包括两个微镜的集成电子模块和包括电子模块的系统技术方案

一种电子模块包括：半导体材料的第一管芯，其包括第一反射器；半导体材料的第二管芯，其包括第二反射器；以及框架，其包括彼此平行的第一支撑部和第二支撑部。第一管芯和第二管芯分别由第一支撑部和第二支撑部承载，并且分别布置成使得第一反射器面向第二支撑部、并且第二反射器面向第一支撑部。入射光束撞击在第一反射器上并在第二反射器上反射，从而在来自电子模块的输出处被提供。电子模块的输出处被提供。电子模块的输出处被提供。

【技术实现步骤摘要】
包括两个微镜的集成电子模块和包括电子模块的系统
[0001]优先权声明
[0002]本申请要求于2020年9月25日提交的意大利专利申请第102020000022715号的优先权，其公开内容通过引用整体并入。


[0003]本公开涉及一种包括反射器，特别是MEMS微镜的电子模块，以及一种包括或集成电子模块的系统。

技术介绍

[0004]已知微机械镜结构至少部分地由半导体材料制成，并且使用MEMS(微机电系统)技术获得。这种微机械结构通常集成在便携式设备中，例如便携式计算机、膝上型电脑、笔记本电脑(包括超薄笔记本电脑)、PDA、平板电脑和智能手机。这种与便携式设备的集成用于光学应用，特别是用于以期望的方式引导由光源产生的光辐射束。
[0005]由于此类结构的尺寸小，因此此类结构可以满足在面积和厚度方面对空间占用的严格要求。
[0006]例如，微型机械镜结构(或微镜，通常通过MEMS技术获得)用于微型投影仪模块(所谓的微型投影仪)，它们能够远距离投射图像或生成所需的光图案。
[0007]与图像捕获模块结合，这种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子模块，包括：半导体材料的第一管芯，包括第一反射器；半导体材料的第二管芯，包括第二反射器；以及框架，包括第一支撑部和第二支撑部，其中所述第一支撑部和所述第二支撑部彼此平行延伸；其中所述第一管芯和所述第二管芯分别由所述第一支撑部和所述第二支撑部承载，并且分别布置为使得所述第一反射器面向所述第二支撑部、并且所述第二反射器面向所述第一支撑部。2.根据权利要求1所述的电子模块，其中所述第一反射器和所述第二反射器是彼此交错的。3.根据权利要求1所述的电子模块，其中所述第一支撑部和所述第二支撑部彼此间隔开地布置，从而在所述框架内部限定间隙。4.根据权利要求3所述的电子模块：其中所述第一支撑部具有：在其中限定的第一腔，所述第一腔被配置为至少部分地容纳所述第一管芯，使得所述第一反射器面向间隙；以及穿过所述第一支撑部横向于所述第一腔的第一贯穿口；以及其中所述第二支撑部具有：在其中限定的第二腔，所述第二腔被配置为至少部分地容纳所述第二管芯，使得所述第二反射器面向间隙；以及穿过所述第二支撑部横向于所述第二腔的第二贯穿口。5.根据权利要求4所述的电子模块：其中所述第一支撑部还具有限定在其中的第一贯穿口，所述第一贯穿口横向于所述第一腔布置；以及其中所述第二支撑部还具有限定在其中的第二贯穿口，所述第二贯穿口横向于所述第二腔布置。6.根据权利要求5所述的电子模块，其中所述第一反射器、所述第二反射器、所述第一开口和所述第二开口相互布置，使得光束通过所述第一开口和所述第二开口中的一个开口进入所述间隙，击中所述第一反射器或所述第二反射器，向所述第一反射器和所述第二反射器中的另一个反射器偏转，并通过所述第一开口和所述第二开口中的另一个开口离开所述间隙。7.根据权利要求5所述的电子模块，其中所述第一开口和所述第二开口中的至少一个开口具有涂覆有抗反射材料的内壁，所述抗反射材料成形为限制所述开口内的多次反射。8.根据权利要求5所述的电子模块，其中所述第一开口和所述第二开口中的至少一个开口具有内壁，所述内壁成形为限制所述开口内的多次反射。9.根据权利要求1所述的电子模块，其中所述框架是整体式的。10.根据权利要求1所述的电子模块，其中所述第一支撑部和所述第二支撑部通过第一连接部结合在一起，所述第一连接部具有在公共连接部处结合所述第一支撑部和所述第二支撑部的弯曲区域。11.根据权利要求10所述的电子模块：其中所述第一支撑部和所述第二支撑部还耦接至第二连接部，所述第二连接部具有将
所述第一支撑部和所述第二支撑部结合在一起的相应弯曲区域。12.根据权利要求11所述的电气模块，其中所述第二连接部以能释放的方式耦接至所述第一支撑部和所述第二支撑部。13.根据权利要求11所述的电气模块，其中所述第二连接部以不能释放的方式耦接至所述第一支撑部和所述第二支撑部。14.根据权利要求11所述的电子模块，其中所述第一支撑部和所述第二支撑部具有矩形形状，并且所述第一连接部和所述第二连接部在所述第一支撑部和所述第二支撑部的相对侧延伸。15.根据权利要求10所述的电子模块，其中所述第一连接部和所述第二连接部与所述第一支撑部和所述第二支撑部不共面。16.根据权利要求1所述的电子模块，其中所述第一支撑部和所述第二支撑部分别承载第一电连接元件和第二电连接元件，所述第一管芯耦接至所述第一电连接元件，并且所述第二管芯耦接至所述第二电连接元件。17.根据权利要求16所述的电子模块：其中所述第一电连接元件是刚挠型板，所述第一管芯耦接至所述第一电连接元件的刚性部；以及其中所述第二电连接元件是刚挠型板，所述第二管芯耦接至所述第二电连接元件的刚性部。18.根据权利要求17所述的电子模块：其中所述第一电连接元件还在所述第一电连接元件的挠性部上承载...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：