基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统，包括：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷。本发明专利技术申请的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，由于输入电压的极性变化，可实现静电吸附的快速释放，输入电压的可编程特性提供了丰富的可用波形以及参数选择，由于采用输入电压控制的方法，因此不附加任何外部机械装置，提升了静电吸附的应用潜力。了静电吸附的应用潜力。了静电吸附的应用潜力。

【技术实现步骤摘要】
基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统


[0001]本专利技术涉及静电吸附领域，具体地，涉及一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统。

技术介绍

[0002]集成电路以及芯片制造技术的发展对于轻质元件的制造提出了更高的要求，而静电吸附由于其响应时间快，可吸附结构多样等优势成为了吸附轻质元件的新兴技术。但是同时由于静电吸附释放过程中会在物件上产生残余电荷，因此静电吸附的释放过程在不外加干预的情况下是相对缓慢的，也限制了静电吸附的潜在应用价值。
[0003]现有对于静电吸附快速释放的过程研究聚焦于如何消除静电，但现有的消除静电方法大多需要附加额外的机械装置，造成了机构本身的复杂性。例如：
[0004]专利CN112897187A公开了一种可消除静电吸附的彩色印刷用纸张输送装置，通过调节空气湿度消除静电以防止纸张间的静电吸附；但空气湿度调节对于静电吸附成功率影响显著，限制了其在工业生产中的应用。
[0005]专利CN113151950A公开了一种防止纺织机内部纺织线静电吸附装置，通过静电消除棒互相接近，静电消除棒电离空气产生正负离子进而消除静电，但机构零件繁杂，体积较大。
[0006]因此，有必要研发一种静电吸附的释放方法，使得在尽可能消除静电吸附释放过程中的残余电荷从而实现快速释放的同时，又保持整体机构的简单性。

技术实现思路

[0007]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法及系统。
[0008]根据本专利技术提供的一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，包括以下步骤：
[0009]步骤S1：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；
[0010]步骤S2：向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷。
[0011]优选的，所述加载的电压幅值随时间而改变，幅值变化方式通过编程进行控制。
[0012]优选的，所述加载的电压波形包括正弦波、三角波和方波，输出的波形通过编程进行控制。
[0013]优选的，向静电吸附设备施加的电压初始幅值在静电吸附设备的工作电压范围内，且施加的电压幅值不变或幅值呈衰减的趋势。
[0014]优选的，向静电吸附设备施加的电压波形时长通过编程进行控制。
[0015]根据本专利技术提供的一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放系统，包括以下模块：
[0016]模块M1：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；
[0017]模块M2：向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷。
[0018]优选的，所述加载的电压幅值随时间而改变，幅值变化方式通过编程进行控制。
[0019]优选的，所述加载的电压波形包括正弦波、三角波和方波，输出的波形通过编程进行控制。
[0020]优选的，向静电吸附设备施加的电压初始幅值在静电吸附设备的工作电压范围内，且施加的电压幅值不变或幅值呈衰减的趋势。
[0021]优选的，向静电吸附设备施加的电压波形时长通过编程进行控制。
[0022]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0023]1、本专利技术申请的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，由于输入电压的极性变化，可实现静电吸附的快速释放。
[0024]2、本专利技术申请的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，输入电压的可编程特性提供了丰富的可用波形以及参数选择。
[0025]3、本专利技术申请的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，由于采用输入电压控制的方法，因此不附加任何外部机械装置，提升了静电吸附的应用潜力。
附图说明
[0026]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0027]图1为本专利技术实施例静电吸附快速释放方法流程框图；
[0028]图2为本专利技术实施例中方波波形示意图；
[0029]图3为本专利技术实施例中正弦波形示意图。
具体实施方式
[0030]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。
[0031]本专利技术提供了一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，参照图1，包括以下步骤：
[0032]步骤S1：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷。在静电吸附设备的电极的正负极与控制系统相连后，由信号发生器控制电压发生器产生一定电压，即可使得静电吸附元件产生静电吸附力实现静电吸附或实现静电吸附的快速释放。控制系统通过输出编程既定的电压，加载与原有电压极性相反的电压于静电吸附设备，从而抵消残余电荷。
[0033]步骤S2：向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷，当在物体上残余电荷量不足时，其静电吸附力不足以使其继续吸附，从而实现静电吸附的快速释放。
[0034]更为详细的，所述加载的电压幅值随时间而改变，幅值变化方式通过编程进行控制，通常为了保证元器件的安全性，向静电吸附设备施加的电压初始幅值在静电吸附设备的工作电压范围内，且施加的电压幅值不变或幅值呈衰减的趋势。所述加载的电压波形包括但不限于正弦波、三角波和方波，输出的波形通过编程进行控制。在本实施例中的方波控制如图2所示，参数表达式可以为：
[0035][0036]本实施例中正弦波形如图3所示，函数表达如下：
[0037][0038]由于材料以及电极形状等因素的影响，通常以实验的方式进行研究获取相对高效率的波形参数组合。向静电吸附设备施加的电压波形时长通过编程进行控制。
[0039]整个过程以电压波形的始端作为静电吸附释放过程的开始，而物体最终由静电吸附元件上释放作为静电吸附释放过程的结束。
[0040]本专利技术还介绍了一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放系统，包括以下模块：
[0041]模块M1：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；
[0042]模块M2：向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷。
[0043]更为详细的，所述加载的电压幅值随时间而改变，幅值变化方式通过编程进行控制。向静电吸附设备施加的电压初始幅值在静电吸附设备的工作电压范围内，且施加的电压幅值不变或幅值呈衰减的趋势。所述加载的电压波形包括但不限于正弦波、三角波和方波，输出的波形通过编程进行控制。向静电吸附设备施加的电压波形时长通过编程进行控制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：获取静电吸附设备的静电吸附电压，向静电吸附设备施加与静电吸附电压极性相反的电压，抵消静电吸附设备的残余电荷；步骤S2：向静电吸附设备重复加载电压抵消静电吸附设备上新生残余电荷。2.根据权利要求1所述的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，其特征在于：所述加载的电压幅值随时间而改变，幅值变化方式通过编程进行控制。3.根据权利要求2所述的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，其特征在于：所述加载的电压波形包括正弦波、三角波和方波，输出的波形通过编程进行控制。4.根据权利要求2所述的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，其特征在于：向静电吸附设备施加的电压初始幅值在静电吸附设备的工作电压范围内，且施加的电压幅值不变或幅值呈衰减的趋势。5.根据权利要求1所述的基于可编程输入电压的静电吸附快速释放方法，其特征在于：向静电吸附设备施加的电压波形时长通过编程进行控制。6.一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷国迎，闫沛楠，邹江，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：