柔性显示面板制造技术

本申请提供一种柔性显示面板。柔性显示面板包括柔性衬底薄膜晶体管层以及有机平坦层。薄膜晶体管层设置于柔性衬底上且位于显示区，薄膜晶体管层包括层叠设置的多个绝缘层，薄膜晶体管层远离柔性衬底的表面开设有第一通孔，第一通孔贯穿多个绝缘层中的至少一个。有机平坦层覆盖于薄膜晶体管层远离柔性衬底的一侧，并填充第一通孔。本申请通过在薄膜晶体管层的多个绝缘层中开设第一通孔，当对柔性显示面板施加弯折力时，应力施加在与薄膜晶体管相邻设置的第一通孔里，可有效减少弯折对柔性显示面板的损伤，改善产品弯折性能。改善产品弯折性能。改善产品弯折性能。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板


[0001]本申请涉及显示
，尤其涉及一种柔性显示面板。

技术介绍

[0002]近年来，柔性显示面板由于能够被弯曲或者卷曲，能够适应各种显示需求，应用越来越广泛。柔性显示面板一般包括多层叠层的无机绝缘层。随着对柔性显示面板弯折性的要求越来越高，常规的叠层无机绝缘层结构已经难以满足柔性显示面板的要求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种能够提升弯折性能的柔性显示面板。
[0004]本申请提供一种柔性显示面板，包括显示区，所述柔性显示面板包括：
[0005]柔性衬底；
[0006]薄膜晶体管层，设置于所述柔性衬底上且位于所述显示区，所述薄膜晶体管层包括层叠设置的多个绝缘层，所述薄膜晶体管层远离所述柔性衬底的表面开设有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述多个绝缘层中的至少一个；以及
[0007]有机平坦层，覆盖于所述薄膜晶体管层远离所述柔性衬底的一侧，并填充所述第一通孔。
[0008]在一种实施方式中，所述薄膜晶体管层包括薄膜晶体管，所述第一通孔与所述薄膜晶体管相邻设置。
[0009]在一种实施方式中，所述多个绝缘层包括栅极绝缘层、层间绝缘层、源漏极层以及钝化层，所述薄膜晶体管层还包括半导体层和栅极，所述半导体层设置于所述柔性衬底上，所述栅极层设置于所述半导体层远离或者靠近所述柔性衬底的一侧，所述栅极绝缘层设置于所述栅极层与所述半导体层之间，所述源漏极层设置于所述栅极层和所述半导体层远离所述柔性衬底的一侧，所述层间绝缘层设置于所述源漏极层与所述半导体层之间，所述钝化层设置于所述源漏极层远离所述柔性衬底的一侧，所述第一通孔贯穿所述钝化层的至少一部分，或者，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层的至少一部分。
[0010]在一种实施方式中，所述柔性显示面板还包括缓冲层，所述缓冲层设置于所述多个绝缘层与所述柔性衬底之间，所述第一通孔贯穿所述缓冲层的至少一部分。
[0011]在一种实施方式中，所述柔性显示面板包括阻挡层，所述阻挡层设置于所述薄膜晶体管层与所述柔性衬底之间；
[0012]所述柔性衬底包括第一柔性衬底、第二柔性衬底以及阻隔层，所述第二柔性衬底位于所述薄膜晶体管层与所述第一柔性衬底之间，所述阻隔层设置于所述第一柔性衬底与所述第二柔性衬底之间，所述第二柔性衬底中开设有第二通孔，所述第二通孔贯穿所述第一柔性衬底的至少一部分，所述阻挡层填充所述第二通孔。
[0013]在一种实施方式中，所述第一通孔的孔壁在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影与所述第二通孔的孔壁在所述第一柔性衬底所在平面上的正投影至少部分重叠；或者
的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。
[0028]本申请提供一种柔性显示面板。本申请实施例中的显示面板可以用于手机、平板电脑、电子阅读器、电子展示屏、笔记本电脑、手机、增强现实(augmented reality，AR)\虚拟现实(virtual reality，VR)设备、媒体播放器、可穿戴设备、数码相机、车载导航仪等。
[0029]显示面板可以为有机发光二极管(Organic Light
‑
emitting Diode，OLED)显示面板、量子点发光二极管(Quantum Dot Light
‑
emitting Diode，QLED)显示面板、微发光二极管(Micro Light
‑
emitting Diode，Micro
‑
LED)显示面板、次毫米发光二极管(Mini Light
‑
emitting Diode，Mini
‑
LED)显示面板或者液晶(Liquid Crystal)显示面板。
[0030]以下，以用于OLED显示面板的柔性阵列基板为例说明本申请的柔性阵列基板。
[0031]请参考图1，柔性显示面板1包括显示区AA。可以理解，柔性显示面板1还包括围绕显示区AA的非显示区(未图示)。在本申请中，“显示区AA”是指用于柔性显示面板1上用于设置发光器件以及发光器件的像素驱动电路的区域，即由全部像素区域构成的区域。显示区AA周边的区域为非显示区。柔性显示面板1包括柔性阵列基板100，柔性阵列基板100包括柔性衬底10、设置于柔性衬底10上且位于显示区AA的薄膜晶体管层20以及覆盖于薄膜晶体管层20远离柔性衬底10的一侧的有机平坦层30。薄膜晶体管层20包括层叠设置的多个绝缘层。多个绝缘层包括钝化层PV和层间绝缘层IL等。薄膜晶体管层20远离柔性衬底10的表面20a开设有第一通孔VIA1。第一通孔VIA1贯穿多个绝缘层中的至少一个。有机平坦层30填充第一通孔VIA1。有机平坦层30可以是有机光阻材料。
[0032]本申请通过在薄膜晶体管层20的多个绝缘层中开设第一通孔VIA1，当对柔性阵列基板100施加弯折力时，应力施加在第一通孔VIA1里，可有效减少弯折对柔性阵列基板100的损伤，提升产品的弯折性能。进一步，使有机平坦层30填充于第一通孔VIA1中，以有机材料代替绝缘层中的无机材料，进一步提高抗弯折能力，可以大幅度提升柔性阵列基板100的物理可弯折性。
[0033]进一步，薄膜晶体管层20包括多个薄膜晶体管。第一通孔VIA1与薄膜晶体管相邻设置。本申请不限定第一通孔VIA1的个数与位置。可选的，可以在每个薄膜晶体管的周围各设置至少一个第一通孔VIA1。也可以是，多个第一通孔VIA1围绕一个薄膜晶体管设置。通过将第一通孔VIA1设置在薄膜晶体管周围，可更有效地保护薄膜晶体管，提高薄膜晶体管可靠性。多个薄膜晶体管相互间隔设置，第一通孔VIA1设置于多个薄膜晶体管之间。换句话说，第一通孔VIA1与薄膜晶体管层20中的每个薄膜晶体管均错开设置，在弯折时，避免影响薄膜晶体管。
[0034]具体地，OLED显示面板的驱动电路可以为2T1C、3T1C、5T1C或者7T1C等。图1的驱动电路为2T1C像素驱动电路，因此，多个薄膜晶体管包括驱动薄膜晶体管T1和开关薄膜晶体管T2。可以理解，根据驱动电路的类型不同，薄膜晶体管层20还可以包括其他薄膜晶体管。如图1所示，一个第一通孔VIA1与驱动薄膜晶体管T1相邻设置，另一个第一通孔VIA1与开关薄膜晶体管T2相邻设置。
[0035]从垂直于柔性衬底10的方向上看，薄膜晶体管层20包括半导体层SL、栅极绝缘层GI、栅极层GE、层间绝缘层IL、源漏极层SD和钝化层PV。半导体层SL设置于柔性衬底10上，栅极层GE设置于栅极层GE远离或者靠近柔性衬底10的一侧，栅极绝缘层GI设置于栅极层GE与半导体层SL之间，源漏极层SD设置于栅极层GE和半导体层SL远离柔性衬底10的一侧，层间
绝缘层IL设置于源漏极层SD与半导体层SL之间，钝化层PV设置于源漏极层SD远离柔性衬底10的一侧，第一通孔VIA1贯穿钝化层PV的至少一部分或者，第一通孔VIA1贯穿层间绝缘层IL的至少一部分。第一通孔VIA1贯穿钝化层PV的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板，包括显示区，其特征在于，所述柔性显示面板包括：柔性衬底；薄膜晶体管层，设置于所述柔性衬底上且位于所述显示区，所述薄膜晶体管层包括层叠设置的多个绝缘层，所述薄膜晶体管层远离所述柔性衬底的表面开设有第一通孔，所述第一通孔贯穿所述多个绝缘层中的至少一个；以及有机平坦层，覆盖于所述薄膜晶体管层远离所述柔性衬底的一侧，并填充所述第一通孔。2.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管层包括薄膜晶体管，所述第一通孔与所述薄膜晶体管相邻设置。3.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述多个绝缘层包括栅极绝缘层、层间绝缘层、源漏极层以及钝化层，所述薄膜晶体管层还包括半导体层和栅极层，所述半导体层设置于所述柔性衬底上，所述栅极层设置于所述半导体层远离或者靠近所述柔性衬底的一侧，所述栅极绝缘层设置于所述栅极层与所述半导体层之间，所述源漏极层设置于所述栅极层和所述半导体层远离所述柔性衬底的一侧，所述层间绝缘层设置于所述源漏极层与所述半导体层之间，所述钝化层设置于所述源漏极层远离所述柔性衬底的一侧，所述第一通孔贯穿所述钝化层的至少一部分，或者，所述第一通孔贯穿所述层间绝缘层的至少一部分。4.如权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括缓冲层，所述缓冲层设置于所述多个绝缘层与所述柔性衬底之间，所述第一通孔贯穿所述缓冲层的至少一部分。5.如权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板包括阻挡层，所述阻挡层设置于所述薄膜晶体管层与所述柔性衬底之间；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹蔚然，林高波，徐源竣，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：