用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其中，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动晶圆移动，且晶圆升降承载模块位于光学检测设备下方；距离检测模块，设于自动对焦装置中能够检测到晶圆与光学检测设备之间的间隔距离的位置，且距离检测模块与晶圆升降承载模块相连接。采用该自动对焦装置通过固定光学检测设备，采用晶圆升降承载模块调节晶圆位置来实现调焦，可更好地对晶圆进行拍摄，有效缩短整定时间，更令光学检测设备可更快地完成调焦，并且由于晶圆整体结构较轻，其并不会在垂直方向产生很大的惯量，从而降低对制动马达扭力的要求。而降低对制动马达扭力的要求。而降低对制动马达扭力的要求。

【技术实现步骤摘要】
用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置


[0001]本专利技术涉及芯片制造
，尤其涉及一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置。

技术介绍

[0002]在芯片生产制造过程中，需采用线扫瞄自动光学检测系统(Line Scan AOI)对晶圆进行检测，判断晶圆上是否存在瑕疵或者缺陷，为了能够更清晰地拍摄、捕捉晶圆的画面，往往需要在线扫瞄自动光学检测系统中设置自动对焦装置进行对焦。
[0003]现有技术中一般将晶圆放置在一固定的晶圆固定设备11上，然后将光学检测设备2放置在一可带动光学检测设备升降的升降设备上，升降设备包括龙门架12和升降部件13，由龙门架12上的升降部件13带动光学检测设备2上下移动，以实现对焦，其结构可参阅图1所示。
[0004]由于光学检测设备2自身重量较重，这导致升降部件13带动光学检测设备2上下移动时，整定时间较长，需要较长的时间才能稳定，从而导致光学检测设备2常常会出现失焦。同时，在带动光学检测设备2移动的过程中，会造成光学检测设备2产生震动，导致其在垂直方向有很大的惯量发生，从而对制动马达有较本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，包括：光学检测设备固定模块，用于固定光学检测设备；晶圆升降承载模块，用于承载晶圆，并带动所述晶圆移动，且所述晶圆升降承载模块位于所述光学检测设备下方；距离检测模块，设于所述自动对焦装置中能够检测到所述晶圆与所述光学检测设备之间的间隔距离的位置，且所述距离检测模块与所述晶圆升降承载模块相连接。2.根据权利要求1所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述晶圆升降承载模块包括：晶圆承载固定机构，用于承载并固定所述晶圆；至少一个升降支撑机构，设于所述晶圆承载固定机构下方，且各个所述升降支撑机构均与所述距离检测模块相连接，所述升降支撑机构用于带动所述晶圆承载固定机构升降。3.根据权利要求2所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述晶圆升降承载模块还包括：至少一个角度调节机构，所述角度调节机构的数量与所述升降支撑机构的数量相匹配，各个所述升降支撑机构分别通过对应的角度调节机构与所述晶圆承载固定机构相连接。4.根据权利要求3所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所述角度调节机构由万向接头构成。5.根据权利要求2所述的用于线扫瞄自动光学检测系统的自动对焦装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰海燕，康时俊，沈曙光，
申请(专利权)人：盛吉盛精密技术宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：