锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统技术方案

本发明专利技术提供一种锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统，所述方法包括步骤：1）设置能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器，所述频率为10KHz

【技术实现步骤摘要】
锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统


[0001]本专利技术涉及激光雕刻
，具体涉及一种锁频均匀能量单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法和系统。

技术介绍

[0002]激光雕刻技术可用于透明材料(如玻璃、蓝宝石等)的标刻，广泛应用于消费类电子、汽车、航空航天、建筑及居家生活等众多领域，因而市场需求空间广阔、发展潜力有待挖掘。
[0003]目前，透明材料激光雕刻技术主要采用CO2激光器、绿光纳秒激光器、紫外纳秒激光器或基于超快光纤激光器的雕刻机，通过破坏透明材料表面来实现雕刻。这类雕刻方法的原理是热至熔化作用，而热影响区的出现会使得加工面挂渣、裂纹以及崩边，导致标记内容不清晰、材料强度变弱,甚至使基片变得疏松。
[0004]基于超快光纤激光器雕刻机雕刻时，单脉冲宽度一般为皮秒或者几百飞秒级别。为了满足玻璃等硬脆性透明材料的高能量加工阈值，必须提高其平均功率，需要工作范围在几百KHz至1MHz甚至1GHz以上的重复频率，过快的频率与市面上常规振镜几个KHz,几十KHz到几百KHz的工作频率范围相配套，会匹配失本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.锁频单脉冲绿光超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，包括步骤：1）设置能够在高重复频率下发射高能量单脉冲且单脉冲能量一致性高的超快激光器，所述高重复频率为10KHz
‑
200KHz，所述高能量单脉冲能量为50uJ
‑
1000uJ，所述单脉冲能量一致性为≤
±
5%；2）锁定发射频率为10KHz
‑
200KHz之间的一定值；3）设定激光波长为532
±
5nm；4）所述激光器发射的超快激光，经过整形光路放大光束尺寸、再经过光束传输光路输入到振镜、再经过场镜后聚焦在工件承载台上的透明材料工件表面或者内部；5）在软硬件控制器的控制下，设置激光参数和加工参数；控制振镜及激光发射，完成透明材料表面或内部图案的激光雕刻。2.根据权利要求1所述的超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，所述激光器为全固态皮秒激光器。3.根据权利要求1所述的超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，所述单脉冲宽度为1
‑
10ps。4.根据权利要求1所述的超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，所述激光器窗口光斑为1
‑
3mm，发散角为0.5
‑
1.5mrad 。5.根据权利要求1所述的超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，所述整形光路为放大倍率为1
‑
8倍的扩束光路。6.根据权利要求1所述的超快激光精密雕刻透明材料的方法，其特征在于，所述光束传输光路为传输距离10
‑
1000mm的传输光路组成。7.根据权利要求1所述的超快激...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ五一IntClB二三K二六零四六，
申请(专利权)人：北京赢圣科技有限公司，
类型：发明
国别省市：