基于固态纳米孔阵列的测序芯片制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于固态纳米孔阵列的测序芯片，该芯片由下至上依次包括：硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干个电极，第一电介质层与第二电介质层的材料不同；硅基片中形成有若干个贯穿其的独立样品腔；第一电介质层中形成有若干个贯穿其的纳米孔；第二电介质层中形成有若干个贯穿其的空腔；若干个独立样品腔、纳米孔、空腔及电极一一对应设置；若干个电极对应设置于若干个空腔及第二电介质层的表面，同时每个电极裸露出部分与该电极对应的空腔形成桥状结构。该芯片基于现有成熟的硅微加工工艺结合电介质材料的击穿原理，工艺波动小且可控、成本低、工艺简单，适于可控的大规模并行化形成纳米孔阵列，从而适用于工业化量产。产。产。

【技术实现步骤摘要】
基于固态纳米孔阵列的测序芯片


[0001]本技术属于微纳医疗检测应用
，特别是涉及一种基于固态纳米孔阵列的测序芯片。

技术介绍

[0002]遗传信息的测量对生命科学和医学领域具有革命性的推动作用。未来精准医疗与个性化医疗需求成本更低，速度更快，精度更高，读长更长的新型测序技术。
[0003]新一代单分子实时测序技术解决了读长更长和速度更快的需求，目前飞速发展的生物纳米孔测序技术进一步解决了成本更低的需求，生物纳米孔测序技术不需要准备大量的样品，样品制备过程不需要耗费生物与化学试剂，大大降低了测序成本，也节省了DNA克隆和扩增的时间，节约了时间成本。纳米孔测序的基本原理是：两个电解液室被绝缘膜分隔开，形成顺式和反式隔室，绝缘膜上只有一个纳米级的孔连通两腔室。当向电解液室施加电压时，溶液中的电解质离子通过电泳移动并穿过纳米孔，形成稳态离子电流，当尺寸略小于孔径的颗粒穿过孔时，流过纳米孔的电流将被阻塞，从而中断电流信号，随后恢复原有信号。将带电生物分子(离子、DNA、RNA、肽、蛋白质、药物、聚合物大分子等)样品添加到一个电解液隔室中会本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于固态纳米孔阵列的测序芯片，其特征在于，所述测序芯片由下至上依次包括：硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干个电极，所述第一电介质层与所述第二电介质层的材料不同；所述硅基片中形成有若干个贯穿所述硅基片的独立样品腔；所述第一电介质层中形成有若干个贯穿所述第一电介质层的纳米孔；所述第二电介质层中形成有若干个贯穿所述第二电介质层的空腔；若干个所述独立样品腔、所述纳米孔、所述空腔及所述电极一一对应设置；若干个所述电极对应设置于若干个所述空腔的上面且形成于所述第二电介质层的表面，同时每个所述电极裸露出部分与该电极对应的所述空腔形成桥状结构。2.根据权利要求1所述的基于固态纳米孔阵列的测序芯片，其特征在于：所述硅基片的厚度介于500μm～1000μm之间，所述第一电介质层的厚度介于10nm～1000nm之间，所述第二电介质层的厚度介于10nm～100μm之间。3.根据权利要求1所述的基于固态纳米孔阵列的测序芯片，其特征在于：所述纳米孔的尺寸介于0.1nm～100nm之间。4.根据权利要求1所述的基于固态纳米孔阵列的测序芯片，其特征在于：若干个所述空腔的横截...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：上海近观科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：