温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MEMS专用曝光设备，涉及电子设备技术领域。本实用新型包括柜体和载板，柜体的中部上侧连接有轴承，轴承的内部转动连接有圆形板，圆形板的前表面左右两侧中部对称连接有U型轨，载板的左右两表面对称连接的滑杆沿着U型轨的内部滑动，...
该专利属于河南百合特种光学研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南百合特种光学研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。