喷淋式兆声清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种喷淋式兆声清洗装置，属于清洗设备技术领域，包括：前壳体，其内部设有喷嘴内锥孔，后端设有外凸式锥台；后筒体，后筒体的内部的前端设置有台肩，台肩的下端面为外扩式锥斜面；前壳体的后端插入后筒体的前端的内部，形成环形容纳腔，在前壳体设有进液端口，外凸式锥台的外侧面与台肩的外扩式锥斜面构成第一流道；第一压电振子，第一压电振子设置于台肩的上端面，压电振子的下表面与前壳体的后端面之间形成供清洗液流出的第二流道，第二流道、第一流道和喷嘴内锥孔均相互连通；后筒体上设置有液体感应结构。本实用新型专利技术通过在后筒体上设置有液体感应结构，能够对装置中进行有效的液体探测，防止无液干烧的情况发生。防止无液干烧的情况发生。防止无液干烧的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
喷淋式兆声清洗装置


[0001]本技术涉及半导体行业或光学精密件的精密清洗设备
，尤其涉及一种喷淋式兆声清洗装置。

技术介绍

[0002]超声波清洗技术是最为常用的工业清洗技术之一，传统的超声波清洗技术是通过20kHz
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100kHz(千赫兹)的超声波在液体中产生的空化作用，对物体表面的污渍进行去除，从而达到清洗的目的。但超声波空化作用过强会对物体表面造成一定损伤，如在半导体器件、光学精密件等精密元器件的清洗中，由于器件表面有微结构，传统高频超声波清洗会对其表面造成损坏。另外，超声频率越高，清洗的杂质颗粒粒的直径就越小，最高频率为100kHz的传统超声波清洗液很难清洗1微米以下的杂质颗粒。
[0003]频率高于400kHz的超声波在液体中传播时，能使被清洗部件的表面附近形成速度梯度很大且极薄的声学边界层，其杂质粒子受到液体兆赫频的震荡作用后会从器件的表面脱落，能够清洗掉元器件表面的微米以及亚微米级的杂质颗粒，实现超精密清洗。此外，高频超声波清洗过程由于极低的空化效应，对被清洗部件的表面不会产生损伤，能够有效地解决精密元器件清洗后造成的腐蚀或损伤破坏等现象。
[0004]能发射兆赫兹级别的兆声装置被广泛应用于半导体制造领域，除了有清洗作用外，还可以在化学机械抛光、显影、除胶、金属剥离、刻蚀等关键工艺中起到重要作用。兆声装置主要分为槽式和喷淋式两种，喷淋式相对于放置在处理槽底部的槽式兆声装置有更高的声传输效率，并可避免二次污染。但是，由于超声波在空气中很难传播，故此超声装置特别是高频的兆声清洗装置必须在有液体的环境中工作，如果在没有液体的环境中工作兆声清洗装置会很快烧坏，影响兆声清洗装置的使用寿命。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种喷淋式兆声清洗装置，用以解决现有技术中兆声清洗装置如果在没有液体的环境中工作很容易被损坏的缺陷，实现防干烧。
[0006]本技术提供一种喷淋式兆声清洗装置，包括：
[0007]前壳体，所述前壳体的内部设置有供清洗液喷出的喷嘴内锥孔，后端设置有朝外侧凸出的外凸式锥台；
[0008]后筒体，所述后筒体的内部的前端设置有朝向所述后筒体的中心轴线方向凸出的台肩，所述台肩的下端面为外扩式锥斜面；所述前壳体的后端插入所述后筒体的前端的内部，形成环形容纳腔，在所述前壳体对应所述环形容纳腔的部位设置有进液端口，所述外凸式锥台的外侧面与所述台肩的外扩式锥斜面构成供清洗液流出的第一流道，所述第一流道与所述环形容纳腔相通；
[0009]第一压电振子，所述第一压电振子设置于所述台肩的上端面，所述压电振子的下表面与所述前壳体的后端面之间形成供清洗液流出的第二流道，所述第二流道分别与所述
第一流道和所述喷嘴内锥孔连通；
[0010]所述后筒体上对应所述第二流道的位置处设置有液体感应结构。
[0011]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，所述液体感应结构包括第二压电振子和第三压电振子，所述后筒体内壁沿其轴线方向对应开设有第一方槽和第二方槽，且所述第一方槽和所述第二方槽均延伸至所述台肩的内部；所述第二压电振子设置于所述第一方槽内，第三压电振子设置于所述第二方槽内。
[0012]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，所述第一方槽的宽度与所述第二压电振子的宽度相同，所述第二方槽的宽度与所述第三压电振子的宽度相同。
[0013]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，第一硅胶垫，所述第一硅胶垫设置于所述第一方槽内，所述第二压电振子的一侧与所述第一方槽靠近所述第二流道的内侧壁贴合，另一侧与所述第一硅胶垫贴合；
[0014]第二硅胶垫，所述第二硅胶垫设置于所述第二方槽内，所述第三压电振子的一侧与所述第二方槽靠近所述第二流道的内侧壁贴合，另一侧与所述第二硅胶垫贴合。
[0015]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，所述第一硅胶垫和所述第二硅胶垫均设置为U型。
[0016]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，还包括石英结构，所述石英结构设置于所述第一压电振子和所述台肩之间。
[0017]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，还包括后端盖，所述后端盖扣合在所述后筒体的后端。
[0018]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，还包括线路转接板，所述线路转接板设置在所述后筒体的内部，位于所述第一压电振子的顶部；所述第一压电振子、所述第二压电振子和所述第三压电振子通过引线与所述线路转接板固定连接。
[0019]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，还包括绝缘部件，所述绝缘部件设置于所述第一压电振子和所述线路转接板之间。
[0020]根据本技术提供的一种喷淋式兆声清洗装置，还包括电缆和电缆固定盖，所述电缆依次穿过所述电缆固定盖和所述后端盖，并固定在所述线路转接板上。
[0021]本技术提供的喷淋式兆声清洗装置，通过输入高频的电信号给第一压电振子，激励第一压电振子产生超高强的高频超声波振动，清洗液从后筒体的进液端口流入，清洗液会充满环形容纳腔，清洗液受前壳体中的外凸式锥台的阻挡，从侧围流至第一压电振子的表面，此外，通过该第二流道的设计，能够确保清洗液完全紧贴第一压电振子朝向喷嘴内锥孔的表面，这样，在第一压电振子的表面就不会产生空气，第一压电振子的振动作用于清洗液，形成高频超声波喷涌，通过前壳体内的喷嘴内锥孔形成超声波液柱流出，实现对被清洗部件的高频超声波喷淋清洗；通过在后筒体上对应所述第二流道的位置处设置有液体感应结构，液体感应结构能够对喷淋式兆声清洗装置中进行有效的液体探测，防止无液干烧的情况发生，为喷淋式兆声清洗装置提供安全保护。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用
新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是本技术提供的喷淋式兆声清洗装置的结构示意图；
[0024]图2是本技术提供的图1中A处的放大图；
[0025]图3是本技术提供的喷淋式兆声清洗装置的剖视图；
[0026]图4是本技术提供的后筒体的内部结构示意图一；
[0027]图5是本技术提供的后筒体的内部结构示意图二；
[0028]附图标记：
[0029]1：前壳体；
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2：后筒体；
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3：第一压电振子；
[0030]4：液体感应结构；
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5：第一硅胶垫；
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6：第二硅胶垫；
[0031]7：石英结构；
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8：后端盖；
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9：线路转接板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷淋式兆声清洗装置，其特征在于，包括：前壳体，所述前壳体的内部设置有供清洗液喷出的喷嘴内锥孔，后端设置有朝外侧凸出的外凸式锥台；后筒体，所述后筒体的内部的前端设置有的台肩，所述台肩的下端面为外扩式锥斜面；所述前壳体的后端插入所述后筒体的前端的内部，形成环形容纳腔，在所述前壳体对应所述环形容纳腔的部位设置有进液端口，所述外凸式锥台的外侧面与所述台肩的外扩式锥斜面构成供清洗液流出的第一流道，所述第一流道与所述环形容纳腔相通；第一压电振子，所述第一压电振子设置于所述台肩的上端面，所述压电振子的下表面与所述前壳体的后端面之间形成供清洗液流出的第二流道，所述第二流道分别与所述第一流道和所述喷嘴内锥孔连通；液体感应结构，所述液体感应结构设置于所述后筒体上对应所述第二流道的位置处。2.根据权利要求1所述的喷淋式兆声清洗装置，其特征在于，所述液体感应结构包括第二压电振子和第三压电振子，所述后筒体内壁沿其轴线方向对应开设有第一方槽和第二方槽，且所述第一方槽和所述第二方槽均延伸至所述台肩的内部；所述第二压电振子设置于所述第一方槽内，第三压电振子设置于所述第二方槽内。3.根据权利要求2所述的喷淋式兆声清洗装置，其特征在于，所述第一方槽的宽度与所述第二压电振子的宽度相同，所述第二方槽的宽度与所述第三压电振子的宽度相同。4.根据权利要求2所述的喷淋式兆声清洗装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙成，咸威，柳乐红，
申请(专利权)人：北京东方金荣超声电器有限公司，
类型：新型
国别省市：