用于光学相干间距测量系统的调焦装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于光学相干间距测量系统的调焦装置，包括第一反射镜、分光元件、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器；所述光学相干间距测量系统包括扫频光源、第一耦合器、第一环形器、参考臂、第二环形器、第二耦合器、平衡探测器以及样品臂，所述样品臂包括样品光准直器以及所述调焦透镜。本实用新型专利技术针对光学相干间距测量系统提供了一种可靠的调焦装置，本实用新型专利技术将光学相干间距测量系统中不能进入样品准直器的光能利用起来进行系统自身的调焦，通过第一探测器和第二探测器的探测信号的比较能够实现快速调焦，操作简便，且提高了光学相干间距测量系统能量的利用率。光学相干间距测量系统能量的利用率。光学相干间距测量系统能量的利用率。

【技术实现步骤摘要】
用于光学相干间距测量系统的调焦装置


[0001]本技术涉及光学测量
，特别涉及一种用于光学相干间距测量系统的调焦装置。

技术介绍

[0002]利用相干光干涉法进行光学间距的非接触测量触式测量具有广泛应用，但这些测试系统普遍存在调试操作困难、复杂等问题，尤其是系统的调焦操作，经常费时费力。例如，专利201810447356.8公开的一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，其通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；但该装置在测量多片的镜头时，没有办法准确的将调焦镜头的焦点调整到待测镜面上，进而导致系统在进行复杂的镜头测试时信噪比低，需要多次反复调试才能找到理想的光斑聚焦位置。再如专利201610012510.X公开的光学镜组镜面间隙测量装置和测量方法，其利用低相干光干涉法进行非接触测量，能够实现非接触式光学镜组镜面的厚度及间隙，但其存在系统调焦困难的缺陷。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光学相干间距测量系统的调焦装置，其特征在于，包括第一反射镜、分光元件、第一聚焦透镜、第一针孔、第一探测器、第二聚焦透镜、第二针孔以及第二探测器；该调焦装置用于对光学相干间距测量系统中的调焦透镜进行调焦，该光学相干间距测量系统出射的光经所述第一反射镜后由所述调焦透镜聚焦至待测样品上，待测样品的反射光由所述调焦透镜收集后，其中，处于光束的中间部分的反射光被所述第一反射镜反射后返回所述光学相干间距测量系统中，其余的处于光束外周部分的反射光从所述第一反射镜的外周通过并进入所述分光元件，然后被分为两部分：第一部分光经过所述第一聚焦透镜后到达所述第一针孔，透过所述第一针孔的光被所述第一探测器接收；第二部分光经过所述第二聚焦透镜后到达所述第二针孔，透过所述第二针孔的光被所述第二探测器接收；其中，所述第一针孔位于所述第一聚焦透镜出射的第一部分光的焦点位置的前端，所述第二针孔位于所述第二聚焦透镜出射的第二部分光的焦点位置的后端，且所述第一针孔和第二针孔的离焦距离相等。2.根据权利要求1所述的用于光学相干间距测量系统的调焦装置，其特征在于，所述第一反射镜在所述调焦透镜出射的反射光的垂直平面上的投影面积小于所述调焦透镜在该垂直平面上的投影面积，使得所述调焦透镜出射的待测样品的反射光中会有一部分从所述第一反射镜的外周通过而入射到所述分光元件上。3.根据权利要求2所述的用于光学相干间距测量系统的调焦装置，其特征在于，所述分光元...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢利娜，高峰，何益，陈一巍，张欣，史国华，包明帝，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：新型
国别省市：