准块距离载具前挡板的距离均不相同。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘恩龙，张菊，董怀宝，张加峰，张贤龙，曹洁，中岛隆志，川辺哲也，杨琦，武一鸣，马刚，董阳，李莹莹，乐佳浩，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：新型
国别省市：