一种硅片边缘抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及硅片生产加工技术领域，具体是一种硅片边缘抛光装置，包括机体，机体上设置有用于放置硅片的放置机构，放置机构滑动设置在机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，抛光机构设置在机体的内顶壁上；用于对抛光机构进行修磨的修磨机构，修磨机构设置在抛光机构远离放置机构的一侧，当抛光机构在工作时，能带动修磨机构对抛光机构进行修磨作业,并且在抛光机构的工作过程中，修磨机构能自动对抛光机构进行修磨,不需要额外增加动力源，由此能降低生产制造成本，提高本装置的稳定性，从而提高本发明专利技术的实用性。提高本发明专利技术的实用性。提高本发明专利技术的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片边缘抛光装置


[0001]本专利技术涉及硅片生产加工领域，具体地说，是一种硅片边缘抛光装置。

技术介绍

[0002]随着半导体技术不断发展，对硅片的几何参数、边缘及表面的粗糙度提出了更加严格的要求。如果硅片边缘比较粗糙，存在凹凸不平等现象，在各种后续加工工艺中可能会受到外力的作用，需要通过对硅片进行边缘抛光，来尽可能去除边缘损伤，得到光滑的硅片边缘。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是针对现有技术中的问题，提供一种硅片边缘抛光装置。为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案是：一种硅片边缘抛光装置，包括机体，所述机体上设置有用于放置硅片的放置机构，所述放置机构滑动设置在所述机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，所述抛光机构设置在所述机体的内顶壁上；用于对所述抛光机构进行修磨的修磨机构，所述修磨机构设置在所述抛光机构远离所述放置机构的一侧，当所述抛光机构在工作时，能带动所述修磨机构对所述抛光机构进行修磨作业。
[0004]所述放置机构包括滑移部件，所述滑移部件设置在所述机体的水平工作台上，所述滑移部件上滑动连接有安装部，所述安装部内部固定放置有吸气泵以及第一电机；所述安装部上设置有传动部件，所述传动部件原理所述安装部的一端设置放置部，所述放置部通过所述传动部件与所述吸气泵连接，用于固定待加工的硅片。
[0005]所述传动部件包括第一转轴，所述第一转轴沿轴线方向开设有导气通道，所述第一转轴上导气通道的一端与所述吸气泵的输出端密封连接，所述第一转轴与所述安装部转动连接，安装部上还设置有第二转轴，所述第二转轴的一端与所述第一电机的输出端固定连接，所述第一转轴上同轴固定套设有第一齿轮，所述第二转轴上同轴固定套设有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合连接。
[0006]其特征在于：所述抛光机构包括第三转轴，所述第三转轴与设置在所述机体上的第二电机的输出端固定连接，所述第三转轴的另一端设置有抛光轮。
[0007]所述第三转轴沿其轴线方向可伸缩设置。
[0008]所述抛光轮包括一弧形加工槽。
[0009]所述修磨机构包括用于对抛光轮进行打磨的修磨部，所述修磨部通过连接部件与所述机体连接，并且通过驱动部件实现对抛光轮的间歇性修磨。
[0010]所述修磨机构还包括吹气部件，所述吹气部件与所述连接部件固定连接，所述吹气部件的输出端通过连接气管与所述修磨部相连通，所述修磨部上开设有吹气孔。
[0011]所述连接部件包括滑座，所述滑座通过连接部与所述机体固定连接，所述滑座背离所述抛光机构的一侧延伸设置有连接座，所述连接座用于连接所述吹气部件；所述滑座上滑动卡接有连接块，所述连接块的下端固定设置有驱动轮，所述驱动轮背离所述连接块
的一端固定设置有连接杆，所述修磨部与所述连接杆固定连接；凸轮，所述凸轮同轴固定设置在所述第三转轴上，所述凸轮的侧壁与所述驱动轮的侧壁相抵接。
[0012]所述连接块上还设置有驱动杆，所述驱动杆的延伸方向与所述滑座的延伸方向相同，所述驱动杆背离所述连接块的一端与所述吹气部件的活塞杆固定连接。
[0013]本专利技术优点在于：
[0014]通过设置放置机构，可以实现对圆形硅片以及方形硅片的固定，从而提高本专利技术的适应性，进而提高本专利技术的实用性，同时通过设置修磨机构，能对抛光机构进行修磨，从而能提高对硅片的抛光效果，防止抛光机构上粘附杂质，而影响抛光效果，并且在抛光机构的工作过程中，修磨机构能自动对抛光机构进行修磨，不需要额外增加动力源，由此能降低生产制造成本，提高本装置的稳定性，从而提高本专利技术的实用性。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的等轴测结构示意图；
[0016]图2是本专利技术机体内部结构的等轴测结构示意图；
[0017]图3是本专利技术机体内部结构的等轴测局部剖视图；
[0018]图4是图3中A处放大图；
[0019]图5是本专利技术的主视图。
具体实施方式
[0020]下面结合附图对本专利技术提供的具体实施方式作详细说明。
[0021]下面将结合附图1至图5对本专利技术进行详细说明，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]如图1
‑
5所示，本专利技术为一种硅片边缘抛光装置，包括机体1，所述机体1上设置有用于放置硅片的放置机构2，所述放置机构2滑动设置在所述机体1上；用于对硅片进行抛光的抛光机构3，所述抛光机构3设置在所述机体1的内顶壁上；用于对所述抛光机构3进行修磨的修磨机构4，所述修磨机构4设置在所述抛光机构3远离所述放置机构2的一侧，当所述抛光机构3在工作时，能带动所述修磨机构4对所述抛光机构3进行修磨作业。
[0023]通过设置放置机构2，可以实现对圆形硅片以及方形硅片的固定，从而提高本专利技术的适应性，进而提高本专利技术的实用性，同时通过设置修磨机构4，能对抛光机构3进行修磨，从而能提高对硅片的抛光效果，防止抛光机构3上粘附杂质，而影响抛光效果，并且在抛光机构3的工作过程中，修磨机构4能自动对抛光机构3进行修磨，不需要额外增加动力源，由此能降低生产制造成本，提高本装置的稳定性，从而提高本专利技术的实用性。
[0024]在本专利技术的一个实施例中，所述放置机构2包括滑移部件21，所述滑移部件21设置在所述机体1的水平工作台上，所述滑移部件21上滑动连接有安装部22，所述安装部22内部固定放置有吸气泵以及第一电机；所述安装部22上设置有传动部件23，所述传动部件23原理所述安装部22的一端设置放置部24，所述放置部24通过所述传动部件23与所述吸气泵连接，用于固定待加工的硅片。
[0025]滑移部件21包括X轴直线滑轨211以及Y轴直线滑轨212，从而使得安装部22能沿X轴方向以及Y轴方向运动，从而能调节放置部24与抛光机构3的中心位置，从而能实现对不同尺寸大小的硅片进行抛光作业；
[0026]进一步的，滑移部件21与外部的可编程控制器电性连接，当在处理方形硅片时，通过安装部22在滑移部件21上的移动，对方形硅片的边缘进行抛光处理。
[0027]同时，通过设置吸气泵，使得放置部24与硅片之间形成真空，从而将硅片吸附在放置部24上，从而解决了在对硅片边缘进行抛光时，难以对硅片进行夹持的问题。
[0028]在本专利技术的一个实施例中，所述传动部件23包括第一转轴231，所述第一转轴231沿轴线方向开设有导气通道，所述第一转轴231上导气通道的一端与所述吸气泵的输出端密封连接，所述第一转轴231与所述安装部22转动连接，安装部22上还设置有第二转轴232，所述第二转轴232的一端与所述第一电机的输出端固定连接，所述第一转轴231上同轴固定套设有第一齿轮233，所述第二转轴232上同轴固定套设有第二齿轮234，所述第一齿轮233与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片边缘抛光装置，包括机体，其特征在于：所述机体上设置有用于放置硅片的放置机构，所述放置机构滑动设置在所述机体上；用于对硅片进行抛光的抛光机构，所述抛光机构设置在所述机体的内顶壁上；用于对所述抛光机构进行修磨的修磨机构，所述修磨机构设置在所述抛光机构远离所述放置机构的一侧，当所述抛光机构在工作时，能带动所述修磨机构对所述抛光机构进行修磨作业。2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘抛光装置，其特征在于：所述放置机构包括滑移部件，所述滑移部件设置在所述机体的水平工作台上，所述滑移部件上滑动连接有安装部，所述安装部内部固定放置有吸气泵以及第一电机；所述安装部上设置有传动部件，所述传动部件原理所述安装部的一端设置放置部，所述放置部通过所述传动部件与所述吸气泵连接，用于固定待加工的硅片。3.根据权利要求2中所述的一种硅片边缘抛光装置，其特征在于：所述传动部件包括第一转轴，所述第一转轴沿轴线方向开设有导气通道，所述第一转轴上导气通道的一端与所述吸气泵的输出端密封连接，所述第一转轴与所述安装部转动连接，安装部上还设置有第二转轴，所述第二转轴的一端与所述第一电机的输出端固定连接，所述第一转轴上同轴固定套设有第一齿轮，所述第二转轴上同轴固定套设有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合连接。4.根据权利要求1或2或3所述的一种硅片边缘抛光装置，其特征在于：所述抛光机构包括第三转轴，所述第三转轴与设置在所述机体上的第二电机的输出端固...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄世果，杨佐东，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：