一种固晶机制造技术

本申请提供了一种固晶机，其包括：供晶机构，其包括晶元环，所述晶元环上设有用于供应晶片的供晶位；旋转机构，其包括转盘，所述转盘转动设于所述晶元环的一侧，且所述转盘的旋转平面与所述晶元环相垂直；承装机构，其包括基板，所述基板设于所述转盘的一侧，所述基板上设有用于固定晶片的固晶位，所述基板与所述转盘的旋转平面相垂直；取放机构，其包括晶片吸嘴，所述晶片吸嘴设于所述转盘上且用于吸取所述晶片；本申请的固晶机，能够实现在转盘旋转的一个周期内，实现取晶与固晶两个动作，能够提高固晶的效率。提高固晶的效率。提高固晶的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种固晶机


[0001]本申请涉及固晶
，具体涉及一种高精度高速率的固晶机。

技术介绍

[0002]现有的固晶机的固晶过程如下：顶针机构将指定的晶片从晶元薄膜上顶起，之后固晶摆臂旋转到该指定的晶片的正上方(固晶摆臂一般旋转180
°
，一个旋转周期用时180ms)，先向下运动去拾取该晶片，再向上运动以将该晶片提起，之后旋转运动、以将该晶片搬运至焊盘上的已指定的固晶位置。整个固晶过程中，固晶摆臂需要旋转并向下、向上运动，才能将一个晶片固定到焊盘上的指定的位置，这样的固晶机，固晶速度慢、固晶效率低下，平均固晶20000个/h；且使用这样的固晶机，在大尺寸的晶元盘上拾取晶片时、或者固晶摆臂将所拾取的晶片放置于大尺寸的焊盘上时，就必须要增加固晶摆臂的长度才能顺利拾取晶片或者放置晶片，而增加固晶摆臂的长度无疑会增加固晶摆臂的重量，增加固晶摆臂的重量必定会增加固晶摆臂在运动时的惯性量，会降低固晶摆臂运动的稳定性，最终影响固晶的速率以及晶片放置精度。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种固晶机，本申请的固晶机能够提高在基板上固定晶片的效率、同时还保证所固定的晶片的位置精度。
[0004]为此，本申请实施例提供了一种固晶机，其包括：供晶机构，其包括晶元环，所述晶元环上设有用于供应晶片的供晶位；旋转机构，其包括转盘，所述转盘转动设于所述晶元环的一侧，且所述转盘的旋转平面与所述晶元环相垂直；承装机构，其包括基板，所述基板设于所述转盘的一侧，所述基板上设有用于固定晶片的固晶位，所述基板与所述转盘的旋转平面相垂直；取放机构，其包括晶片吸嘴，所述晶片吸嘴设于所述转盘上且用于吸取所述晶片。
[0005]在一些可能实现的方式中，所述晶元环的一侧表面平行于第一平面，所述第一平面与所述转盘的旋转平面相垂直；所述供晶机构还包括晶元环驱动装置，所述晶元环驱动装置的动力输出端与所述晶元环连接，用于驱动所述晶元环沿所述第一平面的第一方向或者所述第一平面的第二方向移动；其中，所述第一方向与所述第二方向相垂直。
[0006]在一些可能实现的方式中，所述基板的一侧表面平行于第二平面，所述第二平面与所述转盘的旋转平面相垂直；所述承装机构还包括基板驱动装置，所述基板驱动装置的动力输出端与所述基板连接，用于驱动所述基板沿所述第二平面的第三方向或者所述第二平面的第四方向移动；其中，所述第三方向与所述第四方向相垂直。
[0007]在一些可能实现的方式中，所述第一平面与所述第二平面相垂直或者相平行。
[0008]在一些可能实现的方式中，所述第一平面与所述第二平面相平行，且所述第一方向与所述第三方向相平行以及所述第二方向与所述第四方向相平行。
[0009]在一些可能实现的方式中，所述取放机构还包括取放驱动装置、取晶相机以及固
晶相机，所述取放驱动装置的动力输出端与所述晶片吸嘴连接，用于驱动所述晶片吸嘴沿所述转盘的径向方向且相对于所述转盘移动，所述取晶相机对应于所述供晶位设置，所述固晶相机对应于所述固晶位设置，且所述取放驱动装置与所述取晶相机以及所述固晶相机电连接。
[0010]在一些可能实现的方式中，还包括校正机构，所述校正机构包括校正相机以及校正驱动装置，所述校正相机设于所述供晶位和所述固晶位之间，用于获取所述晶片吸嘴上的所述晶片的位置，所述校正驱动装置的动力输出端与所述晶片吸嘴连接，用于驱动所述晶片吸嘴周向转动，所述校正驱动装置与所述校正相机电连接。
[0011]在一些可能实现的方式中，所述取放驱动装置设于所述转盘上，且所述取放驱动装置的动力输出端连接于所述校正驱动装置，所述校正驱动装置的动力输出端连接所述晶片吸嘴，所述取放驱动装置能够驱动所述校正驱动装置沿所述转盘的径向方向且相对于所述转盘移动，带动所述晶片吸嘴沿所述转盘的径向方向且相对于所述转盘移动。
[0012]在一些可能实现的方式中，所述取放机构包括N个所述晶片吸嘴以及N个所述取放驱动装置，且所述取放驱动装置间隔设于所述转盘上；与之相对应地，所述校正机构包括N个所述校正驱动装置。
[0013]在一些可能实现的方式中，相邻的两个所述取放驱动装置与所述转盘的旋转中心之间的夹角为360
°
/N。
[0014]在一些可能实现的方式中，还包括检测机构，所述检测机构包括检测相机以及清洁头，所述检测相机设于所述转盘的外周且与所述校正相机相对的一侧，所述检测相机用于获取所述晶片吸嘴上的图像，所述检测相机与所述取放驱动装置电连接；所述清洁头设于所述转盘的外周且靠近所述检测相机的一侧，用于：在所述取放驱动装置驱动所述晶片吸嘴沿所述转盘的径向方向移动而伸出于所述转盘的外周时，对所述晶片吸嘴进行清洁。
[0015]在一些可能实现的方式中，所述校正机构还包括光源，所述光源设于所述校正相机的外缘侧，用于在所述校正相机拍照时补偿光线。
[0016]在一些可能实现的方式中，所述旋转机构还包括固定座、转盘驱动装置，所述转盘驱动装置设于所述固定座上，且所述转盘驱动装置的动力输出端连接所述转盘；所述晶片吸嘴设于所述转盘上背离所述转盘驱动装置的一侧；所述取晶相机与所述固晶相机均通过一连接座与所述固定座固定连接；所述校正相机通过一连接臂与所述固定座固定连接。
[0017]在一些可能实现的方式中，所述转盘驱动装置包括直驱电机。
[0018]在一些可能实现的方式中，所述取放机构还包括负压装置，所述负压装置的进气口与所述晶片吸嘴连通。
[0019]在一些可能实现的方式中，所述负压装置设于所述固定座上且与所述转盘驱动装置相对的一侧。
[0020]在一些可能实现的方式中，所述校正相机与所述转盘电连接。
[0021]本申请提供了一种固晶机，与现有技术相比，其有益效果在于：
[0022]本申请中，晶元环与转盘的旋转平面相垂直，基板也与转盘的旋转平面相垂直，转盘上设有晶片吸嘴，用于吸取晶片；本申请的固晶机的固晶过程如下：晶片吸嘴接触并吸附供晶位上的晶片；之后，晶片吸嘴便跟随转盘转动，从供晶位转动至固晶位；晶片吸嘴将晶片贴附于固晶位上；本申请的固晶机，能够实现在转盘旋转的一个周期内，实现取晶与固晶
两个动作，能够提高固晶的效率。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。另外，在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，且附图并未按照实际的比例绘制。
[0024]图1是本申请一实施例的固晶机的示意图；
[0025]图2是本申请中第一平面与第二平面相平行的示意图；
[0026]图3是本申请中第一平面与第二平面相垂直的示意图；
[0027]图4是本申请中第一平面的第一方向和第二方向(第二平面的第三方向和第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机，其特征在于，包括：供晶机构(1)，其包括晶元环(11)，所述晶元环(11)上设有用于供应晶片(14)的供晶位(13)；旋转机构(2)，其包括转盘(21)，所述转盘(21)转动设于所述晶元环(11)的一侧，且所述转盘(21)的旋转平面(20)与所述晶元环(11)相垂直；承装机构(3)，其包括基板(31)，所述基板(31)设于所述转盘(21)的一侧，所述基板(31)上设有用于固定晶片(14)的固晶位(32)，所述基板(31)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；取放机构(4)，其包括晶片吸嘴(41)，所述晶片吸嘴(41)设于所述转盘(21)上且用于吸取所述晶片(14)。2.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述晶元环(11)的一侧表面平行于第一平面(10)，所述第一平面(10)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；所述供晶机构(1)还包括晶元环驱动装置(15)，所述晶元环驱动装置(15)的动力输出端与所述晶元环(11)连接，用于驱动所述晶元环(11)沿所述第一平面(10)的第一方向(101)或者所述第一平面(10)的第二方向(102)移动；其中，所述第一方向(101)与所述第二方向(102)相垂直。3.根据权利要求2所述的固晶机，其特征在于，所述基板(31)的一侧表面平行于第二平面(30)，所述第二平面(30)与所述转盘(21)的旋转平面(20)相垂直；所述承装机构(3)还包括基板驱动装置(33)，所述基板驱动装置(33)的动力输出端与所述基板(31)连接，用于驱动所述基板(31)沿所述第二平面(30)的第三方向(301)或者所述第二平面(30)的第四方向(302)移动；其中，所述第三方向(301)与所述第四方向(302)相垂直。4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于，所述第一平面(10)与所述第二平面(30)相垂直或者相平行。5.根据权利要求4所述的固晶机，其特征在于，所述第一平面(10)与所述第二平面(30)相平行，且所述第一方向(101)与所述第三方向(301)相平行以及所述第二方向(102)与所述第四方向(302)相平行。6.根据权利要求1所述的固晶机，其特征在于，所述取放机构(4)还包括取放驱动装置(42)、取晶相机(43)以及固晶相机(44)，所述取放驱动装置(42)的动力输出端与所述晶片吸嘴(41)连接，用于驱动所述晶片吸嘴(41)沿所述转盘(21)的径向方向且相对于所述转盘(21)移动，所述取晶相机(43)对应于所述供晶位(13)设置，所述固晶相机(44)对应于所述固晶位(32)设置，且所述取放驱动装置(42)与所述取晶相机(43)以及所述固晶相机(44)电连接。7.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于，还包括校正机构(5)，所述校正机构(5)包括校正相机(51)以及校正驱动装置(52)，所述校正相机(51)设于所述供晶位(13)和所述固晶位(32)之间，用于获取所述晶片吸嘴(41)上的所述晶片(14)的位置，所述校正驱动装置(52)的动力输出端与所述晶片吸嘴(41)连接，用于驱动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾逸，张维伦，吴勇，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：