用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置，非接触低相干光学间距测量系统包括变焦透镜，该差动辅助调焦装置包括：分色镜、差动探测光源模块以及差动共焦探测模块；差动探测光源模块包括可见光源、准直透镜和第一分光镜；述差动共焦探测模块包括第二分光镜、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器。本实用新型专利技术采用了差动共焦的原理来对变焦透镜进行调焦，根据第一探测器和第二探测器接收到的光信号的信号差来调整变焦透镜的焦距，实现非接触低相干光学间距测量系统在测量过程中的定焦，能够达到快速定焦的效果；差动探测光源模块的光源又可以作为非接触低相干光学间距测量系统的指示光源，能简化非接触低相干光学间距测量系统。接触低相干光学间距测量系统。接触低相干光学间距测量系统。

【技术实现步骤摘要】
用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置


[0001]本技术涉及光学测量
，特别涉及一种用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置。

技术介绍

[0002]基于OCT(光学相干层析成像)原理进行镜片光学间距的非接触测量触式测量具有广泛应用，但这些测试系统普遍存在调试操作困难、复杂等问题，尤其是系统的调焦操作，经常费时费力。例如，专利201810447356.8公开的一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，其通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；但该装置在测量多片的镜头时，没有办法准确的将调焦镜头的焦点调整到待测镜面上，进而导致系统在进行复杂的镜头测试时信噪比低，需要多次反复调试才能找到理想的光斑聚焦位置。再如专利201610012510.X公开的光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，其利用低相干光干涉法进行非接触测量，能够实现非接触式光学镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置，该非接触低相干光学间距测量系统包括变焦透镜，其特征在于，该差动辅助调焦装置包括：分色镜、差动探测光源模块以及差动共焦探测模块；所述差动探测光源模块包括可见光源、准直透镜和第一分光镜；所述差动共焦探测模块包括第二分光镜、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器；所述可见光源出射的可见光经过所述准直透镜准直后依次透射所述第一分光镜和分色镜，然后经所述变焦透镜聚焦至待测样品上，所述待测样品反射的光经过所述变焦透镜后再透射所述分色镜，然后被所述第一分光镜反射至所述第二分光镜被分为两部分：一部分光经过所述第一聚焦透镜后到达所述第一针孔，透过所述第一针孔的光被所述第一探测器接收；另一部分光经过所述第二聚焦透镜后到达所述第二针孔，透过所述第二针孔的光被所述第二探测器接收。2.根据权利要求1所述的用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置，其特征在于，其中，所述第一针孔位于所述第一聚焦透镜出射的第一部分光的焦点位置的前端，所述第二针孔位于所述第二聚焦透镜出射的第二部分光的焦点...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢利娜，高峰，何益，陈一巍，张欣，史国华，包明帝，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：新型
国别省市：