供电系统、供电方法、成膜装置和测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种供电系统，包括光源模块、光电转换模块、电压检测模块、自动跟踪模块、信号传输模块和控制模块，所述光源模块照射所述光电转换模块以对用电设备供能，所述电压检测模块与所述光电转换模块连接以检测所述光电转换模块的电压信号；所述控制模块分别与所述电压检测模块和所述自动跟踪模块通信连接，所述控制模块用于根据所述电压信号控制所述自动跟踪模块自动调整所述光源模块，以使所述光源模块自动跟踪对准所述光电转换模块而对所述用电设备实现持续供能。本发明专利技术对不宜布线的用电设备能保持持续稳定的供能，节省复杂的安装设计成本。本发明专利技术还提供了一种供电方法、成膜装置和测量装置。成膜装置和测量装置。成膜装置和测量装置。

【技术实现步骤摘要】
供电系统、供电方法、成膜装置和测量装置


[0001]本专利技术涉及能量供应
，尤其涉及一种成膜系统中半导体晶片测量设备的无线供电系统及供电方法，具体涉及一种供电系统、供电方法、成膜装置和测量装置。

技术介绍

[0002]当今，在半导体外延生长过程中，一般会使用到有毒、有害、易燃、易爆等气体，基于安全考量，在成膜系统中一般都需要配置手套箱；此外，为了优化工艺控制，成膜系统中通常会配置晶片测量设备以实时监控外延生长过程中晶片薄膜生长质量。而目前晶片测量设备与手套箱的安装方式一般有两种。
[0003]图1为现有技术中第一种晶片测量设备与手套箱的安装示意图。参考图1，晶片测量设备10设置在手套箱20内且设置于反应腔21的顶部平台22上，在手套箱20的外顶部设置电缆转接头30，电缆转接头30与晶片测量设备10和计算机40之间分别通过线缆50连接。但此种安装方式存在以下问题：(1)电缆转接头密封复杂，成本高；(2)在电缆位于存在易燃易爆气体的手套箱中，需对电缆做防爆处理；(3)一些情况下，手套箱内安装晶片测量设备的平面需要转动，这会对晶片测量本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种供电系统，其特征在于，包括：光源模块，用于提供光束；光电转换模块，用于接收所述光束，并将所述光束的能量转换为电能以对用电设备供能；电压检测模块，与所述光电转换模块连接，所述电压检测模块用于检测所述光电转换模块的电压信号；自动跟踪模块，配置于所述光源模块；信号传输模块，用于进行无线通信传输；控制模块，与所述自动跟踪模块通信连接，且所述控制模块通过所述信号传输模块与所述电压检测模块通信连接，所述控制模块用于根据所述电压信号控制所述自动跟踪模块自动调整所述光源模块，以使所述光源模块自动跟踪对准所述光电转换模块而对所述用电设备实现持续供能。2.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述自动跟踪模块包括驱动机构，所述驱动机构与所述光源模块连接，以带动所述光源模块进行旋转和移动中的至少一种而使所述光源模块对准所述光电转换模块。3.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述光源模块包括光发射器、透镜和变迹滤光片，所述透镜和所述变迹滤光片设置于所述光发射器发射的光路上，且所述透镜设置在所述光发射器和所述变迹滤光片之间。4.根据权利要求3所述的供电系统，其特征在于，所述自动跟踪模块包括移动机构，所述移动机构与所述透镜连接，以带动所述透镜朝向或远离所述光发射器运动。5.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，还包括运动状态检测模块，所述运动状态检测模块通过所述信号传输模块与所述控制模块通信连接，所述运动状态检测模块用于检测所述用电设备的运动状态信息并传输给所述控制模块。6.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述信号传输模块包括信号发送单元和信号接收单元，所述信号发送单元与所述信号接收单元通过无线通信连接，所述信号发送单元、所述光电转换模块、所述电压检测模块均集成于所述用电设备，所述信号接收单元设置于所述光源模块和所述控制模块中的任意一种。7.根据权利要求1所述的供电系统，其特征在于，所述控制模块通过所述信号传输模块与所述用电设备通信连接。8.一种供电方法，其特征在于，包括以下步骤：S100：提供信号传输模块、控制模块、光源模块、光电转换模块、电压检测模块和自动跟踪模块，所述自动跟踪模块配置于所述光源模块，所述电压检测模块与所述光电转换模块连接，通过所述光源模块发射光束，所述光电转换模块接收所述光束并将所述光束的能量转换为电能以对用电设备供能；S200：通过所述电压检测模块检测所述光电转换模块的电压信号，并通过所述信号传输模块无线通信传输给所述控制模块；S300：通过所述控制模块分析所述电压信号，并控制所述自动跟踪模块自动调整所述光源模块，使所述光源模块自动跟踪对准所述光电转换模块，而对所述用电设备实现持续供能。
9.根据权利要求8所述的供电方法，其特征在于，所述步骤S300中通过所述控制模块分析所述电压信号，并控制所述自动跟踪模块自动调整所述光源模块的步骤包括：S310：所述控制模块对所述电压信号与预设电压信号阈值进行比对分析，且判断出所述电压信号低于所述预设电压信号阈值后，所述控制模块向所述自动跟踪模块发送驱动指令。10.根据权利要求9所述的供电方法，其特征在于，所述步骤S310中的所述预设电压信号阈值通过以下步骤获得：所述控制模块向所述自动跟踪模块发送初始驱动指令；所述自动跟踪模块中的驱动机构根据所述初始驱动指令驱动所述光源模块进行旋转和移动中的至少一种，以使所述光源模块相对所述光电转换模块进行扫描，且在所述光源模块运动过程中，所述电压检测模块对所述光电转换模块进行检测以获得若干初始电压信号；所述控制模块分析所述若干初始电压信号以获得电压信号最强值，并根据所述电压信号最强值设置所述预设电压信号阈值。11.根据权利要求9所述的供电方法，其特征在于，所述步骤S310执行之后还包括：S320：所述自动跟踪模块中的驱动机构根据所述驱动指令驱动所述光源模块进行旋转和移动中的至少一种，以使所述光源模块相对所述光电转换模块进行扫描，且在所述光源模块运动过程中，所述电压检测模块对所述光电转换模块进行检测以获得若干扫描电压信号；S330：所述控制模块分析比对所述若干扫描电压信号以获得最强扫描电压信号及所述最强扫描电压信号对应的所述光源模块的位置信息，并根据所述最强扫描电压信号对应的所述光源模块的位置信息向所述自动跟踪模块发送调整指令；S3...

【专利技术属性】
技术研发人员：马法君，刘明军，刘雷，郑冬，徐春阳，
申请(专利权)人：楚赟精工科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：