一种MEMS专用曝光设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS专用曝光设备，涉及电子设备技术领域。本实用新型专利技术包括柜体和载板，柜体的中部上侧连接有轴承，轴承的内部转动连接有圆形板，圆形板的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨，载板的左右两表面对称连接的滑杆沿着U型轨的内部滑动，载板的上表面呈矩形阵列的开设有放置通槽，载板的上表面设置有上软纸板，载板的下表面设置有下软纸板，上软纸板的上表面和下软纸板的下表面的四个角落上均连接有螺栓，U型轨的前表面一侧中部螺纹连接有第二外螺纹轴。本实用新型专利技术通过设置圆形板、U型轨、载板和第一挡块结构，解决了现有的MEMS专用曝光设备不便于人们调节MEMS产品的方向移动不便于人们对MEMS产品进行包装的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS专用曝光设备


[0001]本技术属于电子设备
，特别是涉及一种MEMS专用曝光设备。

技术介绍

[0002]MEMS指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。常见的MEMS产品有：MEMS加速度计、微振子以及MEMS光学传感器等。其中，人们需要使用MEMS专用曝光设备对MEMS产品进行曝光处理，但它在实际使用中仍存在以下弊端：
[0003]1、现有的MEMS专用曝光设备，不便于人们调节位于MEMS专用曝光设备上的MEMS的方向，进而不便于人们对MEMS产品进行多个表面的曝光处理；
[0004]2、现有的MEMS专用曝光设备在完成MEMS产品的曝光处理后，人们需要将MEMS专用曝光设备上的MEMS产品一一取下来，接着，使用者对取下来的MEMS产品进行包装，进而增加了人们包装MEMS产品时的工作步骤。
[0005]因此，现有的MEMS专用曝光设备，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种MEMS专用曝光设备，通过设置圆形板、U型轨、载板和第一挡块结构，解决了现有的MEMS专用曝光设备不便于人们调节MEMS产品的方向移动不便于人们对MEMS产品进行包装的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0008]本技术为一种MEMS专用曝光设备，包括柜体和载板，柜体的中部上侧连接有轴承，轴承的内部转动连接有圆形板，圆形板的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨，载板的左右两表面对称连接的滑杆沿着U型轨的内部滑动，载板的上表面呈矩形阵列的开设有放置通槽，载板的上表面设置有上软纸板，载板的下表面设置有下软纸板，上软纸板的上表面和下软纸板的下表面的四个角落上均连接有螺栓，U型轨的前表面一侧中部螺纹连接有第二外螺纹轴，第二外螺纹轴的圆周面上螺纹连接有第一挡块。
[0009]进一步地，柜体的前表面上侧中部设置有安装板，安装板的左右两表面后侧对称连接有耳座，耳座的后表面连接在柜体的前表面上侧位置上，安装板的下表面呈矩形阵列的分布有光学引擎，光学引擎的位置和放置通槽的位置一一对应，具体地，使用者使用外界螺钉将耳座锁定在柜体上，进而提升了安装板在柜体上的稳定性，光学引擎用于对MEMS产品进行曝光处理。
[0010]进一步地，U型轨的后表面上下对称设置有第三外螺纹轴，且第三外螺纹轴的圆周面后侧螺纹连接在柜体的前表面上，第三外螺纹轴的圆周面上螺纹连接有第二挡块，具体地，第三外螺纹轴的存在，使得挡块的位置能够进行调节，第二挡块用于U型轨的位置。
[0011]进一步地，柜体的前表面中部设置有门板，门板的前表面一侧上下对称连接有合页，合页的后表面一侧连接在柜体的前表面上，门板的前表面另一侧中部开设有内螺纹孔
槽，具体地，合页的存在，使得门板受到外力时作圆弧移动，内螺纹孔槽的存在，使得拉手组件和门板之间可拆式连接。
[0012]进一步地，门板的前表面另一侧中部设置有拉手组件，拉手组件包含有手柄和第一外螺纹轴，手柄的后表面中部连接有第一外螺纹轴，第一外螺纹轴的圆周面后侧螺纹连接在内螺纹孔槽的内侧，具体地，内螺纹孔槽的存在，使得第一外螺纹轴和门板之间可拆式连接，手柄的存在便于使用者对门板施加外力。
[0013]进一步地，柜体的下表面四个角落均连接有圆形座，圆形座的下表面中部连接有万向轮，具体地，万向轮的存在，便于使用者移动该装置。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、本技术通过设置圆形板、U型轨和载板结构，柜体的中部上侧连接有轴承，轴承的内部转动连接有圆形板，圆形板的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨，载板的左右两表面对称连接的滑杆沿着U型轨的内部滑动，载板的上表面呈矩形阵列的开设有放置通槽，载板的上表面设置有上软纸板，载板的下表面设置有下软纸板，上软纸板的上表面和下软纸板的下表面的四个角落上均连接有螺栓，如此设计，使得使用者通过转动圆形板，就能够实现位于载板上的MEMS产品方向的调整，进而使得使用者不需要对MEMS产品进行独立的方向调整，进而降低了使用者调整MEMS产品方向时的难度。
[0016]2、本技术通过设置第一挡块结构，U型轨的前表面一侧中部螺纹连接有第二外螺纹轴，第二外螺纹轴的圆周面上螺纹连接有第一挡块，如此设计，使得使用者通过转动第一挡块来锁定和解锁载板的位置，进而使得使用者解除第一挡块对载板的锁定后，使用者将载板从U型轨上取下来，接着，使用者对载板和位于载板上的MEMS产品直接进行包装，进而使得使用者不需要将MEMS产品从载板上取下来之后，才能够对MEMS产品进行包装，进而减少了使用者包装MEMS产品时的工作步骤。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术的外观俯视示意图；
[0019]图2为本技术中载板和U型轨的连接示意图；
[0020]图3为本技术中门板和拉手组件的连接爆炸示意图；
[0021]图4为本技术中载板的结构示意图。
[0022]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0023]1、柜体；11、圆形座；12、万向轮；13、轴承；2、门板；21、合页；22、拉手组件；221、手柄；222、第一外螺纹轴；23、内螺纹孔槽；3、载板；31、螺栓；32、上软纸板；33、下软纸板；34、滑杆；35、放置通槽；4、U型轨；41、第二外螺纹轴；42、第一挡块；5、安装板；51、光学引擎；52、耳座；6、圆形板；7、第三外螺纹轴；71、第二挡块。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0025]请参阅图1
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4所示，本技术为一种MEMS专用曝光设备，包括柜体1和载板3，柜体1的中部上侧连接有轴承13，轴承13的内部转动连接有圆形板6，圆形板6的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨4，载板3的左右两表面对称连接的滑杆34沿着U型轨4的内部滑动，载板3的上表面呈矩形阵列的开设有放置通槽35，载板3的上表面设置有上软纸板32，载板3的下表面设置有下软纸板33，上软纸板32的上表面和下软纸板33的下表面的四个角落上均连接有螺栓31，U型轨4的前表面一侧中部螺纹连接有第二外螺纹轴41，第二外螺纹轴41的圆周面上螺纹连接有第一挡块42，具体地，使用者将MEMS产品放置在放置通槽35的内侧，接着，使用者将滑杆34对准U型轨4，接着，使用者对载板3施加朝向柜体1的外力，使得滑杆34向靠近柜体1的方向移动，直至使得滑杆34和柜体1接触为止，接着，使用者用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS专用曝光设备，包括柜体（1）和载板（3），其特征在于：所述柜体（1）的中部上侧连接有轴承（13），所述轴承（13）的内部转动连接有圆形板（6），所述圆形板（6）的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨（4），所述载板（3）的左右两表面对称连接的滑杆（34）沿着U型轨（4）的内部滑动，所述载板（3）的上表面呈矩形阵列的开设有放置通槽（35），所述载板（3）的上表面设置有上软纸板（32），所述载板（3）的下表面设置有下软纸板（33），所述上软纸板（32）的上表面和下软纸板（33）的下表面的四个角落上均连接有螺栓（31），所述U型轨（4）的前表面一侧中部螺纹连接有第二外螺纹轴（41），所述第二外螺纹轴（41）的圆周面上螺纹连接有第一挡块（42）。2.根据权利要求1所述的一种MEMS专用曝光设备，其特征在于，所述柜体（1）的前表面上侧中部设置有安装板（5），所述安装板（5）的左右两表面后侧对称连接有耳座（52），所述耳座（52）的后表面连接在柜体（1）的前表面上侧位置上，所述安装板（5）的下表面呈矩形阵列的分布有光学引擎（51），所述光学引擎（51）的位置和放置通槽（35）的位置一一对应。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张博，王艳军，刘琴，孙文俊，赵刚，袁延忠，李媛，闫超峰，
申请(专利权)人：河南百合特种光学研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：