一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法技术

本发明专利技术提出一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法，包括腔体和位于腔体上的左侧门、右侧门，还包括压印单元，检测单元和传输单元；检测单元位于腔体右侧，与右侧门相邻，包括晶圆托盘，XY轴位移平台，膜厚检测探头；传输单元位于压印单元和检测单元之间，简化测试流程，提高工作效率，避免遗漏缺陷，实现检测自动化节约人力物力。化节约人力物力。化节约人力物力。

【技术实现步骤摘要】
一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法


[0001]本专利技术涉及纳米压印
，尤其涉及一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法。

技术介绍

[0002]纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。随着纳米压印技术的飞速发展，纳米压印产品尺寸越来越大，但元件的临界尺寸越来越小，肉眼很难分辨出产品中存在的缺陷，如果压印产品结构精度与原始模具偏差超出容差值，那么该产品无法用于刻蚀流程，传统的测试只能做到抽检，且时间长，效率低。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于克服以上技术缺陷，提出一种可测结构精度的纳米压印设备及压印方法，简化测试流程，提高工作效率。
[0004]本专利技术为实现其技术目的所采取的技术方案是：一种可测结构精度的纳米压印设备，包括腔体和位于所述腔体上的左侧门、右侧门，还包括压印单元，检测单元和传输单元；
[0005]所述压印单元位于所述腔体左侧，与所述左侧门相邻，所述压印单元包括上下两部分，上部分包括压板和夹具，在所述压板和夹具之间还设有软模具，所述软模本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可测结构精度的纳米压印设备，包括腔体和位于所述腔体上的左侧门、右侧门，其特征在于：还包括压印单元，检测单元和传输单元；所述压印单元位于所述腔体左侧，与所述左侧门相邻，所述压印单元包括上下两部分，上部分包括压板和夹具，在所述压板和夹具之间还设有软模具，所述软模具依靠真空吸附在所述压板上，所述夹具依靠磁力吸附固定在所述压板上，所述夹具将所述软模具夹紧固定；所述压板通过支架固定在所述腔体顶部，在所述腔体顶部、所述压板正上方还设有紫外灯，所述压板中间设有用于通过紫外线的透明部分，所述夹具中间设置镂空部分；所述压印单元下部分包括上下移动装置，在所述上下移动装置上方安装有加热装置和托盘，在所述托盘上方通过真空吸附有基片；所述检测单元位于所述腔体右侧，与所述右侧门相邻，包括晶圆托盘，位移平台，检测探头；所述传输单元位于压印单元和检测单元之间，包括机械手，真空吸附基板。2.根据权利要求1所述的一种可测结构精度的纳米压印设备，其特征在于：所述压板中间的透明部分宽度与所述托盘宽度一致。3.根据权利要求1所述的一种可测结构精度的纳米压印设备，其特征在于：所述夹具中间的镂空部分宽度大于所述托盘宽度。4.根据权利要求1所述的一种可测结构精度的纳米压印设备，其特征在于：所述位移平台为XY轴位移平台，所述检...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀然，
申请(专利权)人：青岛天仁微纳科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：