一种晶硅SE电池片热氧化处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶体硅太阳电池技术领域，具体涉及一种晶硅SE电池片热氧化处理装置；包括输送架、输送带、加热室、控制面板和两个密封单元，加热室的两端分别设置有输送口和输出口，每个密封单元均包括安装板、滑动座、连接件、驱动组件和密封板，将硅片放置在输送带上，当硅片输送至加热室的内部后，启动驱动组件，使得滑动座在安装板上滑动，通过连接件带动密封板下降，从而将输送口和输出口封闭，使得加热腔密封，当硅片的表面在加热腔内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动驱动组件，通过连接件带动密封板上升，从而使得表面氧化后的硅片通过输出口输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率。从而提高工作效率。从而提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶硅SE电池片热氧化处理装置


[0001]本专利技术涉及晶体硅太阳电池
，尤其涉及一种晶硅SE电池片热氧化处理装置。

技术介绍

[0002]随着晶体硅太阳电池技术的发展，良好的表面钝化成为制备高效电池必不可少的条件。表面钝化就是降低半导体的表面活性，使表面的复合速率降低，其主要的方式是饱和半导体表面处的悬挂键，降低表面活性，增加表面的清洁程度，避免由于杂质在表面层的引入而形成复合中心，以此来降低少数载流子的表面复合速率，使器件稳定工作。
[0003]现有技术中，大多采用热氧化法，在晶体硅太阳电池的硅片的表面生成二氧化硅氧化层，从而达到表面钝化的效果，在对硅片进行热氧化时，往往需要通过人工在氧化炉内对硅片进行上下料，加工效率较慢。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶硅SE电池片热氧化处理装置，解决现有技术中的在对硅片进行热氧化时，往往需要通过人工在氧化炉内对硅片进行上下料，加工效率较慢的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了一种晶硅SE电池片热氧化处理装置，所述晶硅SE本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶硅SE电池片热氧化处理装置，其特征在于，所述晶硅SE电池片热氧化处理装置包括输送架、输送带、加热室、控制面板和两个密封单元，所述输送架上设置有所述输送带，所述输送架上还设置有所述加热室，所述加热室位于所述输送带的上方，所述加热室的外部设置有所述控制面板，所述加热室的内部设置有加热腔，所述加热腔与所述输送带相对应，所述加热室的两端分别设置有输送口和输出口，所述加热室的两端均还设置有所述密封单元，两个所述密封单元分别与所述输送口和所述输出口相对应；每个所述密封单元均包括安装板、滑动座、连接件、驱动组件和密封板，所述安装板与所述加热室的外侧壁拆卸连接，所述安装板上设置有滑槽，所述滑动座与所述滑槽滑动连接，所述滑动座靠近所述安装板的一端设置有连接块，所述驱动组件位于所述加热室的一端，所述驱动组件的输出端与所述连接块相对应，所述连接件的一端与所述滑动座拆卸连接，所述滑动座的另一端设置有所述密封板，所述密封板与对应的所述输送口和所述输出口相适配。2.如权利要求1所述的晶硅SE电池片热氧化处理装置，其特征在于，每个所述驱动组件均包括伺服电机、丝杆和丝杆套，所述伺服电机与所述加热室的外侧壁拆卸连接，所述伺服电机的输出端设置有所述丝杆，所述丝杆上设置有所述丝杆套，所述丝杆套与所述连接块拆卸连接。3.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贺杰，翁娜娜，李果，
申请(专利权)人：江苏华恒新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：