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本实用新型属于半导体装置技术领域,具体涉及一种开孔装置。一种用于半导体大型管类的开孔装置,包括一工作台,工作台上具有:两个夹具,分别位于工作台左右两侧;一台钻,位于两个夹具之间,台钻的钻头轴向为前后方向;一四方向移动机构,具有上下移动端和左...该专利属于上海菲利华石创科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海菲利华石创科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于半导体装置技术领域,具体涉及一种开孔装置。一种用于半导体大型管类的开孔装置,包括一工作台,工作台上具有:两个夹具,分别位于工作台左右两侧;一台钻,位于两个夹具之间,台钻的钻头轴向为前后方向;一四方向移动机构,具有上下移动端和左...