激光器结构元件和用于制造激光器结构元件的方法技术

本发明专利技术涉及一种激光器结构元件，所述激光器结构元件具有空腔衬底(10)、具有盖件衬底(20)并且具有激光器(50)，所述空腔衬底在第一侧上具有空腔(15)和至少一个印制导线(40)，所述盖件衬底在内侧上借助连接器件与所述空腔衬底在所述空腔衬底的第一侧上连接并且封闭所述空腔，所述激光器布置在所述空腔中，其中，所述激光器与所述印制导线导电地连接并且紧固在所述印制导线上。本发明专利技术还涉及一种用于制造激光器结构元件的方法。造激光器结构元件的方法。造激光器结构元件的方法。

【技术实现步骤摘要】
激光器结构元件和用于制造激光器结构元件的方法


[0001]本专利技术涉及一种激光器结构元件和一种用于制造激光器结构元件的方法

技术介绍

[0002]对于增强现现实眼镜等新型投影应用需要光源，所述光源具有特别小的结构尺寸并且能够实现非常紧凑的、成本有利的和灵活的构造方案。例如，这能够是激光二极管。但是，必须保护这种激光器结构元件免受环境影响、尤其是氧气影响。通常，激光器构造在TO金属壳体中，然而，TO金属壳体非常大。借助半导体工业中的经微机械加工的晶圆实现的气密地(hermetisch)密封的封装能够实现进一步的小型化。
[0003]由US2015003482A、DE 10 2015 108 117 A1、DE 10 2015 208 704 A1已知具有微机械封装的激光器结构元件。

技术实现思路

[0004]本专利技术的任务在于提供一种具有简单的、密封的封装的稳健的激光器结构元件。
[0005]本专利技术的优点
[0006]核心
[0007]本专利技术涉及一种激光器结构元件，所述激光器结构元件具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光器结构元件，具有空腔衬底(10)，所述空腔衬底在第一侧上具有空腔(15)和至少一个印制导线(40)，具有盖件衬底(20)，所述盖件衬底在内侧上借助连接器件与所述空腔衬底在所述空腔衬底的第一侧上连接并且封闭所述空腔，具有激光器(50)，所述激光器布置在所述空腔中，其中，所述激光器与所述印制导线导电地连接并且紧固在所述印制导线上。2.根据权利要求1所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)布置在所述激光器(50)的射束路径(55)中并且设置用于传输来自于所述激光器的光辐射。3.根据权利要求1或2所述的激光器结构元件，其特征在于，所述激光器(50)借助布线衬底(60)与所述印制导线(40)导电地连接并且紧固在所述印制导线上。4.根据上述权利要求1至3中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔衬底(10)在所述第一侧上具有绝缘层(30)，所述绝缘层至少布置在所述印制导线(40)与所述空腔衬底之间。5.根据上述权利要求1至4中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔(15)的壁在所述空腔衬底(10)的第一侧上如此设置为所述激光器(50)的射束路径(55)中的镜面(70)，使得来自于所述激光器的光辐射能够反射至所述盖件衬底(20)。6.根据上述权利要求1至5中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述盖件衬底(20)在所述内侧上具有涂层，所述涂层构型为用于来自于所述激光器的光辐射的光阑(80)。7.根据上述权利要求1、3或4中任一项所述的激光器结构元件，其特征在于，所述空腔(15)的壁在所述空腔衬底(10)的第一侧上如此设置为所述激光器的射束路径中的窗口，使得来自于所述激光器(50)的光辐射能够向外穿过所述空腔衬底。8.根据上述权利要求1至7中任一项所述的激光器...

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：罗伯特，
类型：发明
国别省市：