阴极背板检漏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种阴极背板检漏装置，包括：壳体、第一接头和第二接头。壳体围合形成具有顶部开口的腔体，壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，支承板环绕顶部开口，并且支承板上设有环绕顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于支承板上时能够封闭顶部开口。第一接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。第二接头设于壳体的侧壁上并与腔体连通。本实用新型专利技术提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省时省力，提高生产效率；而且该检漏装置能够适用于多种检漏方法，使用方便、操作简单。简单。简单。

【技术实现步骤摘要】
阴极背板检漏装置


[0001]本技术是关于检漏装置
，特别是关于一种磁控溅射磁场阴极背板检漏装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，通常是将磁场阴极背板先安装在磁控溅射设备上，然后再对阴极背板进行检漏，如果阴极背板存在真空泄漏，则需要将阴极背板重新拆下后进行破空。由于阴极背板的体积较大且重量高，反复的从磁控溅射设备上拆装非常不便，费时费力，影响生产效率。
[0003]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种阴极背板检漏装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种阴极背板检漏装置，其能够预先对阴极背板装进行检漏，而无需将阴极背板安装在磁控溅射设备上之后再进行检漏。
[0005]为实现上述目的，本技术提供的技术方案如下：
[0006]一种阴极背板检漏装置，包括：壳体、第一接头和第二接头。
[0007]壳体围合形成具有顶部开口的腔体，所述壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，所述支承板环绕所述顶部开口，并且所述支承板上设有环绕所述顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于所述支承板上时能够封闭所述顶部开口。
[0008]第一接头设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。第二接头设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。
[0009]在一个或多个实施方式中，所述壳体的顶部开口被设置成当阴极背板支承于所述支承板上时，阴极背板能够完全覆盖所述顶部开口。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述支承板上设有多个螺孔，所述螺孔用于配合螺栓以将阴极背板锁紧固定于所述支承板上。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述第一接头被构造成能够与前级泵对接，所述第二接头被构造成能够与真空计对接。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述壳体的侧壁上还设有与所述腔体连通的第三接头，所述第三接头被设置成能够与氦气瓶对接。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述支承板的两端部的顶面上凸伸形成有凸缘，所述凸缘用于将阴极背板定位于所述支承板上。
[0014]在一个或多个实施方式中，所述壳体的底部安装有万向轮。
[0015]与现有技术相比，本技术提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省时省力，提高生产效率；而且该检漏装置能够适用于多种检漏方法，使用方便、操作简单。
附图说明
[0016]图1是本技术一实施方式中的阴极背板检漏装置的立体结构示意图。
[0017]主要附图标记说明：
[0018]1‑
壳体，11
‑
腔体，12
‑
支承板，13
‑
侧壁，121
‑
螺孔，122
‑
凸缘，21
‑
第一接头，22
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第二接头，23
‑
第三接头，3
‑
万向轮，4
‑
密封条。
具体实施方式
[0019]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0020]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0021]如图1所示，本技术一实施方式中的阴极背板检漏装置，其包括：壳体1、第一接头21和第二接头22。
[0022]其中，壳体1围合形成具有顶部开口的腔体11，壳体1的顶部设有用于支承阴极背板的支承板12。该支承板12环绕所述顶部开口，并且支承板12上设有环绕顶部开口的密封条4，以使得阴极背板支承于支承板12上时能够封闭顶部开口。第一接头21设于壳体1的侧壁13上并与腔体11连通。第二接头22设于壳体1的侧壁13上并与腔体11连通。
[0023]一示例性的实施例中，壳体1大体上呈去除顶壁后的长方体盒状，壳体1的侧壁13和底壁共同围设形成长方体状的腔体11，并且壳体1的侧壁13和底壁的接合处作密封处理以防漏气。壳体1的材质可以是铁、不锈钢、铝合金等等。
[0024]一示例性的实施例中，壳体1的顶部开口被设置成当阴极背板支承于支承板12上时，阴极背板能够完全覆盖顶部开口。即，阴极背板支承于支承板12上时，阴极背板相当于一个封闭壳体1顶部开口的盖体。支承板12可一体成型与壳体1上，以使得支承板12和壳体1间具有良好的气密性。
[0025]一示例性的实施例中，支承板12上设有多个螺孔121，螺孔121用于配合螺栓以将阴极背板锁紧固定于支承板12上。为提高对阴极背板的锁紧固定作用，多个螺孔121被设置成周布于支承板12的顶面上。
[0026]一示例性的实施例中，第一接头21被构造成能够与前级泵对接，第二接头22被构造成能够与真空计对接。壳体1的侧壁13上还设有与腔体11连通的第三接头23，第三接头23被设置成能够与氦气瓶对接，通过第三接头23可以将氦气瓶中的氦气充入到壳体1的腔体11中。
[0027]一示例性的实施例中，支承板12的两端部的顶面上凸伸形成有凸缘122，凸缘122用于将阴极背板定位于支承板12上。凸缘122形成于支承板12的顶面外缘。在安装阴极背板时，凸缘122可以起到定位作用，以使得阴极背板能够顺利的定位于正确的安装位置上。
[0028]一示例性的实施例中，壳体1的底部安装有万向轮3，以便于对检漏装置进行移动。
[0029]下面结合具体的使用场景对本技术作进一步说明：
[0030]场景1
[0031]将第一接头21和第二接头22用盲板堵住密封，在第三接头23上对接氦气瓶；再将
组装好的阴极背板用螺栓固定于支承板12上。然后，向腔体11内充入0.4MPa的氦气，再使用氦质谱检漏仪对阴极背板的各个部位以吸枪法进行检漏。
[0032]场景2
[0033]将第一接头21和第二接头22用盲板堵住密封，在第三接头23上对接氦气瓶；再将组装好的阴极背板用螺栓固定于支承板12上。然后，向腔体11内充入0.4MPa的氦气，再观察氦气瓶上的压力表变化情况，以保压法进行检漏。
[0034]场景3
[0035]将第三接头23用盲板堵住密封，第一接头21连接气动阀及前级泵，第二接头22连接皮拉尼真空计；再将组装好的阴极背板用螺栓固定于支承板12上。然后，启动前级泵，打开气动阀，对腔体11进行抽真空，从皮拉尼真空计上可以观察到腔体11内的实时真空度，到达前级泵极限真空后关闭气动阀及前级泵，观察皮拉尼真空计显示的真空度变化情况，以真空法进行检漏。
[0036]综上所述，本技术提供的阴极背板检漏装置，可以在阴极背板装在磁控溅射设备上之前，对阴极背板进行检漏，从而可以避免阴极背板在磁控溅射设备上的频繁拆装，能够省本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极背板检漏装置，其特征在于，包括：壳体，围合形成具有顶部开口的腔体，所述壳体的顶部设有用于支承阴极背板的支承板，所述支承板环绕所述顶部开口，并且所述支承板上设有环绕所述顶部开口的密封条，以使得阴极背板支承于所述支承板上时能够封闭所述顶部开口；第一接头，设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通；第二接头，设于所述壳体的侧壁上并与所述腔体连通。2.如权利要求1所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述壳体的顶部开口被设置成当阴极背板支承于所述支承板上时，阴极背板能够完全覆盖所述顶部开口。3.如权利要求2所述的阴极背板检漏装置，其特征在于，所述支承板上设有多个螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：王龙，朱飞鹏，王兆甫，陈晨，
申请(专利权)人：江苏日久光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：