【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及固晶设备，特别涉及一种抵推结构和立式转塔结构。
技术介绍
1、立式转塔固晶机的晶元搬运移载是通过转塔旋转，将晶元拾取装置移动到取晶位，晶元拾取装置中的直线电机驱动晶元拾取装置进行取晶动作，接着将其携带有晶元的晶元拾取装置旋转至固晶位，晶元拾取装置中的直线电机驱动晶元拾取装置进行固晶动作；
2、晶元拾取装置由立式转塔旋转带动其进行工位转换，晶元拾取装置受立式转塔旋转所产生的离心力的影响，使得晶元拾取装置位于取晶位或固晶位时，需要有一定的时间缓冲，使晶元拾取装置中的直线电机克服立式转塔旋转所带来的离心力，然后才能进行取晶动作或固晶动作，在此情况下会导致晶元拾取装置的取晶时间或固晶时间延长，降低工作效率。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的是提供一种抵推结构，旨在解决立式转塔离心力影响晶元拾取装置不能够高效取晶或固晶的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提出的抵推结构包括：
3、安装座；
4、驱动件，安装于所述安装座；以及>
5、抵推块，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种抵推结构，其特征在于，所述抵推结构安装于转塔外部，所述抵推结构包括：
2.如权利要求1所述的抵推结构，其特征在于，所述驱动件配置为伺服电机；所述抵推结构还包括联动组件，所述联动组件安装于所述安装座，所述联动组件连接所述抵推块和所述伺服电机的输出端，所述伺服电机驱动所述联动组件，所述联动组件以使所述抵推块上下移动。
3.如权利要求2所述的抵推结构，其特征在于，所述伺服电机的输出端的外部安装有偏心轴，所述偏心轴连接所述联动组件。
4.如权利要求3所述的抵推结构，其特征在于，所述联动组件包括活动块，所述活动块滑动安装于所述安装座，...
【技术特征摘要】
1.一种抵推结构，其特征在于，所述抵推结构安装于转塔外部，所述抵推结构包括：
2.如权利要求1所述的抵推结构，其特征在于，所述驱动件配置为伺服电机；所述抵推结构还包括联动组件，所述联动组件安装于所述安装座，所述联动组件连接所述抵推块和所述伺服电机的输出端，所述伺服电机驱动所述联动组件，所述联动组件以使所述抵推块上下移动。
3.如权利要求2所述的抵推结构，其特征在于，所述伺服电机的输出端的外部安装有偏心轴，所述偏心轴连接所述联动组件。
4.如权利要求3所述的抵推结构，其特征在于，所述联动组件包括活动块，所述活动块滑动安装于所述安装座，所述抵推块固设于所述活动块，所述活动块上开设有用以供所述偏心轴穿过的导向孔，所述偏心轴与所述导向孔内壁滑动配合，所述导向孔的长度方向垂直于所述抵推块的移动方向。
5.如权利要求4所述的抵推结构，其特征在于，所述导向孔内壁设置有第一配合部和第二配合部，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：张维伦，廖志永，曾逸，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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