【技术实现步骤摘要】
一种基于无惯性反馈校正的光束稳定装置
[0001]本专利技术属于超精密光学成像与刻写领域，尤其涉及一种基于无惯性反馈校正的光束稳定装置。
技术介绍
[0002]随着激光设备应用领域不断拓展及要求的不断提高，其对光源系统的性能指标也在不断加强，然而激光器由于其本身原理、结构和外部环境等因素影响，本身很难避免光束漂移问题。除光源本身产生光束时存在的漂移外，后续光路中的器件也会因自身结构特性和环境变化对光束传导的稳定性产生影响，如机械结构件受温度和外力产生应变、系统空腔内气流密度变化、电磁干扰等都会使光束偏离理想传导路径，最终获得的光斑将受到上述各种因素的叠加影响，在位置上产生平移，在角度上产生偏转。通常精密光学系统都会放置于封闭受控的恒温恒湿环境中，使用隔振平台被动减震，并配备空气滤清系统，一定程度上可以避免环境对系统内光路稳定性的影响。然而，随着精密光学系统的精度要求不断提高，高规格的环境控制系统成本也难以控制，通过环境控制等被动手段控制之后残余的光束漂移量已经无法忽视，光学系统的光束漂移需要引入更加有效的手段加以控制。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于无惯性反馈校正的光束稳定装置，其特征在于，包括两对光束偏转器、第一分光棱镜（5）、第二分光棱镜（6）、第一透镜（7）、第二透镜（8）、第一光电感应器（11）、第二光电感应器（12）和控制器（13）；其中，每对光束偏转器包括垂直放置的X轴光束偏转器与Y轴光束偏转器，分别用于沿入射光束X与Y方向对光束进行角度偏转，经两对光束偏转器偏转后的入射光束经过所述第一分光棱镜（5）分光为出射光束与第一反射光束，第一反射光束经过所述第二分光棱镜（6）分束后分为第一监控光束与第二监控光束；第一监控光束经过所述第一透镜（7）后到达所述第一光电感应器（11），第二监控光束经过所述第二透镜（8）到达第二光电感应器（12）；入射光束到达第二对光束偏转器的入射位置与所述第一光电感应器（11）的探测面关于所述第一透镜（7）为物像关系；第二光电感应器（12）探测面放置于第二透镜（8）的焦面处；第一光电感应器（11）和第二光电感应器（12）分别对光束位置、角度进行独立监测并发送至控制器（13），控制器（13）根据监测信息控制两对光束偏转器偏转校正入射光束的光路。2.根据权利要求1所述一种基于无惯性反馈校正的光束稳定装置，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡翠方，马程鹏，丁晨良，刘旭，徐良，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：
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