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本实用新型公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，包括物镜组件和设置在样品上方的探头装置，所述物镜组件位于探头装置上方；所述探头装置包括激光器、微悬臂探针和激光接收器；所述激光器发射的激光经过微悬臂探针的悬臂梁背面反射后被激光接收器接收...
该专利属于广州市本原纳米仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市本原纳米仪器有限公司授权不得商用。

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