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本实用新型提供一种探针台用探针卡托盘装置,包括探针卡托盘放置台和探针卡托盘,所述探针卡托盘包括定位支座,所述定位支座内设有中空凹槽;其中,所述定位支座设有若干定位孔对,所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔...该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种探针台用探针卡托盘装置,包括探针卡托盘放置台和探针卡托盘,所述探针卡托盘包括定位支座,所述定位支座内设有中空凹槽;其中,所述定位支座设有若干定位孔对,所述定位孔对包括沿所述中空凹槽的圆周对称设置在所述定位支座上的两个定位孔...