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本实用新型公开了一种用于非接触低相干光学间距测量系统的差动辅助调焦装置，非接触低相干光学间距测量系统包括变焦透镜，该差动辅助调焦装置包括：分色镜、差动探测光源模块以及差动共焦探测模块；差动探测光源模块包括可见光源、准直透镜和第一分光镜；述差...
该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所授权不得商用。

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