下载基于固态纳米孔阵列的测序芯片的技术资料

文档序号:32804909

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本实用新型提供一种基于固态纳米孔阵列的测序芯片,该芯片由下至上依次包括:硅基片、第一电介质层、第二电介质层及若干个电极,第一电介质层与第二电介质层的材料不同;硅基片中形成有若干个贯穿其的独立样品腔;第一电介质层中形成有若干个贯穿其的纳米孔;...
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