探针台用探针卡托盘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种探针台用探针卡托盘装置，包括探针卡托盘放置台和探针卡托盘，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽；其中，所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔；所述探针卡托盘放置台设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱，所述定位柱与所述定位孔的形状相对应，且所述定位柱之间的柱心距离等于所述定位孔之间的孔心间距。通过在中空凹槽的底部设置环形密封件，缓冲了探针卡工作时的受力，避免了探针卡的探针倾斜；同时，在安装支座设置定位孔和定位槽，提高了探针卡托盘的安装效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
探针台用探针卡托盘装置


[0001]本技术涉及半导体测试领域，更具体地，涉及一种探针台用探针卡托盘装置。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0003]晶圆在测试过程中被吸附在吸盘上，吸盘位于放置槽的下方，并由移动平台带动，与探针卡进行接触，从而遍测晶圆上的每个芯片。
[0004]测试过程中，探针卡受外力影响容易出现探针倾斜，扎针接触不均匀的现象，影响晶圆的正常检测。而且，长时间运行的探针卡受晶圆的影响，测试过程中会被引入颗粒物，导致测量结果不准确。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，本技术提供一种探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，包括探针卡托盘放置台、探针卡托盘和探针卡，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽，所述探针卡放置于所述中空凹槽内；其中，所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，包括：探针卡托盘放置台和探针卡托盘，所述探针卡托盘包括定位支座，所述定位支座内设有中空凹槽；其中，所述定位支座设有若干定位孔对，所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔；所述探针卡托盘放置台设有定位柱对，所述定位柱对包括两个定位柱，所述定位柱与所述定位孔的形状相对应，且所述定位柱之间的柱心距离等于所述定位孔之间的孔心间距。2.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位孔数量为大于等于2或小于等于10的偶数。3.如权利要求2所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述定位孔数量为6个。4.如权利要求1所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述探针卡托盘还包括环形密封件，所述环形密封件设置于所述中空凹槽的底部。5.如权利要求4所述的探针台用探针卡托盘装置，其特征在于，所述中空凹槽的底部形状为圆环形，具有外圆尺寸和内圆尺寸，所述环形密封件具有外圈尺寸和内圈尺寸，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐颖飞，叶红波，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：新型
国别省市：