【技术实现步骤摘要】
物料传送盒的清洁成果检测装置
[0001]本技术涉及在不同加工区站之间装填及移载物料用的传送盒,还涉及该传送盒在完成湿清洁的后包含湿度及落尘量在内的清洁成果检测技术,尤其是一种物料传送盒的清洁成果检测装置。
技术介绍
[0002]现有技术中,最接近本技术的物料传送盒的,是一种用于载运半导体晶元的前开式晶元传送盒(Front Opening Unified Pod,FOUP,以下简称晶元传送盒)。
[0003]半导体晶元在产制过程中,特别是在各个加工区站内,以及在各个加工区站之间载运晶元的过程中,对于洁净度的要求甚高,特别是避免环境中出现落尘微粒,而影响晶元的产制合格率。
[0004]且知,半导体晶元的载运,常见使用上述晶元传送盒,通过自动化搬运系统的运作,使多个晶元传送盒能分别在各个加工区站中撷取、容置晶元,并且能在各个加工区站之间移送晶元,而后在到达目标地的加工区站时卸载晶元。
[0005]晶元传送盒是由一可开启式的前盖和一盒体相互组扣而成,该盒体内部的双侧壁面上具有凸伸成梳状的肋片,用于支撑容置于内的晶元,使得每一晶元传送盒内都可容置多数片晶元。
[0006]基于洁净度的高标准要求,晶元传送盒在使用一段特定时间的后必须要进行自动化清洁。目前,已知的对晶元传送盒进行自动化清洁的较先进技术,可见于CN102804332B、TW201400202A(中国台湾专利)、CN1082222A、US20140069467A1等专利,所述的这些专利公开教示于晶元的生产线中设置一清洁区站,并且利用自 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种物料传送盒的清洁成果检测装置,设置于物料传送盒的一清洁加工区站中,其特征在于:该物料传送盒能在该清洁加工区站中分离成一前盖及一盒体,该前盖、该盒体并能各自或一起接受该加工区站中的多个腔室的清洁加工,而后结合成清洁后的物料传送盒,其中该检测装置以该前盖、该盒体的至少其中之一作为检测物件,多个所述腔室包含至少一干燥腔室,该检测装置安装于至少一所述干燥腔室并且包含有:一进气孔,设于至少一所述干燥腔室的一侧并且连接一供气机,该进气孔能导引洁净的干燥空气进入至少一所述干燥腔室内解除真空,并生成能接触该检测物件四周的内表面及外表面的正压干燥空气,用以吸收干燥后残留于该检测物件上的至少一清洁成果判断因子;一正压通道,由一多通管连接至少一所述干燥腔室而建构形成,用以排放至少一所述干燥腔室内的正压干燥空气;及至少一检测元件,安装于该多通管上,用以检知正压干燥空气中的所述清洁成果判断因子的含量。2.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:多个所述腔室还包含至少一清洗腔室,且至少一所述清洗腔室内布设有多个喷液嘴,对该前盖、该盒体进行湿清洗。3.如权利要求2所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:至少一所述清洗腔室内还布设有多个吹气元件,对湿清洗后的该前盖、该盒体进行除液。4.如权利要求2所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:多个所述腔室还包含至少一除液腔室,且至少一所述除液腔室内布设有多个吹气元件,对湿清洗后的该前盖、该盒体进行除液。5.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:该负压通道及该正压通道共用该多通管,且该抽气泵经由该多通管连接至少一所述干燥腔室。6.如权利要求5所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:至少一所述干燥腔室设有一负压撷取孔,该多通管经由该负压撷取孔而与至少一所述干燥腔室相连接。7.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:该正压通道形成于该多通管内,至少一所述干燥腔室还设有一正压撷取孔,该多通管经由该正压撷取孔而与至少一所述干燥腔室相连接。8.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:所述检测元件为一湿度传感器,所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的水分子。9.如权利要求1所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:所述检测元件为一微粒子计数器,所述清洁成果判断因子为该正压干燥空气所吸收的落尘微粒。10.如权利要求1至9中任一项所述物料传送盒的清洁成果检测装置,其特征在于:该检测物件为该盒体,该盒体的底部凸伸有至少一悬状支撑杆,该检测物件四周的内表面包含该悬状支撑杆的四周表面。11.一种物料传送盒的清洁成果检测装置,设置于物料传送盒的一清洁加工区站中,其特征在于:该清洁加工区站包括至少一平台及多个...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶步章,林经渊,
申请(专利权)人:科峤工业股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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