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本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括扫描组件和驱动部件，扫描组件包括扫描探针组件和光学显微镜组件，扫描探针组件包括支撑部件、设置在支撑部件上的检测头、与检测头位置相对应的扫描台；光学显微镜组件包括支架和设置在支架上的光学显微镜，光学显微...
该专利属于广州市本原纳米仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市本原纳米仪器有限公司授权不得商用。

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