环境受控的涂层系统技术方案

根据本教导的封闭涂层系统的实施例能够用于在宽范围的技术领域中制造各种设备和装置的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。本教导的封闭和环境受控涂层系统能够提供多个优点，例如，1)省去一定范围的真空处理操作，这种基于涂层的制造可以在大气压力下执行，2)受控图案化涂层消除了材料浪费以及消除了实现有机层的图案化通常需要的附加处理，3)用本教导的封闭涂层设备的各个实施例来图案化涂层所使用的各种制剂可以具有宽范围的物理属性，例如粘度和表面张力。表面张力。表面张力。

【技术实现步骤摘要】
环境受控的涂层系统
[0001]相关案件的交叉引用本申请要求2014年11月26日提交的美国临时申请62/085,211的权益，所述美国临时申请通过引用全文引入本文。


[0002]根据本教导的封闭涂层系统的实施例能够用于在宽范围的
中制造各种装置和设备的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。

技术介绍

[0003]例如，通过非限制性示例的方式，对于RGB OLED显示器来说，虽然主要用于蜂窝电话的小屏幕应用的OLED显示器的展现已经用于强调技术的潜能，但是对于RGB OLED在以高成品率(high yield)跨越一定范围的基板幅面对大批量制造进行扩展(或缩放，scaling)方面仍存在挑战。关于RGB OLED显示器技术的幅面扩展，Gen 5.5(或5.5代)基板具有大约130cm X 150cm的尺寸，并且能够生产大约八块26"平板显示器。相比之下，较大幅面的基板能够包括使用Gen 7.5(或7.5代)和Gen 8.5(或8.5代)的母玻璃有源区域尺寸。Gen 7.5母玻璃具有大约195cm x 225cm的尺寸，并且能够被切割成每个基板八块42"或六块47"的平板显示器。用于Gen 8.5中的母玻璃为大约220cm x 250cm，并且能够被切割成每个基板六块55”或八块46”的平板显示器。在将RGB OLED显示器制造扩展至较大幅面中仍然存在的挑战的一个迹象在于：在大于Gen 5.5基板的基板上以高成品率大批量制造RGB OLED显示器已证明是在很大程度上具有挑战性的。
[0004]原则上，包括RGB OLED堆叠体结构的各种材料能够易被氧化和其它化学过程损坏。此外，除非包含这种RGB OLED材料的有源区域(active area，或活性区域)能够被有效地气密地密封，RGB OLED装置或设备有源区域中的各种材料易被各种反应性气体物种(例如但不限于，水蒸汽、氧气、臭氧、有机溶剂蒸汽和类似物)降级。关于在处理期间的降级的类似考虑在制造其它类型的电子装置(例如，OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路)时是明显的。根据本教导，环境受控的涂层系统的各个实施例能够配置用于在各种电子装置上涂层有机膜层。
[0005]然而，以能够针对各种装置和装置尺寸进行缩放并且能够在惰性、基本上低颗粒的过程环境中完成的方式收容涂层系统可能存在多种工程挑战。例如，用于高吞吐量的大幅面基板涂层(例如基板等于用于各种OLED装置的Gen 7.5和Gen 8.5基板的涂层)的制造工具需要相当大的设施。因此，将大的设施维持在惰性气氛下、需要气体净化以去除反应性大气物种(例如，通过非限制性示例，水蒸汽、臭氧和氧气)及有机溶剂蒸汽以及维持基本上低颗粒过程环境已证明是显著具有挑战性的。
[0006]因此，在以高成品率跨越一定范围的装置尺寸扩展用于制造各种电子装置和设备的大批量涂层系统方面仍存在挑战。因此，需要在惰性、基本上低颗粒的环境中收容环境受
控的封闭涂层系统的各种实施例，其能够被容易地扩展以提供用于涂层各种电子装置和设备，其可具有各种有源区域纵横比和尺寸以及各种装置和设备材料。此外，本教导的各种封闭环境受控的涂层系统能够提供在处理期间从外部便于接近涂层系统且便于接近内部，用于在最低停机时间的情况下进行维护。
附图说明
[0007]通过参考附图将获得对本公开的特征和优点的更好的理解，这些附图意在说明而非限制本教导。
[0008]图1是根据本教导的各种实施例的涂层系统的封闭组件的视图的正视透视图。
[0009]图2A示出了在图1所示的封闭件中的封闭涂层系统的各个实施例的分解图。
[0010]图2B示出了图2A所示的涂层系统的放大等角透视图。图2C是图2B所示的狭缝式模头涂层设备的放大透视图。
[0011]图2D是配置成在基板上提供图案化区域涂层的狭缝式模头涂层设备的示意图。
[0012]图3A总体上图示系统的至少一部分的等角图，例如包括涂层模块和其它模块。图3B图示了总体上在图3A中所示的系统的平面图。
[0013]图4图示了可以包括在基板上涂层有机薄膜的技术，例如方法。
[0014]图5是本教导的封闭涂层系统和相关系统部件的各个实施例的示意图。
具体实施方式
[0015]本教导公开了能够保持在可以提供受控涂层环境的封闭组件中的封闭涂层系统的各个实施例。封闭组件的各个实施例可以密封地构造且与提供气体循环和过滤系统、颗粒控制系统、气体净化系统和热调节系统和类似物的各个部件整体形成，以形成可以保持基本低颗粒的惰性气体环境的封闭涂层系统的各个实施例，用于需要这种环境的本教导的各个涂层过程。封闭组件的各个实施例可以具有涂层系统封闭件和构造为封闭组件的一部段的辅助封闭件，为此，辅助封闭件能够从涂层系统封闭件密封地隔离。根据本教导的封闭涂层系统的实施例可以用于在宽范围的
中制造各种设备和装置的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。
[0016]根据本教导，例如但不限于，有机封装层能够使用图案化涂层技术涂层在各种基于OLED的装置和设备的各个实施例的有源区域上。根据本教导的封闭涂层系统的实施例可以用于在宽范围的
中制造各种设备和装置的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。在本教导的环境受控的涂层系统的各个实施例中，各种涂层溶液可以使用狭缝式模头涂层来涂层，因为狭缝式模头涂层能提供多个优点。首先，可以省去一定范围的真空处理操作，因为这种基于涂层的制造可以在大气压力下执行。此外，在狭缝式模头涂层过程期间，涂层溶液或涂层制剂可以被局部化，以覆盖各种装置和设备的目标部分，以有效地覆盖基板的这种目标部分。最后，使用涂层的目标图案化导致消除了材料浪费，以及消除了实现有机层的图案化通常需要的附加处理。
[0017]例如，用本教导的封闭涂层设备的各个实施例来图案化涂层所使用的各种有机材
料制剂可以具有宽范围的物理属性，例如粘度和表面张力。使用本教导的封闭涂层设备沉积的有机材料制剂可包括能使用热处理(例如，烘焙)、UV暴露及其组合来固化的聚合物(包括例如但不限于：丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、氨基甲酸乙酯或其它材料)及其共聚物和混合物。如本文使用的，聚合物和共聚物可以包括任何形式的聚合物成分，可以制剂成涂层溶液且在基板上固化以形成一致的聚合物层。这种聚合物成分可以包括聚合物和共聚物及其前体，例如但不限于单体、低聚物和树脂。
[0018]封闭涂层设备，例如图2A的涂层设备200，在图2B中以放大图示出，可以包括多个装置和设备，这允许涂层溶液可靠涂层到用于各种基于OLED的装置和设备的基板有源区域的特定位置上。涂层需要涂层组件和装置或设备的基板之间的相对运动。这可以使用运本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于在基板上提供涂层的方法，包括：在有机薄膜涂层系统的输送模块中接收基板；将基板输送给封闭涂层模块，所述封闭涂层模块配置成在基板上制造的电子装置的至少一部分上的沉积区域中沉积图案化有机材料层；使用基板支撑设备在封闭涂层模块中一致地支撑基板，所述基板支撑设备在基板和基板支撑设备之间建立气垫；使用封闭涂层模块在基板的沉积区域上涂层有机材料，同时用基板支撑设备一致地支撑基板；将基板从封闭涂层模块输送给输送模块；将基板从输送模块输送给封闭固化模块；以及在封闭固化模块中处理基板上的沉积有机材料，以在基板的沉积区域中提供有机膜层。2.根据权利要求1所述的方法，其中，在有机薄膜涂层系统的输送模块中接收基板包括从与涂层系统的环境不同的环境接收基板。3.根据权利要求1所述的方法，其中，基板支撑设备包括多孔材料；以及气垫通过推动气体通过所述多孔材料来建立。4.根据权利要求1所述的方法，其中，气垫使用加压气体建立。5.根据权利要求1所述的方法，其中，气垫使用加压气体区域和至少部分真空区域的组合建立。6.根据权利要求1所述的方法，还包括：在封闭涂层系统的封闭件内维持处于或接近大气条件的受控处理环境。7.根据权利要求6所述的方法，其中，受控处理环境维持在颗粒污染水平的指定极限值下。8.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：CF马迪根，ASK柯，E弗龙斯基，
申请(专利权)人：科迪华公司，
类型：发明
国别省市：