工业用机器人制造技术

本发明专利技术提供一种工业用机器人，其具备用于改变装载搬运对象物的多个装载部在上下方向上的间距的间距变更机构，其中，能够将间距变更机构小型化。在该工业用机器人中，间距变更机构(25)具备使配置于最下方的手(24)升降的升降机构(91)。在该工业用机器人中，当升降机构(91)使手(24)上升时，其余的手(14～23)随着手(24)的上升而上升，多个装载部在上下方向上的间距成为第一间距，当升降机构(91)使手(24)下降时，至少手(14～23)随着手(24)的下降而下降，多个装载部在上下方向上的间距成为第二间距。距。距。

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人


[0001]本专利技术涉及一种搬运半导体晶片等搬运对象物的工业用机器人。

技术介绍

[0002]目前，已知有一种搬运半导体晶片等基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备装载多个基板的基板装载机构和将基板装载机构的基端侧支承为能够转动的第一臂。基板装载机构具备：具有装载基板的手叉并且在上下方向上以规定间距重叠的五个手；以及改变五个手叉的间距的间距变更机构。
[0003]间距变更机构具备：连接五个手中的配置于最上方的手及从上数配置于第二个的手的杆部件(第一杆部件)；连接配置于最下方的手及从下数配置于第二个的手的杆部件(第二杆部件)；以及用于使两个杆部件转动的驱动机构。在杆部件上安装有凸轮从动件，该凸轮从动件与固定于手侧的导向部件卡合。在专利文献1所记载的工业用机器人中，当两个杆部件转动时，除了从上数配置于第三个的手之外的四个手升降，五个手叉的间距改变。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2010－179420号公报...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业用机器人，其具备装载多个搬运对象物的装载机构，其特征在于，所述装载机构具备：具有所述搬运对象物的装载部且在上下方向上以规定间距重叠的至少三个以上的多个手；以及用于改变多个所述装载部在上下方向上的间距的间距变更机构，如果将多个所述手中的配置于最上方的所述手设为最上位手，将多个所述手中配置于最下方的所述手设为最下位手，将多个所述手中除了所述最上位手和所述最下位手之外的所述手设为中间手，则所述间距变更机构具备使所述最下位手升降的升降机构，且将多个所述装载部在上下方向上的间距设为规定的第一间距和比所述第一间距宽的第二间距，当所述升降机构使所述最下位手上升时，至少所述中间手随着所述最下位手的上升而上升，多个所述装载部在上下方向上的间距成为所述第一间距，当所述升降机构使所述最下位手下降时，至少所述中间手随着所述最下位手的下降而下降，多个所述装载部在上下方向上的间距成为所述第二间距。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，如果将在上下方向上相邻的两个所述手中配置于上侧的所述手设为上手，将配置于下侧的所述手设为下手，则所述上手具备用于从下侧支承所述下手的支承部，当多个所述装载部的间距为所述第一间距时，所述下手的上表面与所述上手的下表面接触，当多个所述装载部的间距为所述第二间距时...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗林保，风间俊道，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：