具有经过改进的真空馈通的磁悬浮轴承装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种磁悬浮轴承装置（１），其具有穿过其外壳（１０）且经过改进的真空密封电馈通。该馈通（３０）包括诸如刚性或柔性印刷电路板之类的扁平连接元件（３１），所述连接元件（３１）优选地一直沿所述外壳的内周延伸穿过所述外壳（１０）的壁。所述连接元件以气密方式密封至所述外壳。所述元件优选地具有用于容纳所述转子轴的中央孔口（３６）。到轴承单元和传感器的连接可通过扁平带状线缆（５１）或柔性印刷电路来实现。所述传感器也优选地设置成印刷传感器。因此能够获得非常紧凑且成本低廉的磁悬浮轴承装置。可替代实施方式中将所述外壳的侧壁上的连接元件用作到轴承部件的馈通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有权利要求1的前序部分的特征的磁悬浮轴承装置。
技术介绍
在现有技术中，磁悬浮轴承装置是公知的，其中转子由一组主动磁 轴承支撑而绕转动轴线转动。这些主动磁轴承通常连同 一组位移传感器 设置在外壳内。传感器信号馈送给外壳外部的控制器，并且控制器根据 这些信号将电流提供给磁悬浮轴承。因此，需要穿过外壳壁而在外壳内 的轴承和传感器与外壳外部的控制器之间进行连接的电馈通。在多个应 用中，必须以气密方式密封这种馈通，因为外壳的内部和外部之间存在 压差。 一个重要的应用是涡轮分子泵，涡轮分子泵的承载转子叶片的转 子由磁悬浮轴承装置支撑。在这种泵运转的过程中，转子和外壳内部会处于高真空条件下-即在低于O.l毫巴的范围内，而外部大体上处于环境压力下。因此，必须高效地密封内部和外部之间的所有电馈通以防止 真空度损失。真空密封电馈通在现有技术中是公知的。特别地，所谓的多路馈通 是公知的，其设置到外壳壁上的小的圆形孔口内并在单个馈通上提供多 个连接。由于必须独立地密封多根导线，这种馈通的制造成本相对较高， 馈通的成本因此大幅度地增加了磁悬浮轴承装置的总成本。另外，多路 馈通是相当笨重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁悬浮轴承装置（１），用于支撑转子轴（１２０）以便其绕转动轴线（１２３）转动磁悬浮轴承，所述磁悬浮轴承装置包括：－外壳（１０），其具有内部和外部；－至少一个主动磁轴承元件（８０、９０、１００、１１０），其设置在所述外壳的内部；以及－馈通（３０），其用于在所述外壳的内部和外部之间提供多个电连接，其特征在于，所述馈通（３０）包括：大体上扁平的连接元件（３１），其具有连接所述内部和所述外部且大体上设置在共同平面中的多个电导体，所述连接元件（３１）延伸穿过所述外壳（１０）的壁；以及密封装置（３２、３３），其用于以气密方式密封所述连接元件（３１）与所述外壳（１０）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普布勒，勒内拉尔索纳，
申请(专利权)人：梅科斯特拉克斯勒股份公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]