一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收。本实用新型专利技术的物镜组件完全处于探头装置上方，因此不会影响到物镜组件的物镜切换，从而实现了与常规光学显微镜的联用，并且探头装置仅包括了激光器、微悬臂探针和激光接收器，内部构造简单，且不会降低入射激光的光强和样品观测的分辨率。本实用新型专利技术作为一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置可广泛应用于扫描探针显微镜等纳米表征领域中。

A laser detection device based on scanning probe microscope

【技术实现步骤摘要】
一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置
本技术涉及扫描探针显微镜等纳米表征领域，尤其涉及一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置。
技术介绍
自1982年扫描隧道显微镜(STM)出现以后，又陆续发展出了一系列工作原理相似的新型显微技术，主要包括原子力显微镜(AFM)、横向力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、近场光学显微镜(SNOM)、压电力显微镜(PFM)、扫描探针声学显微镜(SPAM)等，由于它们都是利用探针对被测样品进行扫描，同时检测扫描过程中探针与样品的相互作用(如样品-探针间的相互作用力等)，得到样品相关性质(如形貌、摩擦力、磁畴结构等)，因而统称为扫描探针显微镜(SPM)。扫描探针显微镜具有很高的分辨率，但受高精度压电驱动器运动行程的限制，其检测范围一般在100μm以内，在实际应用中，只能观测到样品的局部而不能观测到样品的整体。随着扫描探针显微镜的不断普及和应用领域的拓展，在如细胞生物学、分子生物学、微电子、纳米材料科学等领域的实际应用中，由于样品的不均匀性，需要检测的结构及探针定位精度要求达到1μm以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，包括物镜组件(1)和设置在样品(11)上方的探头装置(2)，所述物镜组件(1)位于探头装置(2)上方；所述探头装置包括激光器(3)、微悬臂探针(4)和激光接收器(5)；所述激光器(3)发射的激光直接到达微悬臂探针(4)并经过微悬臂探针(4)的悬臂梁背面反射后被激光接收器(5)接收。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，包括物镜组件(1)和设置在样品(11)上方的探头装置(2)，所述物镜组件(1)位于探头装置(2)上方；所述探头装置包括激光器(3)、微悬臂探针(4)和激光接收器(5)；所述激光器(3)发射的激光直接到达微悬臂探针(4)并经过微悬臂探针(4)的悬臂梁背面反射后被激光接收器(5)接收。


2.根据权利要求1所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述激光器(3)采用光纤耦合输出半导体激光器(6)，所述光纤耦合输出半导体激光器(6)包含聚光透镜(7)。


3.根据权利要求2所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述激光接收器(5)采用四象限光斑接收器(8)。


4.根据权利要求3所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，所述聚光透镜(7)为汇聚微透镜。


5.根据权利要求3所述一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其特征在于，还包括光斑信号前置放大器(9)，所述光斑信号前置放大器(9)的输入端与四象限光斑接收器(8)的输出端相连。


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【专利技术属性】
技术研发人员：吴浚瀚，
申请(专利权)人：广州市本原纳米仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44