本实用新型专利技术属于半导体抛光技术领域，具体涉及一种抛光装置。一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括至少一个用于卡接半导体用石英环的石英环卡盘，还包括一机架，机架上具有：一抛光机构，具有抛光盘、与抛光盘转动连接的抛光转动机构；至少一个卡盘转动机构，具有与石英环卡盘卡接的转动端，带动石英环卡盘转动；石英环卡盘位于抛光盘上方，石英环卡盘上卡接半导体用石英环的一面朝向抛光盘。本实用新型专利技术操作简单，方便使用，效率高、成本低，提高了操作员工的工作环境，降低安全隐患。降低安全隐患。降低安全隐患。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体用石英环的快速抛光装置
[0001]本技术属于半导体抛光
，具体涉及一种抛光装置。
技术介绍
[0002]随着半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。半导体用石英环是半导体制造的整个流程中的关键零部件。尤其是半导体用石英环的使用环境也随之变化，技术参数的要求也越来越高。整体行业景气度提升，芯片产业也将继续保持高速发展。对于高端半导体用石英环的需求也在大幅度增长。
[0003]半导体用石英环的抛光加工，首先需要将特定铝板放置在加热电炉上加热，之后将松香蜡在铝板上融化，之后将待抛光的半导体石英环放置于融化松香蜡的铝板上，待冷却后放入四轴抛光机中抛光，抛光完成后再将粘有半导体石英环的铝板放置于加热炉上进行加热，融化松香蜡取出半导体石英环；传统的半导体石英环抛光装置主要是利用铝板导热性良好，松香蜡熔点与凝固点较低，使用加热炉加热铝板进而融化松香蜡，降温之后松香蜡凝固将半导体石英板固定，此方法由于松香蜡熔点低，抛光过程中极易产生热量，在四轴机抛光过程中极易出现松动。因而不能使用较高速度进行抛光，抛光效率较低，现有设备不能满足生产需要；另外，由于使用加热炉、松香蜡，因而在操作过程中极易发生火灾、人员烫伤，加热产生的松香蜡气体严重影响工人工作环境。因而使用成本与维护成本较高，上下盘时间较长，工作环境较差。
技术实现思路
[0004]本技术针对上述技术问题，目的在于提供一种一种用于半导体用石英环的快速抛光装置。
[0005]一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括至少一个用于卡接半导体用石英环的石英环卡盘，还包括一机架，所述机架上具有：
[0006]一抛光机构，具有抛光盘、与所述抛光盘转动连接的抛光转动机构；
[0007]至少一个卡盘转动机构，具有与所述石英环卡盘卡接的转动端，带动所述石英环卡盘转动；
[0008]所述石英环卡盘位于所述抛光盘上方，所述石英环卡盘上卡接半导体用石英环的一面朝向所述抛光盘。
[0009]本技术使用时，通过抛光转动机构带动抛光盘逆时针转动，卡盘转动机构带动石英环卡盘顺时针转动，进而带动石英环卡盘上的半导体用石英环顺时针转动的同时，实现抛光操作。
[0010]所述抛光转动机构包括：
[0011]一主轴减速电机，固定于所述机架上，其电机轴的轴向为竖向，所述电机轴端部设置有主轴电机皮带轮；
[0012]一抛光皮带轮，中部通过连接件与所述抛光盘底部的中部固定；
[0013]一抛光皮带，闭合连接所述主轴电机皮带轮和所述抛光皮带轮。
[0014]所述卡盘转动机构包括：
[0015]一花键减速电机，固定于所述机架上，其电机轴的轴向为竖向，所述电机轴端部设置有花键电机皮带轮；
[0016]一花键，轴向为竖向，外圆周面上设置有竖向的键槽；
[0017]一花键皮带轮，固定在所述花键的键槽外，带动花键转动；
[0018]一花键皮带，闭合连接所述花键电机皮带轮和所述花键皮带轮；
[0019]一传动盘，设置在所述花键底部，作为所述卡盘转动机构的转动端跟随所述花键转动，设置有与所述石英环卡盘配合的下部凸键；
[0020]所述石英环卡盘位于所述传动盘下方，所述石英环卡盘上设有与所述下部凸键配合的下部键槽，所述下部键槽与所述下部凸键卡接。
[0021]所述卡盘转动机构还包括：
[0022]一花键气缸，固定于所述机架上，其活塞杆的轴向为竖向；
[0023]一气缸连接器，一端与所述花键气缸的活塞杆连接，另一端经轴承与所述花键上部连接，由所述花键气缸经所述气缸连接器带动所述花键做升降运动。
[0024]所述花键皮带轮的底面中部向下延伸形成连接柱体，所述连接柱体外套设皮带轮轴承，所述连接柱体通过所述皮带轮轴承与所述机架固定，所述花键穿过所述连接柱体后与所述传动盘连接。
[0025]所述石英环卡盘的外圆周面上向内挖设有至少一个定位卡槽；
[0026]所述抛光装置还包括一定位器机构，所述定位器机构包括：
[0027]一卡盘定位器，具有连接柱和定位盘，所述连接柱的轴向为竖向，所述连接柱的底部与所述定位盘的中部固定，所述定位盘的外圆周面上向内挖设有至少一个弧形凹槽，所述弧形凹槽的中部设有定位卡扣，所述定位卡扣与所述定位卡槽卡接，致使所述石英环卡盘卡接于所述卡盘定位器上；
[0028]一定位器气缸，固定于所述机架上，其活塞杆的轴向为竖向；
[0029]一定位器连接件，一端与所述定位器气缸的活塞杆连接，另一端经轴承与所述连接柱的上部连接，由所述定位器气缸经所述定位器连接件带动所述卡盘定位器做升降运动，进而带动与所述卡盘定位器卡接的所述石英环卡盘做升降运动。
[0030]所述卡盘转动机构还包括：
[0031]一传动盘复位器，固定于所述机架上，位于所述传动盘上方，中部中空且被所述花键穿过，所述传动盘复位器上设有上部键槽；
[0032]所述传动盘设置有可与所述上部键槽配合的上部凸键。由于传动盘会跟随花键转动，若转动到下部键槽无法与下部凸键卡接的角度时，传动盘无法与石英环卡盘卡接，因此通过增设传动盘复位器来实现传动盘的定位。
[0033]所述机架包括：
[0034]一上部机架，为中空圆柱形结构，其内设置有所述花键减速电机、所述花键、所述花键皮带轮、所述花键皮带、所述花键气缸、所述气缸连接器和所述定位器机构，所述上部机架的顶面敞开，所述上部机架的底面外固定有所述传动盘复位器，所述上部机架的底面
分别被所述花键穿过、被所述定位器机构的连接柱穿过，致使所述传动盘位于所述上部机架的底面下方，所述定位盘位于所述上部机架的底面下方；
[0035]一下部机架，为中空圆柱形结构，其内设置有所述抛光转动机构，下部机架的底面敞开，所述下部机架的顶面设有机架通槽；
[0036]所述抛光盘内嵌在所述机架通槽上且顶面伸出于所述机架通槽；
[0037]与所述卡盘定位器卡接的所述石英环卡盘位于所述抛光盘上，所述石英环卡盘的上方为所述传动盘。
[0038]所述上部机架和所述下部机架之间具有预设距离，所述上部机架和所述下部机架之间采用四个固定柱固定。
[0039]所述石英环卡盘为四个，四个所述石英环卡盘围成矩形设置在所述抛光盘上方；
[0040]所述卡盘转动机构也为四个，一个所述卡盘转动机构对应带动一个所述石英环卡盘转动；
[0041]所述定位盘上的弧形凹槽为四个，四个所述弧形凹槽围绕所述定位盘外圆周面一圈均匀设置。
[0042]有益效果：本技术具有如下显著优点：
[0043]1、可根据不同石英环规格，调节石英环卡盘大小，以配合石英环抛光，减少资源浪费；
[0044]2、提高了操作员工的工作环境，降低安全隐患；
[0045]3、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，包括至少一个用于卡接半导体用石英环的石英环卡盘，特征在于，还包括一机架，所述机架上具有：一抛光机构，具有抛光盘、与所述抛光盘转动连接的抛光转动机构；至少一个卡盘转动机构，具有与所述石英环卡盘卡接的转动端，带动所述石英环卡盘转动；所述石英环卡盘位于所述抛光盘上方，所述石英环卡盘上卡接半导体用石英环的一面朝向所述抛光盘。2.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于，所述抛光转动机构包括：一主轴减速电机，固定于所述机架上，其电机轴的轴向为竖向，所述电机轴端部设置有主轴电机皮带轮；一抛光皮带轮，中部通过连接件与所述抛光盘底部的中部固定；一抛光皮带，闭合连接所述主轴电机皮带轮和所述抛光皮带轮。3.如权利要求1所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于，所述卡盘转动机构包括：一花键减速电机，固定于所述机架上，其电机轴的轴向为竖向，所述电机轴端部设置有花键电机皮带轮；一花键，轴向为竖向，外圆周面上设置有竖向的键槽；一花键皮带轮，固定在所述花键的键槽外，带动花键转动；一花键皮带，闭合连接所述花键电机皮带轮和所述花键皮带轮；一传动盘，设置在所述花键底部，作为所述卡盘转动机构的转动端跟随所述花键转动，设置有与所述石英环卡盘配合的下部凸键；所述石英环卡盘位于所述传动盘下方，所述石英环卡盘上设有与所述下部凸键配合的下部键槽，所述下部键槽与所述下部凸键卡接。4.如权利要求3所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于，所述卡盘转动机构还包括：一花键气缸，固定于所述机架上，其活塞杆的轴向为竖向；一气缸连接器，一端与所述花键气缸的活塞杆连接，另一端经轴承与所述花键上部连接，由所述花键气缸经所述气缸连接器带动所述花键做升降运动。5.如权利要求4所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于，所述花键皮带轮的底面中部向下延伸形成连接柱体，所述连接柱体外套设皮带轮轴承，所述连接柱体通过所述皮带轮轴承与所述机架固定，所述花键穿过所述连接柱体后与所述传动盘连接。6.如权利要求4所述的一种用于半导体用石英环的快速抛光装置，其特征在于，所述石英环卡盘的外圆周面上向内挖设有至少一个定位卡槽；所述抛光装置还包括一定位器机构，所述定位器机构包括：一卡盘定位器，具有连...
【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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