一种扫描探针显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描探针显微镜，包括扫描组件和驱动部件，扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，扫描探针组件包括支撑部件、设置在支撑部件上的检测头、与检测头位置相对应的扫描台；光学显微镜组件包括支架和设置在支架上的光学显微镜，光学显微镜设置在检测头上方。扫描探针组件与光学显微镜组件分体设置，探测头由支撑部件独立支撑，能够实现检测头轻量化和微型化，因此检测头相对支撑部件的结构刚性和固有频率显著提高，有效提升了扫描探针组件的稳定性；光学显微镜由支架独立支撑，提升了光学显微镜组件的灵活性，可以根据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。据实际应用领域选配最合适的光学显微镜。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描探针显微镜


[0001]本技术涉及显微镜领域，特别涉及一种扫描探针显微镜。

技术介绍

[0002]扫描探针显微镜系统一般包括探头、控制器和计算机，扫描探针显微镜的工作原理是利用探针对样品逐点扫描成像进行检测。现有的扫描探针显微镜在使用过程中，需要通过在左右方向移动原子力检测头和在前后方向移动样品来对样品表面检测区域进行选择。原子力检测头要在平面上左右移动，作为检测区域导引和定位的辅助光学显微镜，必须与原子力检测头随动(即两者相对固定)，否则，原子力检测头一移动，探针就不再落入光学显微镜的视场，使其失去光学显微镜辅助导引和定位的功能。为了保持原子力检测头和光学显微镜相对固定，只能将光学显微镜集成到原子力显微镜检测头中，构成一个原子力显微镜和光学显微镜一体的检测头，这样一来，所配套的光学显微镜的灵活性受到极大的限制。系统无法根据实际应用领域，按照研究的样品特性选择最合适的具有对应成像功能和技术的光学显微镜。并且，原子力检测头需要采用支架固定于样品上方，作为纳米级(10
‑9米)的检测仪器，原子力检测头和样品间的稳定性要求极高，这就要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描探针显微镜，其特征在于，包括：扫描组件，所述扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，所述扫描探针组件与所述光学显微镜组件分体设置，所述扫描探针组件包括支撑部件、设置在所述支撑部件上的检测头、与所述检测头位置相对应的扫描台；所述光学显微镜组件包括支架和设置在所述支架上的光学显微镜，所述光学显微镜设置在所述检测头上方；驱动部件，所述驱动部件包括用于承载样品的样品台、驱动所述样品台左右运动的第一驱动部件和驱动所述样品台前后运动的第二驱动部件，所述扫描台设置在所述样品台下方；其中，还设置有升降装置，所述升降装置设置在所述扫描探针组件或所述驱动部件上。2.根据权利要求1所述的一种扫描探针显微镜，其特征在于，所述支撑部件包括两个支脚和连接两个所述支脚的支撑横梁，所述检测头设置在所述支撑横梁的中心。3.根据权利要求2所述的一种扫描探针显微镜，其特征在于，所述检测头可拆卸安装在所述支撑横梁上。4.根据权利要求1所述的一种扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴浚瀚，
申请(专利权)人：广州市本原纳米仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：