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本发明提供了一种磁悬浮分子泵的主轴结构及磁悬浮分子泵,该磁悬浮分子泵的主轴结构包括:主轴,主轴具有与磁悬浮分子泵的保护轴承配合安装的周向圆周面;凹槽,设置于主轴的周向圆周面上;以及减震缓冲部件,设置于凹槽内。本发明提供的磁悬浮分子泵的主轴结...该专利属于苏州中科科仪技术发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州中科科仪技术发展有限公司授权不得商用。
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