单片晶圆药液回收装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种单片晶圆药液回收装置及方法，该药液回收装置包括由外向内分布的多层药液回收盘，次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，用于在每层中回收一种药液；底层药液回收盘为废液回收盘，用于回收在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液。本发明专利技术能够防止晶圆在低速旋转时药液回收发生混合串液及药液滴落至回收盘之外造成环境污染的问题，具有保持刻蚀速率稳定的效果。具有保持刻蚀速率稳定的效果。具有保持刻蚀速率稳定的效果。

【技术实现步骤摘要】
单片晶圆药液回收装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路
，特别涉及一种单片晶圆药液回收装置及方法。

技术介绍

[0002]在单片晶圆处理时，晶圆在旋转台上旋转，药液注入到晶圆上之后，旋转台带动晶圆旋转，则喷涂在晶圆上药液通过可动的多层药液回收盘的某一层进行回收及排出。但是在旋转台带动晶圆低速旋转时，晶圆低速旋转时在晶圆上的药液在旋转力的作用下产生飞溅，飞溅的药液会流入到多层药液回收盘的非指定层，很容易流入到位于最下层的药液回收盘之内，从而导致位于最下层的药液回收盘回收的药液出现药液混合的串液现象，从而影响药液的回收再利用及对晶圆的刻蚀速率。另外，晶圆低速旋转时在晶圆上的药液可能由于旋转力动力不足而未到达药液回收盘时就被产生滴落在旋转台与药液回收盘之间的空隙之内，从而造成了环境污染的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于，提供了一种单片晶圆药液回收装置及方法，以解决单片晶圆在注入药液时，传统多层单片晶圆药液回收装置在晶圆低速旋转时产生药液混合回收串液的问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术提供一种单片晶圆药液回收装置，包括同轴心设置的多层药液回收盘，所述多层药液回收盘包括由外向内分布的顶层至底层药液回收盘；所述多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；所述底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且所述底层药液回收盘的宽度大于所述次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；所述顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；所述底层药液回收盘为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。
[0005]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述顶层至底层药液回收盘均连通有回收管道。
[0006]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述回收管道上连接有管道阀门。
[0007]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述回收管道为硬质管道或者软质管道。
[0008]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述多层药液回收盘包括上下移动机构，以用于在不同药液注入到晶圆时切换顶层至次底层中的某一层药液回收盘。
[0009]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述多层药液回收盘为三层以上。
[0010]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述单片晶圆旋转台包括旋转轴及其相连的旋转平台。
[0011]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置，所述单片晶圆旋转台还包括：位于所述旋转平台上方间隔设置有药液注入管道。
[0012]为达到上述目的，本专利技术还提供一种单片晶圆药液回收方法，包括：
[0013]设置同轴心的多层药液回收盘，使所述多层药液回收盘的顶层至底层药液回收盘由外向内分布；
[0014]将多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；
[0015]将底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，同时将底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙设置；
[0016]将顶层至次底层药液回收盘作为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；
[0017]将底层药液回收盘作为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。
[0018]进一步的，本专利技术提供的单片晶圆药液回收方法，所述多层液回收盘为三层以上。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0020]本专利技术提供的单片晶圆药液回收装置及方法，通过将次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围，将底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方且将底层药液回收盘的宽度大于次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙设置，将顶层至次底层药液回收盘作为药液循环再利用回收盘，用于回收循环再利用药液；将底层药液回收盘作为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出的药液回收至所述废液回收盘中，则晶圆在低速旋转时，晶圆上的药液由于旋转力不足而无法飞溅到指定层药液循环再利用回收盘时滴落至指定层药液回收盘与旋转台之间的空隙之内而被作为废液回收盘的底层药液回收盘回收，由于底层药液回收盘作为废液回收盘而不是药液循环再利用回收盘故可以实现不同药液的混合回收，从而克服了传统多层药液回收盘在低速旋转时，从晶圆上飞溅的药液由于动力不足而落入作为药液循环再利用回收盘的盘内造成不同药液混合以及滴落至药液回收盘与旋转台之间的空隙以及其它指定层回收盘之外造成环境污染的问题。与传统药液回收盘相比，本专利技术具有防止晶圆在低速旋转时药液回收发生混合串液，保持刻蚀速率稳定的效果。
附图说明
[0021]图1是单片晶圆药液回收装置及其使用状态的结构示意图。
具体实施方式
[0022]以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的金属线的挖孔结构及方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。
[0023]请参考图1，本专利技术实施例提供一种单片晶圆药液回收装置100，包括同轴心设置的多层药液回收盘，所述多层药液回收盘包括由外向内分布的顶层药液回收盘110至底层药液回收盘130；所述多层药液回收盘的次底层药液回收盘120按预定间隙设置在单片晶圆旋转台200的外围；所述底层药液回收盘130保持在单片晶圆旋转台200的下方，且所述底层药液回收盘130的宽度大于所述次底层药液回收盘120与单片晶圆旋转台200之间的间隙；所述顶层至次底层药液回收盘120为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘120中的每层药液回收盘用于回收一种药液；所述底层药液回收盘130为废液回收盘，用于在晶圆400低速旋转时从晶圆400上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。
[0024]本专利技术实施例还提供一种单片晶圆药液回收方法，该方法上述单片晶圆药液回收装置100，可以包括以下步骤：
[0025]步骤501，设置同轴心的多层药液回收盘，使所述多层药液回收盘的顶层药液回收盘110至底层药液回收盘130由外向内分布。
[0026]步骤502，将多层药液回收盘的次底层药液回收盘120按预定间隙设置在单片晶圆旋转台200的外围。
[0027]步骤503，将底层药液回收盘130保持在单片晶圆旋转台200的下方，同时将底层药液回收盘130的宽度大于次底层药液回收盘120与单片晶圆旋转台200之间的间隙设置。
[0028]步骤504，将顶层至次底层药液回收盘120作为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘120中的每层药液回收盘用于回收一种药液。
[0029]步骤505，将底层药液回收盘130作为废本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单片晶圆药液回收装置，其特征在于，包括同轴心设置的多层药液回收盘，所述多层药液回收盘包括由外向内分布的顶层至底层药液回收盘；所述多层药液回收盘的次底层药液回收盘按预定间隙设置在单片晶圆旋转台的外围；所述底层药液回收盘保持在单片晶圆旋转台的下方，且所述底层药液回收盘的宽度大于所述次底层药液回收盘与单片晶圆旋转台之间的间隙；所述顶层至次底层药液回收盘为药液循环再利用回收盘，所述顶层至次底层药液回收盘中的每层药液回收盘用于回收一种药液；所述底层药液回收盘为废液回收盘，用于在晶圆低速旋转时从晶圆上飞溅出或者滴落的药液回收至所述废液回收盘中。2.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述顶层至底层药液回收盘均连通有回收管道。3.如权利要求2所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述回收管道上连接有管道阀门。4.如权利要求2所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述回收管道为硬质管道或者软质管道。5.如权利要求1所述的单片晶圆药液回收装置，其特征在于，所述多层药液回收盘包括上下移动机构，以用于在不同药液注入到晶圆时切换顶层至次底层中的某一层...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞昕，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：