原料气化系统以及用于该原料气化系统的浓度控制模块技术方案

本发明专利技术提供一种提高原料气化系统的浓度控制的响应性且用于原料气化系统(100)的浓度控制模块(6)，其具备：浓度检测部(61)，其检测原料气体的浓度；阀(62)，其设置在将原料气体从罐(2)导出的导出管(4)；压力目标值计算部(63a)，其使用原料气体的浓度目标值和浓度检测部的浓度检测值来计算罐(2)内的压力目标值；延迟滤波器(63b)，其对通过压力目标值计算部(63a)得到的压力目标值提供预定的时间延迟而生成压力控制值；以及第一阀控制部(63c)，其使用通过延迟滤波器(63b)得到的压力控制值与罐(2)内的压力之间的偏差来对阀(62)进行反馈控制。控制。控制。

【技术实现步骤摘要】
原料气化系统以及用于该原料气化系统的浓度控制模块


[0001]本专利技术涉及一种将载气导入到液体或固体的原料而使其气化，并供给由此生成的原料气体的原料气化系统、以及用于该原料气化系统的浓度控制模块。

技术介绍

[0002]作为这种原料气化系统，如专利文献1所示，具备收容固体或液体的原料的罐、将载气导入该罐而使原料气化的导入管、以及从罐导出载气与由原料被气化而成的原料气体的混合气体的导出管。另外，在导出管设置有检测原料气体的浓度的浓度检测部和控制阀。
[0003]而且，在该原料气化系统中，以使通过浓度检测部得到的检测浓度成为设定浓度的方式，通过控制被设置在导出管的控制阀来进行浓度控制。控制阀被第一阀控制部反馈控制。
[0004]例如，在检测浓度高于设定浓度的情况下，通过减小控制阀的阀开度，增大罐内的总压，从而降低原料气体的浓度。另一方面，在检测浓度低于设定浓度的情况下，通过增大控制阀的阀开度，减小罐内的总压，从而升高原料气体的浓度。
[0005]然而，在上述的浓度控制中，使用检测浓度与设定浓度之间的偏差进行反馈控制，由于罐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种浓度控制模块，其特征在于，所述浓度控制模块用于原料气化系统，所述原料气化系统将载气导入到被收容在罐内的液体或固体的原料而使其气化，并供给由此生成的原料气体，所述浓度控制模块具备：浓度检测部，其检测所述原料气体的浓度；阀，其设置在将所述原料气体从所述罐导出的导出管；压力目标值计算部，其使用所述原料气体的浓度目标值和所述浓度检测部的浓度检测值来计算所述罐内的压力目标值；延迟滤波器，其对通过所述压力目标值计算部得到的压力目标值提供预定的时间延迟而生成压力控制值；以及第一阀控制部，其使用通过所述延迟滤波器得到的压力控制值与所述罐内的压力之间的偏差来对所述阀进行反馈控制。2.根据权利要求1所述的浓度控制模块，其特征在于，所述延迟滤波器针对所述压力目标值进行一阶延迟运算而生成所述压力控制值。3.根据权利要求1所述的浓度控制模块，其特征在于，所述延迟滤波器使所述压力目标值以恒定的比例连续地变化而生成所述压力控制值。4.根据权利要求1所述的浓度控制模块，其特征在于，所述压力目标值计算部通过将所述浓度目标值和所述浓度检测值带入预定的运算...

【专利技术属性】
技术研发人员：志水彻，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：