夹取式转印模制设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种夹取式转印模制设备，其包括一滚轮固定装置以及间隔地设置于滚轮固定装置的一夹具。滚轮固定装置用来固定一金属滚轮，并且金属滚轮表面包覆有一基板，而夹具能用来可拆卸地夹持于基板的对应两侧，使基板稳固地设置于金属滚轮。基板呈正方形，并且基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间。由此，减少定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。

【技术实现步骤摘要】
夹取式转印模制设备


[0001]本技术涉及一种转印模制设备，特别是涉及一种夹取式转印模制设备。

技术介绍

[0002]现有的转印基板在进行光刻曝光时，若是要形成有交错的光刻图案，则通常会将转印基板进行转向而后再次曝光。举例来说，转印基板将先沿一X轴方向曝光，而后再沿与X轴垂直的一Y轴方向进行曝光，以形成交错的曝光图案。
[0003]然而，由于现有的转印基板在转向后仍须再次定位，因而导致时常有定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。因此，如何通过结构设计的改良，来克服上述的缺陷，已成为该项事业所欲解决的重要课题之一。

技术实现思路

[0004]本技术实施例针对现有技术的不足提供一种夹取式转印模制设备，其能有效地改善现有的转印基板所可能产生的缺陷。
[0005]本技术的其中一个实施例公开一种夹取式转印模制设备，所述夹取式转印模制设备包括：一滚轮固定装置，用来固定一金属滚轮，并且所述金属滚轮表面包覆有一基板；其中，所述基板的呈正方形，并且所述基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而所述金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间；以及一夹具，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来能拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮。
[0006]优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一无尘腔体，并且所述滚轮固定装置以及所述夹具设置于所述无尘腔体中。
[0007]优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光阻涂布装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述光阻喷涂装置能用来对所述基板喷涂一光阻液。
[0008]优选地，所述光阻喷涂装置包含一光阻槽及连接于所述光阻槽的一喷嘴，并且所述光阻槽能用来容纳所述光阻液，而所述喷嘴能用来从所述光阻槽抽取所述光阻液并将所述光阻液喷涂于所述基板上。
[0009]优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一移动装置，连接所述喷嘴且能用来移动所述喷嘴。
[0010]优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一软烤装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述软烤装置包含多个软烤灯，并且每个所述软烤灯为一红外线灯、一近红外线灯或一氙灯。
[0011]优选地，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光刻装置，间隔地设置于所述软烤装置，并且所述光刻装置包含多个光刻光源，而所述光刻装置能用来对所述基板照射一光刻光线。
[0012]优选地，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转
动机构用来使所述金属滚轮以介于2900转/分钟至4500转/分钟的一甩干速度转动。
[0013]优选地，所述滚轮固定装置还包含一转动机构，安装于所述金属滚轮，并且所述转动机构用来使所述金属滚轮以介于1转/分钟至25转/分钟的一浸润速度转动。
[0014]优选地，所述滚轮固定装置包含一夹持机构，所述夹持机构安装于所述转动机构，并且所述夹持机构用来夹持所述金属滚轮；其中，当所述转动机构运行时，所述转动机构会转动所述夹持机构，使所述金属滚轮被所述夹持机构转动。
[0015]本技术的其中一有益效果在于，本技术所提供的所述夹取式转印模制设备，其能通过“所述夹具间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来可拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮”的技术方案，以减少定位错误所造成的后续曝光良率不佳的问题。
[0016]为能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本技术，而非对本技术的保护范围作任何的限制。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例的夹取式转印模制设备的立体示意图。
[0018]图2为本技术实施例的夹具夹持基板的立体示意图。
[0019]图3为本技术实施例的夹具、金属滚轮以及基板的分解示意图。
具体实施方式
[0020]以下是通过特定的具体实施例来说明本技术所公开有关“夹取式转印模制设备”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本技术的优点与效果。本技术可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本技术的构思下进行各种修改与变更。另外，本技术的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。此外，以下如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。以下的实施方式将进一步详细说明本技术的相关
技术实现思路
，但所公开的内容并非用以限制本技术的保护范围。
[0021]应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[0022]请参阅图1至图3所示，其为本技术的实施例，需先说明的是，本实施例所对应到的附图及其所提及的相关数量与外形，仅用来具体地说明本技术的实施方式，以便于了解本技术的内容，而非用来局限本技术的保护范围。
[0023]如图1所示，本技术实施例提供一种夹取式转印模制设备100，其包括：一滚轮固定装置1、一夹具2、一光阻喷涂装置3、一移动装置4、一软烤装置5、一光刻装置6以及一无尘腔体7，但本技术不限于此。举例来说，于本技术未绘示的其他实施例中，所述夹
取式转印模制设备100也可以不包含有所述软烤装置5以及所述无尘腔体7。
[0024]以下为方便说明与理解，将依序说明所述滚轮固定装置1、所述夹具2、所述光阻喷涂装置3、所述移动装置4、所述软烤装置5、所述光刻装置6以及所述无尘腔体7的具体结构，并适时地说明上述各装置之间的相对位置及操作关系。
[0025]如图1所示，所述滚轮固定装置1用来固定包覆有一基板300的一金属滚轮200，并且所述滚轮固定装置1包含一转动机构11及安装于所述转动机构11的一夹持机构12。其中，所述转动机构11能用来安装于所述金属滚轮200，并且所述夹持机构12用来夹持所述金属滚轮200。进一步地说，当所述转动机构11运行时，所述转动机构11会转动所述夹持机构12，使所述金属滚轮200被所述夹持机构12转动。
[0026]进一步地说，所述夹持机构12包含一圆形弹性筒夹(图未绘)，并且所述夹持机构12是通过油压驱动的方式，使所述圆形弹性筒夹可以夹持所述金属滚轮200，但本技术并不限于此。举例来说，所述圆形弹性筒夹也可以是车床夹头等其他夹具，并且所述夹持机构12也可以通过气压驱动或手动的方式，使所述圆形弹性筒夹能夹持所述金属滚轮200。
[0027]需要说明的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备包括：一滚轮固定装置，用来固定一金属滚轮，并且所述金属滚轮表面包覆有一基板；其中，所述基板的呈正方形，并且所述基板的边长介于1.0米～1.5米之间，而所述金属滚轮的长度介于1.6米～1.8米之间；以及一夹具，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述夹具能用来能拆卸地夹持于所述基板的对应两侧，使所述基板稳固地设置于所述金属滚轮。2.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一无尘腔体，并且所述滚轮固定装置以及所述夹具设置于所述无尘腔体中。3.根据权利要求1所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一光阻喷涂装置，间隔地设置于所述滚轮固定装置，并且所述光阻喷涂装置能用来对所述基板喷涂一光阻液。4.根据权利要求3所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述光阻喷涂装置包含一光阻槽及连接于所述光阻槽的一喷嘴，并且所述光阻槽能用来容纳所述光阻液，而所述喷嘴能用来从所述光阻槽抽取所述光阻液并将所述光阻液喷涂于所述基板上。5.根据权利要求4所述的夹取式转印模制设备，其特征在于，所述夹取式转印模制设备进一步包括一移动装置，连接所述喷嘴且能用来移动所述喷嘴。...

【专利技术属性】
技术研发人员：林刘恭，
申请(专利权)人：光群雷射科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：