磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵制造技术

本发明专利技术提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵，该磁悬浮分子泵的主轴结构包括：主轴，主轴具有与磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；凹槽，设置于主轴的周向圆周面上；以及减震缓冲部件，设置于凹槽内。本发明专利技术提供的磁悬浮分子泵的主轴结构在主轴的周向圆周面上设置了凹槽以及凹槽内的减震缓冲部件，当主轴跌落时，凹槽内减震缓冲部件使磁悬浮分子泵的主轴和保护轴承之间形成软连接，从而缓冲主轴与保护轴承之间由于碰撞产生的震动，延长保护轴承的寿命，降低更换保护轴承的成本。护轴承的成本。护轴承的成本。

【技术实现步骤摘要】
磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵


[0001]本专利技术涉及真空设备
，具体涉及一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵。

技术介绍

[0002]磁悬浮分子泵因其使用寿命长、可靠性高及可获得清洁真空等特点而被广泛应用。随着分子泵应用的越来越成熟，分子泵在工作过程中的使用稳定性和安全可靠性尤为重要。然而，在一些使用场景下，例如，当磁悬浮控制器故障，或者较大气流冲击时，高速旋转的主轴失稳跌落，跌落的主轴与磁悬浮分子泵内其它部件发生碰撞，造成壳体破碎、主轴或者磁轴承等部件的损坏。
[0003]为避免上述事故的发生，目前采用的措施是设置保护轴承，当主轴失稳跌落时，失稳的主轴会跌落在保护轴承上而不会与磁悬浮分子泵内其它部件直接接触，由此实现对主轴、磁轴承或壳体等部件起到保护作用。然而，由于跌落的高速旋转的主轴与保护轴承碰撞时能量特别大，对保护轴承的损伤程度较大，承受多次冲击后的保护轴承有可能处于失效状态，以至于不能继续正常工作，另外，保护轴承价格昂贵，频繁更换保护轴承也会造成成本增加等问题。

技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵的主轴结构，其特征在于，包括：主轴，所述主轴具有与所述磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面；凹槽，设置于所述主轴的所述周向圆周面上；以及减震缓冲部件，设置于所述凹槽内。2.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述凹槽为至少一个沿圆周方向设置的360
°
环形的凹槽。3.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述凹槽为燕尾槽。4.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述减震缓冲部件为密封圈。5.根据权利要求1所述的主轴结构，其特征在于，所述密封圈为O形圈，所述密封圈以紧配合地方式安装于所述燕尾槽内。6.根据权利要求1至5中任一项所述的主轴结构，其特征在于，所述减震缓冲部件的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾艳庆，成航航，蒋国安，李赏，
申请(专利权)人：苏州中科科仪技术发展有限公司，
类型：发明
国别省市：