扫描探针显微镜系统技术方案

本申请涉及一种扫描探针显微镜系统，包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为安装于探针架时，主机探头与音叉型传感探针之间具有一个容置区。主机底座被配置为支撑主机探头，并与主机探头信号连接。测控装置与主机底座信号连接。工作时，光学显微镜系统部分置于容置区。光学显微镜系统与测控装置信号连接。本申请基于音叉型自感应型探针设计了可与光学显微镜系统的联用扫描探针显微镜系统。统的联用扫描探针显微镜系统。统的联用扫描探针显微镜系统。

【技术实现步骤摘要】
扫描探针显微镜系统


[0001]本申请涉及显微镜
，特别是涉及一种扫描探针显微镜系统。

技术介绍

[0002]扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)采用尖锐的探针在样品表面扫描的方法来获取样品表面的一些性质。不同的SPM通常使用不同的传感探针，它们的针尖特性及相应针尖
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样品相互作用不同。
[0003]原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)是SPM中的一重要仪器类型，目前应用最为广泛。AFM能够对样品的形貌进行成像。AFM还能够对样品局域表面电势、电荷、载流子密度、导电性等进行高分辨的测量和成像。目前在不同环境下，需要使用不同传感探针，此时需要配备不同的主机探头及测控系统，甚至需要设计和配备整套的专用仪器，导致实施的技术难度很大，成本很高，费时费力。
[0004]AFM通常都配置辅助的光学显微镜，用于在安装探针或样品时对他们进行观察。不过，这种辅助光学显微镜的放大倍数较小，通常采用长焦距光学显微镜，光学放大倍数通常只需0.5
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描探针显微镜系统，其特征在于，包括：主机探头，包括探针架安装位；探针架，被配置为安装于所述探针架安装位；音叉型传感探针，所述音叉型传感探针的针尖与所述音叉型传感探针的音叉垂直，所述音叉型传感探针被配置为安装于所述探针架时，所述主机探头与所述音叉型传感探针之间具有一个容置区；主机底座，被配置为支撑所述主机探头，并与所述主机探头信号连接；测控装置，与所述主机底座信号连接；以及光学显微镜系统，工作时，所述光学显微镜系统部分置于所述容置区，所述光学显微镜系统与所述测控装置信号连接。2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述探针架为扁平状，以使得工作距离大于或等于设定距离的所述光学显微镜系统在所述容置区内进行工作。3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述探针架的数量为多个，每一个所述探针架被配置为安装一个所述音叉型传感探针，所述探针架可拆卸的安装于所述探针架安装位。4.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述多个探针架通过插入的方式的安装于所述探针架安装位。5.根据权利要求4所述的扫描探针显微镜系统，其特征在于，所述多个探针架中的任意一个探针架安装于所述探针架...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖章武，赵亮兵，卢孔林，罗永震，
申请(专利权)人：广州中源仪器技术有限公司，
类型：新型
国别省市：