缺陷检查装置制造方法及图纸

实施方式提供一种能够提高被检查物的缺陷的检查精度的缺陷检查装置。实施方式的缺陷检查装置包括超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部。超声波探伤探头向被检查物/模拟被检查物照射超声波，从而获取被检查物/模拟被检查物的超声波图像。图像获取部向模拟被检查物的第一区域或被检查物的第二区域照射红外线，从而获取包含第一区域/第二区域的红外图像。计算部计算用于对超声波图像中及红外图像中的第一区域的坐标相对于第一区域的设计坐标的偏离进行校正的第一校正值，或者，计算用于对红外图像中的第二区域的坐标相对于第二区域的设计坐标的偏离进行校正的第二校正值。校正部对被检查物的超声波图像进行基于所计算出的第一校正值/第二校正值而实施的坐标校正。坐标校正。坐标校正。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检查装置
相关申请
[0001]本申请享受以2020
‑
153258号日本专利技术专利申请(申请日：2020年9月11日)为基础申请的优先权。本申请通过参照该基础申请而包含基础申请的全部内容。


[0002]本实施方式涉及缺陷检查装置。

技术介绍

[0003]人们目前基于用从超声波探伤探头照射的超声波对晶圆进行扫描而得到的超声波图像，检查晶圆的空洞缺陷。但是，因超声波图像的坐标从晶圆的设计坐标偏离，因此难以提高检查精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的课题为，提供一种缺陷检查装置，其能够提高被检查物的缺陷的检查精度。
[0005]实施方式所涉及的缺陷检查装置具备超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部。超声波探伤探头向被进行缺陷检查的被检查物或者对被检查物进行了模拟的模拟被检查物照射超声波，接收被检查物或模拟被检查物反射的超声波并转换为电信号，从而获取被检查物或模拟被检查物的超声波图像。图像获取部向模拟被检查物的第一区域或被检查物的第二区域照射红外线，接收第一区域或第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，包括超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部，所述超声波探伤探头向被进行缺陷检查的被检查物或对所述被检查物进行了模拟的模拟被检查物照射超声波，接收所述被检查物或所述模拟被检查物反射的超声波并转换为电信号，从而获取所述被检查物或所述模拟被检查物的超声波图像，所述图像获取部向所述模拟被检查物的第一区域或所述被检查物的第二区域照射红外线，接收所述第一区域或所述第二区域反射或透射的红外线并转换为电信号，从而获取包含所述第一区域或所述第二区域的红外图像，所述计算部计算用于对所述超声波图像中及所述红外图像中的第一区域的坐标相对于所述第一区域的设计坐标的偏离进行校正的第一校正值，或者，计算用于对所述红外图像中的第二区域的坐标相对于所述第二区域的设计坐标的偏离进行校正的第二校正值，所述校正部对所述被检查物的超声波图像进行基于所计算出的第一校正值或第二校正值而实施的坐标校正。2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述第一区域及所述第二区域具有与各自区域的周边区域的反射率不同的反射率。3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷为空洞缺陷。4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述第一区域为对所述空洞缺陷进行了模拟的空洞标识。5.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述第二区域为以金属膜形成的区域。6.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述周边区域为以氧化膜或氮化膜形成的区域。7.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述超声波图像中及所述红外图像中的第一区域的坐标相对于所述第一区域的设计坐标的偏离是倍率分量的偏离。8.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述红外图像中的所述第二区域的坐标相对于所述第二区域的设计坐标的偏离包括平移分量的偏离。9.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述红外图像中的所述第二区域的坐标相对于所述第二区域的设计坐标的偏离包括旋转分量的偏离。10.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还具备向所述模拟被检查物的靠近所述超声波探伤探头侧的表面供给接触媒介的第一供给装置。11.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还具备向所述模拟被检查物的靠近所述光源侧的表面供给干燥流体的第二供给装置。12.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述被检查物中设有多个相同的半导体结构，所述缺陷检查装置还具备判断部，所述判断部基于进行了所述坐标校正的所述被检...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村裕宣，
申请(专利权)人：铠侠股份有限公司，
类型：发明
国别省市：