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广州中源仪器技术有限公司
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扫描探针显微镜系统技术方案
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文档序号:32148829
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本申请涉及一种扫描探针显微镜系统,包括探针架、主机探头、音叉型传感探针、主机底座、测控装置以及光学显微镜系统。主机探头包括探针架安装位。探针架被配置为安装于探针架安装位。音叉型传感探针的针尖与音叉型传感探针的音叉垂直。音叉型传感探针被配置为...
该专利属于广州中源仪器技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州中源仪器技术有限公司授权不得商用。
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