一种用于半导体大型管类的开孔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体装置技术领域，具体涉及一种开孔装置。一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，工作台上具有：两个夹具，分别位于工作台左右两侧；一台钻，位于两个夹具之间，台钻的钻头轴向为前后方向；一四方向移动机构，具有上下移动端和左右移动端，左右移动端固定台钻。本实用新型专利技术提高了打孔速度，减少人工成本，提高了打孔的可靠性，降低操作者对待开孔产品开孔品质的影响，提升了待开孔产品品质的稳定性，提高了生产能力，此装置亦可快速装卸，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体大型管类的开孔装置


[0001]本技术属于半导体装置
，具体涉及一种开孔装置。

技术介绍

[0002]随着半导体产业景气向上，尤其是使用在大型设备上的部件(石英管)产品的质量要求越来越高，对于石英管的需求大幅度增长的背景下，尤其是一些用做半导体大型管类需求越来越大，装配的技术指标越来越高，对于装配相关的开孔技术指标也越来越高。
[0003]传统的石英管的开孔是通过事先使用墨斗在石英管开孔位置画开孔线，通过人工使用角磨机在划线位置开孔，此方法在对大型管类的开孔时，对所划线人员和开孔人员的要求非常高，尤其是对开孔的要求很高，人的熟练程度直接影响大型管类的开孔的准确性和开孔效率。

技术实现思路

[0004]本技术针对上述技术问题，目的在于提供一种用于半导体大型管类的开孔装置。
[0005]一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，所述工作台上具有：
[0006]两个夹具，分别位于所述工作台左右两侧；
[0007]一台钻，位于两个所述夹具之间，所述台钻的钻头轴向为前后方向；
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，其特征在于，所述工作台上具有：两个夹具，分别位于所述工作台左右两侧；一台钻，位于两个所述夹具之间，所述台钻的钻头轴向为前后方向；一四方向移动机构，具有上下移动端和左右移动端，所述左右移动端固定所述台钻。2.如权利要求1所述的一种用于半导体大型管类的开孔装置，其特征在于，所述夹具包括：一卡爪底座，固定在所述工作台上；两条直线导轨，沿左右方向对称固定在所述卡爪底座上，长度方向均为前后方向；四个导轨滑块，两个所述导轨滑块为一组对称设置且分别与两条所述直线导轨滑动连接，每个所述导轨滑块上均装有锁紧装置，由所述锁紧装置将所述导轨滑块锁紧在所述直线导轨上；两个卡爪，一个所述卡爪底部固定在同一组所述导轨滑块上，两个所述卡爪沿前后方向对称设置。3.如权利要求2所述的一种用于半导体大型管类的开孔装置，其特征在于，所述夹具还包括一夹具丝杆移动模组，所述夹具丝杆移动模组包括：一夹具丝杆固定底座，固定于工作台上；一夹具丝杆，轴向为前后方向，一端固定于所述夹具丝杆固定底座上；一夹具螺母，与所述夹具丝杆连接，与其中一个所述卡爪固定，带动所述卡爪前后移动；一夹具手轮，与所述夹具丝杆的另一端固定。4.如权利要求2所述的一种用于半导体大型管类的开孔装置，其特征在于，两个所述卡爪的相对面分别为弧形面。5.如权利要求1所述的一种用于半导体大型管类的开孔装置，其特征在于，所述四方向移动机构包括：一上下移动机构，具有上下移动端；一左右移动机构，固定在所述上下移动机构的上下移动端上，具有左右移动端，所述左右移动端经台钻支架固定所述台钻。6.如权利要求5所述的一种用于半导体大型...

【专利技术属性】
技术研发人员：单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：