一种加工硅环用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种加工硅环用夹具，应用在硅环加工领域，解决了对硅环的内侧面和外侧面加工不方便的技术问题，其技术方案要点是包括底座，底座上开设有圆台槽，圆台槽中设有升降圆台，升降圆台的上侧面的高度低于硅环上侧面的高度，升降圆台的侧面与硅环内侧面相贴合，圆台槽的中央开设有放置槽，放置槽中设置有液压缸，圆台槽的底面设置有导向柱，升降圆台上开设有导向孔，导向孔中设置有导向套，导向套与导向柱滑移配合，升降圆台的底部与液压缸连接，升降圆台上设有内侧固定组件，底座上设有外侧固定组件；具有的技术效果是方便加工中心对硅环的内侧面和外侧面进行加工，从而提高加工精度。高加工精度。高加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种加工硅环用夹具


[0001]本技术涉及硅环加工领域，特别涉及一种加工硅环用夹具。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]参考公布号为CN105632990A的中国专利申请，硅环是用来承载晶圆的一种工具，因晶圆一般为圆形，所以硅环一般在俯视平面上呈中心镂空的圆环状。
[0004]但是，硅环在生产制造过程中，需要加工中心对硅环的内侧面和外侧面进行加工，这时就需要一种方便加工中心对硅环内侧面和外侧面进行加工的夹具，并且提高加工的精度。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种加工硅环用夹具，其优点是方便加工中心对硅环的内侧面和外侧面进行加工，从而提高加工精度。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种加工硅环用夹具，包括底座，所述底座上开设有圆台槽，所述圆台槽中设有升降圆台，所述升降圆台的上侧面的高度低于硅环上侧面的高度，所述升降圆台的侧面与硅环内侧面相贴合，所述圆台槽的中央开设有放置槽，所述放置槽中设置有液压缸，所述圆台槽的底面设置有导向柱，所述升降圆台上开设有导向孔，所述导向孔中设置有导向套，所述导向套与导向柱滑移配合，所述升降圆台的底部与液压缸连接，所述升降圆台上设有内侧固定组件，所述底座上设有外侧固定组件。
[0007]通过上述技术方案，液压缸控制升降圆台从圆台槽中上升或下降，从而对硅环的内侧对硅环进行限位，导向柱使得升降圆台上升或者下降的更稳定，内侧固定组件从硅环的内侧对硅环进行固定，从而方便对硅环的外侧进行加工，外侧固定组件从硅环的外侧对进硅环行固定，从而方便对硅环的内侧进行加工。
[0008]本技术进一步设置为：所述内侧固定组件包括内固定柱和内抵接板，所述内固定柱设置在升降圆台上，所述内抵接板的一端开设有与内固定柱相配合的内滑移孔，所述内滑移孔与内固定柱滑移配合，所述内固定柱上开设有螺纹，所述内固定柱上螺纹配合有第一螺母和第二螺母，所述第一螺母抵接在内抵接板靠近升降圆台的一侧，所述第二螺母抵接在内抵接板远离升降圆台的一侧，所述内抵接板远离内固定柱的一端抵接在硅环的上表面上。
[0009]通过上述技术方案，内抵接板在内固定柱上上下移动并且可以转动，当需要对硅环的外侧面进行加工时，内抵接板压在硅环的上侧面上，旋转第一螺母和第二螺母，使其抵接在内抵接板的两侧，从而使内抵接板稳定的抵接在硅环的上侧面上，进而方便对硅环的
外侧进行加工。
[0010]本技术进一步设置为：所述外侧固定组件包括定位柱、抵接柱和推压丝杆，所述定位柱固定在底座上，所述定位柱与硅环的外侧面抵接，所述底座上开设有滑移槽，所述抵接柱与滑移槽滑移配合，所述推压丝杆与抵接柱连接，所述推压丝杆连接有使推压丝杆转动的转动手轮，所述抵接柱与硅环的外侧面抵接。
[0011]通过上述技术方案，定位柱方便将硅环放在预定位置进行固定，转动手轮使推压丝杆转动，从而使得抵接柱移动而与硅环的外侧面进行抵接，从而对硅环进行固定，滑移槽使得抵接柱移动的更平稳。
[0012]本技术进一步设置为：所述底座上设置有外固定柱和外抵接板，所述外固定柱设置在底座上，所述外抵接板的一端开设有与外固定柱相配合的外滑移孔，所述外滑移孔与外固定柱滑移配合，所述外固定柱上开设有螺纹，所述外固定柱上螺纹配合有第三螺母和第四螺母，所述第三螺母抵接在外抵接板靠近底座的一侧，所述第四螺母抵接在外抵接板远离底座的一侧，所述外抵接板远离外固定柱的一端抵接在硅环的上表面上。
[0013]通过上述技术方案，外抵接板在外固定柱上上下移动并且可以转动，当需要对硅环的内侧面进行加工时，外抵接板压在硅环的上侧面上，旋转第三螺母和第四螺母，使其抵接在外抵接板的两侧，从而使外抵接板稳定的抵接在硅环的上侧面上，从而方便对硅环的内侧进行加工。
[0014]本技术进一步设置为：一个所述内固定柱和内抵接板为一组，所述内固定柱和内抵接板不少于两组且均匀分布，一个所述外固定柱和外抵接板为一组，所述外固定柱和外抵接板不少于两组且均匀分布。
[0015]通过上述技术方案，内抵接板均匀分布从而使得内抵接板对硅环固定的更稳定，进而保证加工时硅环的稳定性；外抵接板均匀分布从而使得外抵接板对硅环固定的更稳定，进而保证加工时硅环的稳定性。
[0016]本技术进一步设置为：所述定位柱设有一个，所述抵接柱设有两个，所述定位柱与抵接柱之间呈三角形与硅环的外侧面抵接。
[0017]通过上述技术方案，定位柱与抵接柱之间呈三角形分布使硅环受力的更均匀和稳定，保证硅环在加工时的稳定性。
[0018]本技术进一步设置为：所述升降圆台的上侧倒有圆角。
[0019]通过上述技术方案，防止升降圆台在升降时与硅环发生碰撞，从而使得升降圆台在上升时与硅环的内侧贴合的更稳定。
[0020]本技术进一步设置为：所述内抵接板的两侧设置有内限位片，所述内限位片与内抵接板的两侧抵接，所述内限位片设置在升降圆台上，所述外抵接板的两侧设置有外限位片，所述外限位片与外抵接板的两侧抵接，所述外限位片设置在升降圆台上。
[0021]通过上述技术方案，内限位片从而使得内抵接板在抵接硅环上侧面时不会发生位移，进而使得内抵接板与硅环抵接的更稳定；外限位片从而使得外抵接板在抵接硅环上侧面时不会发生位移，进而使得外抵接板与硅环抵接的更稳定。
[0022]本技术进一步设置为：所述底座底部的两侧向外延伸有固定底座的固定板。
[0023]通过上述技术方案，通过固定板从而使得底座更方便的固定在加工中心的加工台上，进而方便加工中心对硅环进行加工。
[0024]综上所述，本技术具有以下有益效果：
[0025]1.升降圆台对硅环的内侧面进行限位，再配合内固定柱和内抵接板对硅环的限制，从而稳定的固定硅环的位置；
[0026]2.定位柱和抵接柱从而对硅环的外侧面进行限位，再配合外固定柱和外抵接板对硅环的限制，从而稳定的固定硅环的位置；
[0027]3.内限位片和外限位片限制了内抵接片和外抵接片的位移，进而使内抵接片和外抵接片对硅环抵接的更稳定。
附图说明
[0028]图1是本实施例的整体的结构示意图；
[0029]图2是图1中A部放大示意图；
[0030]图3是本实施例的剖面的结构示意图；
[0031]图4是本实施例的升降圆台的结构示意图；
[0032]图5是本实施例的内抵接板与内固定柱的结构示意图；
[0033]图6是本实施例的外抵接板与外固定柱的结构示意图。
[0034]附图标记：1、底座；2、圆台槽；3、升降圆台；4、液压缸；5、导向柱；6、导向套；7、内固定柱；8、内抵接板；9、内滑移孔；10、第一螺母；11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加工硅环用夹具，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上开设有圆台槽(2)，所述圆台槽(2)中设有升降圆台(3)，所述升降圆台(3)的上侧面的高度低于硅环(26)上侧面的高度，所述升降圆台(3)的侧面与硅环(26)内侧面相贴合，所述圆台槽(2)的中央开设有放置槽，所述放置槽中设置有液压缸(4)，所述圆台槽(2)的底面设置有导向柱(5)，所述升降圆台(3)上开设有导向孔(29)，所述导向孔(29)中设置有导向套(6)，所述导向套(6)与导向柱(5)滑移配合，所述升降圆台(3)的底部与液压缸(4)连接，所述升降圆台(3)上设有内侧固定组件，所述底座(1)上设有外侧固定组件。2.根据权利要求1所述的一种加工硅环用夹具，其特征在于，所述内侧固定组件包括内固定柱(7)和内抵接板(8)，所述内固定柱(7)设置在升降圆台(3)上，所述内抵接板(8)的一端开设有与内固定柱(7)相配合的内滑移孔(9)，所述内滑移孔(9)与内固定柱(7)滑移配合，所述内固定柱(7)上开设有螺纹，所述内固定柱(7)上螺纹配合有第一螺母(10)和第二螺母(11)，所述第一螺母(10)抵接在内抵接板(8)靠近升降圆台(3)的一侧，所述第二螺母(11)抵接在内抵接板(8)远离升降圆台(3)的一侧，所述内抵接板(8)远离内固定柱(7)的一端抵接在硅环(26)的上表面上。3.根据权利要求2所述的一种加工硅环用夹具，其特征在于，所述外侧固定组件包括定位柱(12)、抵接柱(13)和推压丝杆(16)，所述定位柱(12)固定在底座(1)上，所述定位柱(12)与硅环(26)的外侧面抵接，所述底座(1)上开设有滑移槽(15)，所述抵接柱(13)与滑移槽(15)滑移配合，所述推压丝杆(16)与抵接柱(13)连接，所述推压丝杆(16)连接有使推压丝杆(16)转动的转动手轮(17)，所述抵接柱(13)与硅环(26)的外侧面抵接。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦国梁，
申请(专利权)人：江苏宏芯时代半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：