一种多晶硅还原炉供电电路制造技术

技术编号:32587714 阅读:56 留言:0更新日期:2022-03-09 17:20
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅还原炉供电电路,包括:变压器、调压器、切换单元、硅芯;所述变压器设有至少一组输出线包,所述输出线包设有M个抽头和一个参考点,所述输出线包上并联有N个调压器,每个所述调压器的输出端经切换开关和一组硅芯连接至参考点;所述切换单元包括若干个切换开关;所述切换开关串联于一组硅芯与参考点之间、调压器输出端与参考点之间,以及两组硅芯之间,其中,M≥2且N≥M。本实用新型专利技术所提供的供电电路相对于现有供电方式,供电变压器出线数量少、变压器相数少、使用铜材少、变压器输出电压跨度小、调压器件数量少、损耗小,利用率高,为用户节约成本,具有显著的经济效益。经济效益。经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉供电电路


[0001]本技术涉及多晶硅生产技术,尤其涉及一种多晶硅还原炉供电电路。

技术介绍

[0002]在光伏、电子、微电子产业中,多晶硅是其主要原材料。多晶硅是以金属硅为原料,经一系列的物理、化学反应提纯的高纯硅。由于改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产,以其技术成熟、适合产业化生产等特点,是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺,该生产工艺需要大功率电源加热恒温控制多晶硅棒。
[0003]多晶硅在整个生产过程中等效为阻抗变化很大的负载组,电压范围从2000V/m变化至10V/m,在2000V/m阶段使用高电压击穿,使其产生电流发热来降低电压需求;100V/m至10V/m阶段是多晶硅的生长过程,此过程功率大、时间长;当硅芯击穿后,硅芯的阻值随着供电加热时间的变化逐渐降低,为满足硅芯阻值变化及多晶硅生产需求,现有多晶硅还原炉供电电路中,均采用多绕组、多电压输出变压器(输出电压250V~2800V),结合五叠层调压控制,实现对硅芯的供电加热。图1示出了现有的一种40对棒还原炉供电电路,如图1所示,该电路中,变压器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉供电电路,其特征在于,包括:变压器、调压器、切换单元、硅芯;所述变压器设有至少一组输出线包,所述输出线包设有M个抽头和一个参考点,所述输出线包上并联有N个调压器,每个所述调压器的输出端经切换开关和一组硅芯连接至参考点;所述切换单元包括若干个切换开关;所述切换开关串联于一组硅芯与参考点之间、调压器输出端与参考点之间,以及两组硅芯之间,其中,M≥2且N≥M。2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉供电电路,其特征在于,所述调压器包括:至少L个调压器件,至少L个所述调压器件的输入端与所述输出线包的M个抽头的输出端对应连接,至少L个所述调压器件的输出端并联构成调压器的输出端,所述调压器的输出端经切换开关连接至一组硅芯的一端,一组所述硅芯的另一端直接或经切换开关连接至参考点,其中L≤M。3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉供电电路,其特征在于,所述调压器与硅芯为两组,两组硅芯的一端分别经对应的切换开关连接至两个所述调压器的输出端,两组所述硅芯的另一端共同经切换开关连接至参考点,其中一个调压器的输出端经切换开关连接至参考点,用于实现该两组硅芯的串联运行或并联运行。4.如权利要求2所述的多晶硅还原炉供电电路,其特征在于,所述调压器与硅芯为三组,三组所述硅芯的一端分别经对应的切换开关连接至三个调压器...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘汉元甘居富游书华王恒陈绍林周英怀谭兵杨亮
申请(专利权)人:四川永祥能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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