【技术实现步骤摘要】
本技术属于固液分离，具体涉及一种用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置。
技术介绍
1、随着半导体产业景气向上，制程工艺的趋势是向密集度愈高的方向发展，石英零件加工产量快速增加。尤其是对半导体石英零件产品的质量要求越来越高，对于石英零件的光洁度的技术指标需求大幅度增长，传统的石英切削液过滤装置满足不了现代石英加工需求的背景下。
2、传统的石英切削液过滤装置是通过电机带动一个可旋转离心装置，通过将石英粉末与切削液混合液通入可旋转的离心装置，由于石英粉末与切削液密度不同，通过石英粉末与切削液混合液在离心装置中加速，实现固液分离，此方法在石英粉末与切削液混合液的石英粉末与切削液分离时，对石英粉末与切削液混合液的流速和可旋转的离心装置中，石英粉末的堆积程度要求非常高，尤其目前石英加工产量增加，对石英粉末与切削液混合液的过滤精度要求提高。
技术实现思路
1、本技术针对上述技术问题，目的在于提供一种用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置。
2、一种用于石英粉末与切削...
【技术保护点】
1.一种用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，所述三级沉淀池具有依次连接的三道沉淀池，相邻两道所述沉淀池之间通过溢流管连通；
3.如权利要求2所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，三道所述沉淀池的下部分别设置有清洗排液口，所述清洗排液口安装有排液阀门。
4.如权利要求2或3所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，三道所述沉淀池按体积比为3:2:1设置。
5.如权利要...
【技术特征摘要】
1.一种用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，所述三级沉淀池具有依次连接的三道沉淀池，相邻两道所述沉淀池之间通过溢流管连通；
3.如权利要求2所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，三道所述沉淀池的下部分别设置有清洗排液口，所述清洗排液口安装有排液阀门。
4.如权利要求2或3所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，三道所述沉淀池按体积比为3:2:1设置。
5.如权利要求1所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在于，所述球形离心器包括：
6.如权利要求5所述的用于石英粉末与切削液混合液的集中固液分离装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，朱佩华，董耀胜，姚铭杰，黄芸，吴静，花军，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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